光配向设备以及光配向方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111781773A(43)申请公布日2020.10.16(21)申请号201910272188.8(22)申请日2019.04.04(71)申请人上海微电子装备（集团）股份有限公司地址201203上海市浦东新区张东路1525号(72)发明人魏礼俊刘晓李玉龙(74)专利代理机构上海思捷知识产权代理有限公司31295代理人王宏婧(51)Int.Cl.G02F1/1337(2006.01)G02B26/10(2006.01)权利要求书2页说明书13页附图5页(54)发明名称光配向设备以及光配向方法(57)摘要本发明提供了一种光配向设备以及光配向方法。通过设置可转动反射镜，以利用可转动反射镜实现投射出的光束的扫描范围能够覆盖整个基板。因此，在执行光配向时，并不需要移动基板或偏振光发生装置，有效提高了光配向过程中的稳定性，从而有利于提高光配向精度。并且，由于基板在光配向时不需要移动，相应的不需要预留基板台横向移动的空间，从而可以进一步减小光配向设备的体积和质量。CN111781773ACN111781773A权利要求书1/2页1.一种光配向设备，其特征在于，包括：至少一个基板台，用于承载基板；偏振光发生装置，用于发出偏振光；以及，至少一个可转动反射镜，用于反射由所述偏振光发生装置发出的偏振光，并且在对基板进行光配向时，所述可转动反射镜沿着预定方向转动，以使由所述可转动反射镜反射出的光束沿着对应方向依次投射至所述基板上。2.如权利要求1所述的光配向设备，其特征在于，所述光配向设备配置有第一可转动反射镜和第二可转动反射镜，所述第一可转动反射镜用于反射光束至所述基板的第一部分上，所述第二可转动反射镜用于反射光束至所述基板的第二部分上。3.如权利要求2所述的光配向设备，其特征在于，所述偏振光发生装置设置在所述基板台的上方并对应在所述基板台的中间区域，所述第一可转动反射镜和所述第二可转动反射镜分别配置在所述偏振光发生装置的两侧。4.如权利要求2所述的光配向设备，其特征在于，所述光配向设备还包括：分光镜，由所述偏振光发生装置发出的偏振光经由所述分光镜拆分为两束偏振光束，所述两束偏振光束分别发射至所述第一可转动反射镜和所述第二可转动反射镜。5.如权利要求4所述的光配向设备，其特征在于，所述分光镜用于使部分偏振光反射以形成第一偏振光束，所述第一偏振光束进一步发射至所述第一可转动反射镜，并使另一部分偏振光折射以形成第二偏振光束，并且所述第二偏振光束进一步发射至所述第二可转动反射镜。6.如权利要求2所述的光配向设备，其特征在于，所述光配向设备还包括第一检偏组件和第二检偏组件，所述第一检偏组件用于检测由所述第一可转动反射镜反射出的光束，所述第二检偏组件用于检测由所述第二可转动反射镜反射出的光束。7.如权利要求1所述的光配向设备，其特征在于，所述光配向设备还包括：检偏组件，用于检测由所述可转动反射镜反射出的光束。8.如权利要求7所述的光配向设备，其特征在于，所述光配向设备还包括：第一固定导轨，所述检偏组件安装在所述第一固定导轨上，在执行检偏操作的过程中，所述检偏组件随着所述可转动反射镜的转动而沿着所述第一固定导轨移动，以使所述检偏组件的检测面从所述基板台的上方移动并感应由所述可转动反射镜反射出的光束。9.如权利要求1所述的光配向设备，其特征在于，所述光配向设备还包括：对准组件，用于检测并调整放置于所述基板台上的基板的位置。10.如权利要求1所述的光配向设备，其特征在于，所述光配向设备具有两个基板台，所述可转动反射镜反射由所述偏振光发生装置发出的偏振光，并交替投射至两个所述基板台。11.如权利要求10所述的光配向设备，其特征在于，所述光配向设备还包括：第二固定导轨，所述偏振光发生装置安装在所述第二固定导轨上，并沿着所述第二固定导轨在所述两个基板台的上方交替移动。12.一种光配向方法，其特征在于，包括：提供如权利要求1所述的光配向设备，并上载基板至基板台上；以及，利用偏振光发生装置发出偏振光，并使所述偏振光经由可转动反射镜反射至所述基板2CN111781773A权利要求书2/2页上，以执行光配向操作；并且，在执行光配向过程中，所述可转动反射镜沿着预定方向转动，以使由所述可转动反射镜反射出的光束沿着对应方向依次投射至所述基板上。13.如权利要求12所述的光配向方法，其特征在于，所述光配向设备配置有第一可转动反射镜和第二可转动反射镜；以及，在执行光配向操作时，所述第一可转动反射镜反射光束至所述基板的第一部分，所述第二可转动反射镜反射光束至所述基板的第二部分。14.如权利要求13所述的光配向方法，其特征在于，执行光配向操作时，所述第一可转动反射镜和所述第二可转动反射镜同时转动，以同时对基板的