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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111960384A(43)申请公布日2020.11.20(21)申请号202010866839.9(22)申请日2020.08.26(71)申请人浙江凯圣氟化学有限公司地址324004浙江省衢州市高新技术产业园区念化路8号(72)发明人程文海陈刚贺辉龙周涛涛王海郑津俊(51)Int.Cl.C01B7/07(2006.01)B01J31/06(2006.01)B01J23/10(2006.01)权利要求书1页说明书6页(54)发明名称一种除去盐酸中游离氯的方法(57)摘要本发明涉及精细化工领域,具体关于一种除去盐酸中游离氯的方法;包括:还原除氯,氧化除肼,催化除过氧化氢和精馏除杂等步骤;本发明制备了利用氧化还原反应,在含有游离氯的盐酸中加入水合肼,游离氯经过还原后生成不溶性的氮气和氯化氢,达到除氯的目的;然后进一步的加入双氧水将过量的水合肼氧化成不溶性的氮气和水,然后将过量的双氧水在一种过氧化氢分解催化剂的催化下分解生成水和不溶性的氧气,固体的催化剂在精馏过程中被完全留在了重组分中,实现了游离氯的彻底去除,不引入任何金属离子杂质,本工艺具有反应简单,原料易得,制备的高纯氯化氢纯度高,耗能少的优点,满足电子工业对高纯氯化氢的质量要求。CN111960384ACN111960384A权利要求书1/1页1.一种除去盐酸中游离氯的方法,其制备方法操作如下:步骤一、还原除氯,将质量百分比含量为20%-30%的盐酸加入到反应釜中,按照质量百分比含量加入0.1%-2%的质量百分比含量为40%-50%的肼溶液,循环反应60-180min;步骤二、氧化除肼,完成步骤一的反应后,按照质量份数向反应釜中加入1.0%-2.0%的双氧水溶液,循环反应60-180min;步骤三、催化除过氧化氢,完成步骤二的反应后,按照质量份数向反应釜中加入0.001-0.005%的过氧化氢分解固体催化剂,循环反应60-180min;步骤四、精馏除杂,完成步骤三的反应后,将盐酸放入蒸馏釜中,缓慢加热,控制温度60-120℃蒸馏,同时开启冷却水,高纯水吸收制得高纯盐酸。2.根据权利要求1所述的一种除去盐酸中游离氯的方法,其特征在于:所述的反应釜为石墨反应釜或搪瓷反应釜。3.根据权利要求1所述的一种除去盐酸中游离氯的方法,其特征在于:所述的肼溶液为水合肼水溶液。4.根据权利要求1所述的一种除去盐酸中游离氯的方法,其特征在于:所述的双氧水溶液的质量份数为25%-35%。5.根据权利要求1所述的一种除去盐酸中游离氯的方法,其特征在于:所述的过氧化氢分解固体催化剂,其制备方法如下:所述的过氧化氢分解催化剂制备方法如下:步骤1:按重量份,将2-5份氧化石墨和10-20份烯丙基三甲氧基硅烷混合,加入100~300份溶剂油,在70℃~80℃反应2~6h;之后加入10~80份水合肼及20~80份氨水,在70℃~90℃反应2~5h后,抽滤,洗涤,真空干燥5~12h,得到烯丙基三甲氧基硅烷接枝的石墨烯;步骤2:将20-30份氧化铈,加入200-300份的溶剂油,0.5-2.6份烯丙基三甲氧基硅烷接枝的石墨烯,1-5份甲基丙烯酸铁,0.1-0.5份过硫酸钾,通入氮气,60-70℃混合搅拌2-5小时,过滤,干燥,即可得到所述的一种过氧化氢分解催化剂。6.根据权利要求5所述的一种除去盐酸中游离氯的方法,其特征在于:所述的硝酸盐为硝酸铁或硝酸铜或硝酸铂。7.根据权利要求5所述的一种除去盐酸中游离氯的方法,其特征在于:所述的碳黑的平均粒径为10-50nm。2CN111960384A说明书1/6页一种除去盐酸中游离氯的方法技术领域[0001]本发明涉及精细化工领域,尤其是一种除去盐酸中游离氯的方法。背景技术[0002]随着微电子工业向着大尺寸、高集成化、高均匀性和高完整性方向的飞速发展,对广泛用于单晶硅气相抛光和外延机座腐蚀的电子级氯化氢也有了新的要求。除了应具有99.999%以上的纯度,还要求氯化氢的游离氯的含量越低越好。[0003]CN110436416A公开了一种除游离氯制备电子级盐酸的工艺,包括:1)每吨工业级30%盐酸,缓慢滴入150-250mL50%水合肼,搅拌混合均匀,得到原料盐酸;2)将原料盐酸放入蒸馏釜中,缓慢加热,控制温度蒸馏,同时开启冷却水,收集馏分即得电子级盐酸。该发明所述工艺采用水合肼代替氯化亚锡除游离氯,操作简便、环境友好、成本低廉,避免了带入锡离子导致电子级盐酸金属离子超标,金属离子小于10ppb,符合电子级盐酸各项要求。[0004]CN109704281A公开了一种利用有机还原剂去除盐酸中游离氯的方法,所述方法是将含有微量氯气的HCl气体经降膜吸收器吸收,达到饱和的盐酸用空气或氮气吹脱除去部分游离