一种SRAF图像的生成方法、系统及其电子装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111612862A(43)申请公布日2020.09.01(21)申请号201910133912.9(22)申请日2019.02.22(71)申请人深圳晶源信息技术有限公司地址518000广东省深圳市福田区福保街道红棉道英达利科技数码园C座301F(72)发明人黄晔丁明(74)专利代理机构深圳市智享知识产权代理有限公司44361代理人王琴蒋慧(51)Int.Cl.G06T11/00(2006.01)G06F30/392(2020.01)权利要求书2页说明书11页附图11页(54)发明名称一种SRAF图像的生成方法、系统及其电子装置(57)摘要本发明涉及半导体制造的光刻领域，特别涉及一种SRAF图像的生成方法、系统及其电子装置。所述SRAF图像生成方法包括：分析待处理版图中各边的对称性信息，基于具有对称性的边进行分组；根据预设的SRAF点范围划定规则，确定归属于每组边的SRAF点生成范围；设定SRAF点之间的间隔距离，以间隔距离生成SRAF点，并标记其所属的父边及对应SRAF点的标签；保留仅有父边的SRAF点；针对具有邻近边的SRAF点，则比较对应SRAF点到父边和到邻近边的距离，保留到父边距离小于等于到邻近边距离的SRAF点；及结合SRAF点及SRAF图像生成算法生成SRAF图像。通过SRAF图像的生成方法、系统及其电子装置可有效解决现有方法生成的SRAF图像不能维持版图对称性的问题。CN111612862ACN111612862A权利要求书1/2页1.一种SRAF图像生成方法，其特征在于：提供一待处理版图，所述SRAF图像生成方法包括如下步骤：步骤S1：分析所述待处理版图中各边的对称性，选取具有对称性的边并将具有相同对称性的边进行分组；步骤S2：以边的分组为单位，根据预设的SRAF点范围划定规则，确定归属于每组中各对称性边的SRAF点生成范围；步骤S3：设定SRAF点之间的间隔距离，在所述每组中各对称性边的SRAF点生成范围中，以所述间隔距离生成SRAF点，并标记每个SRAF点所属的父边及对应SRAF点的标签；步骤S4：获取每个SRAF点的邻近边状态，保留仅有父边的SRAF点；针对具有邻近边的SRAF点，则比较对应SRAF点到父边和到邻近边的距离，保留到父边距离小于等于到邻近边距离的SRAF点；及步骤S5：对步骤S4中所保留的SRAF点进行运算生成SRAF图像；其中，对所保留的SRAF点中具有相同标签的SRAF点进行的运算相同。2.根据权利要求1所述的SRAF图像生成方法，其特征在于：所述对称性包括轴对称、中心对称、旋转对称或平移对称中任一种或多种组合。3.根据权利要求1所述的SRAF图像生成方法，其特征在于：所述SRAF点范围划定规则包括：设定到所述对称性的边的最大距离c1和最小距离c2，将到所述对称性的边的距离小于最大距离c1且大于最小距离c2的区域定义为SRAF点生成范围；将到所述对称性的边的距离小于最小距离c2的区域定义为禁区。4.根据权利要求3所述的SRAF图像生成方法，其特征在于：上述步骤S3进一步包括：步骤S31：设定各SRAF点之间的间隔距离，在所述每组中各对称性边的SRAF点的生成范围中，以所述间隔距离生成SRAF点；步骤S32：判断所选定的SRAF点是否在其他边的禁区；若是，则执行步骤S33，若否，则执行步骤S34；步骤S33：舍弃所选定的SRAF点；及步骤S34：保留该所选定的SRAF点，并标记每个该选定的SRAF点所属的父边及对应SRAF点的标签。5.根据权利要求1所述的SRAF图像生成方法，其特征在于：上述步骤S4进一步包括：步骤S41：获取每个SRAF点的邻近边状态，保留仅有父边的SRAF点；步骤S42：获取具有父边以及邻近边的SRAF点，进一步获得对应SRAF点到其所属父边和邻近边的距离；步骤S43：判断步骤S42中对应的SRAF点到父边距离是否大于对应的SRAF点到邻近边距离，若是，执行步骤S44，若否，执行步骤S45；步骤S44：舍弃到父边距离大于到邻近边距离的SRAF点；及步骤S45：保留到父边距离小于等于到邻近边距离的SRAF点。6.根据权利要求5所述的SRAF图像生成方法，其特征在于：在上述步骤S42中，所述每个SRAF点对应一条父边及至少一条邻近边；或所述每个SRAF点仅对应一条父边。7.一种SRAF图像生成系统，其特征在于：包括：对称边分组模块：配置用于分析所述待处理版图中各边的对称性，选取具有对称性的2CN111612862A权利要求书2/2页边并将具有相同对称性的边进行分组；SRAF点的范围设定模块：配置用于以边的分组为单位，根据预设的SRAF点范围划定规则，确定归属于每组中各对称性边的SRAF点生成