一种生产铸造单晶时籽晶层的保护方法.pdf
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一种生产铸造单晶时籽晶层的保护方法.pdf
本发明专利公开了一种生产铸造单晶时籽晶层的保护方法,包括以下步骤:直拉单晶棒去除边皮,再经过切割后得到长方体形状的籽晶,把其铺设在坩埚底部;将制备的支撑腿和保护板放置在坩埚底部,使籽晶层与保护板之间留有一定空隙,在保护板上放置原生多晶硅料和头尾边等循环料,采用半融工艺得到铸造单晶硅锭。本发明可以防止装硅料时硅粉或小硅颗粒掉入籽晶之间的拼接缝内,可以减小铸造单晶锭中多晶产生的概率;保护板和籽晶层之间留有一定的空隙,硅料不直接压在籽晶层上,可以减小因压应力而产生位错的概率,提升了铸造单晶硅锭的质量。
一种生产铸造单晶时新型籽晶的铺设方法.pdf
一种生产铸造单晶时新型籽晶的铺设方法,包括以下步骤:直拉单晶棒去除边皮,截断后得到小长方体形状的籽晶;将籽晶的四个边进行倒角或将籽晶加工成台阶形;将籽晶侧面紧密贴合,铺满整个坩埚底部。硅料熔化阶段,硅液流入籽晶拼接缝,因为籽晶拼接缝底部留有空隙,给硅液凝固体积膨胀预留了足够的空间,所以不会给籽晶造成很大应力,减少了位错的产生,提升了铸造单晶的质量。
一种生产低位错密度铸造单晶锭或多晶硅锭时的籽晶铺设方法.pdf
本发明专利公开了一种生产低位错密度铸造单晶锭或多晶硅锭时的籽晶铺设方法,包括以下步骤:S1,直拉单晶圆棒去除边皮后得到无圆角的单晶方棒;S2,将所述单晶方棒切割成大籽晶块;S3,将所述大籽晶块再次切割成小籽晶块或籽晶条;S4,将所述小籽晶块或者籽晶条铺设在坩埚底部,形成完整的籽晶层;S5,在所述籽晶层上放置原生多晶硅料和头尾边等循环料;S6,将所述装满多晶硅料的坩埚放入铸锭炉中,采用半融工艺得到铸造单晶硅锭或多晶硅锭;S7,将所述硅锭进行开方,开方后得到小方锭;S8,将所述小方锭进行切片后得到铸造单晶硅片
一种籽晶的制备方法及类单晶硅锭的铸造方法.pdf
本发明公开了一种籽晶的制备方法,该方法包括如下步骤:S1:提供收容有原生多晶硅和电性掺杂剂的坩埚;S2:将所述坩埚放置于直拉单晶炉内进行拉制以获得直径为223-225mm的单晶圆棒;S3:将所述单晶圆棒经过截断、剖方、以获得单晶方棒,对所述单晶方棒进行切片制得单晶硅块,所述单晶硅块为长方体并作为籽晶用于类单晶硅锭的铸造。与现有技术相比,本发明的有益效果是:通过本发明所提供的籽晶制备方法制备的籽晶为长方体并不具有倒角,避免了多个籽晶拼接处产生晶体分裂,在采用该籽晶铸造类单晶硅锭时可大幅提升类单晶硅锭的质量。
一种稳定单晶籽晶的单晶炉副室结构及其籽晶稳定方法.pdf
本发明涉及单晶籽晶加工技术领域,具体为一种稳定单晶籽晶的单晶炉副室结构及其籽晶稳定方法,包括副室,副室的内部设置有重锤,副室的内部位于重锤的顶部处安装有定位环,重锤的顶端连接有钨丝绳,重锤的底端安装有夹头,夹头的底端夹持有籽晶。该稳定单晶籽晶的单晶炉副室结构中,通过改变单晶炉副室的设计,实现了籽晶的稳定由人工完成变成由单晶炉完成切换,减少了人工稳定籽晶的操作,节省了人工;该用于稳定单晶籽晶的单晶炉副室结构的籽晶稳定方法中,对副室净化参数进行改进,保证在副室净化时,籽晶能够升降,单晶炉能够完成籽晶的自动升降