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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112115753A(43)申请公布日2020.12.22(21)申请号201910663428.7(22)申请日2019.07.22(71)申请人中芯集成电路(宁波)有限公司地址315800浙江省宁波市北仑区小港街道安居路335号3幢、4幢、5幢(72)发明人石虎刘孟彬向阳辉(74)专利代理机构上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙)31327代理人高静李丽(51)Int.Cl.G06K9/00(2006.01)B06B1/06(2006.01)权利要求书4页说明书20页附图12页(54)发明名称指纹识别模组及其制造方法、电子设备(57)摘要一种指纹识别模组及其制造方法、电子设备,方法包括:提供衬底,衬底中形成有信号处理电路;提供承载基底;在承载基底上形成压电换能器,包括第一电极、位于第一电极上的压电层、以及位于压电层上的第二电极;在承载基底或衬底上形成具有空腔的永久键合层;利用永久键合层键合承载基底和衬底,永久键合层位于压电换能器与衬底之间且压电换能器遮盖空腔;去除承载基底。所述方法无需形成填充满空腔的牺牲层,相应无需进行牺牲层释放的操作,以免出现在空腔中形成牺牲层残留物的问题,且压电换能器遮盖空腔,提高了压电换能器的声学性能;综上,提高了指纹识别的精准度。CN112115753ACN112115753A权利要求书1/4页1.一种指纹识别模组,其特征在于,包括:衬底,所述衬底中形成有信号处理电路;具有空腔的永久键合层,键合于所述衬底上;压电换能器,位于所述永久键合层上,所述压电换能器包括第一电极、位于所述第一电极上的压电层、以及位于所述压电层上的第二电极,且所述压电换能器遮盖所述空腔。2.如权利要求1所述的指纹识别模组,其特征在于,所述指纹识别模组还包括:互连结构,电连接所述第一电极、第二电极或所述信号处理电路的相应连接端。3.如权利要求1所述的指纹识别模组,其特征在于,所述指纹识别模组还包括:隔离层,位于所述第一电极表面。4.如权利要求3所述的指纹识别模组,其特征在于,所述隔离层的材料为氧化硅。5.如权利要求1所述的指纹识别模组,其特征在于,所述永久键合层的材料为干膜。6.如权利要求1所述的指纹识别模组,其特征在于,所述衬底为晶圆级衬底,所述压电换能器和所述空腔的数量均为多个。7.如权利要求1所述的指纹识别模组,其特征在于,所述衬底为芯片级衬底。8.如权利要求2所述的指纹识别模组,其特征在于,所述互连结构包括:与所述第一电极电连接的第一导电插塞、与所述第二电极电连接的第二导电插塞、以及与所述连接端电连接的第三导电插塞。9.一种指纹识别模组的制造方法,其特征在于,包括:提供衬底,所述衬底中形成有信号处理电路;提供承载基底;在所述承载基底上形成压电换能器,所述压电换能器包括第一电极、位于所述第一电极上的压电层、以及位于所述压电层上的第二电极;在所述承载基底或所述衬底上形成具有空腔的永久键合层;利用所述永久键合层键合所述承载基底和所述衬底,所述永久键合层位于所述压电换能器与所述衬底之间,且所述压电换能器遮盖所述空腔;去除所述承载基底。10.如权利要求9所述的制造方法,其特征在于,在所述承载基底上形成具有空腔的永久键合层;在所述承载基底上形成压电换能器、具有空腔的永久键合层的步骤包括:在所述承载基底上形成多个第一电极;形成覆盖所述承载基底和第一电极的压电层;在所述压电层上形成多个第二电极,所述第二电极与所述第一电极相对设置;形成覆盖所述压电层和第二电极的永久键合膜;在所述永久键合膜中形成露出所述第二电极的空腔。11.如权利要求9所述的制造方法,其特征在于,在所述承载基底上形成具有空腔的永久键合层;在所述承载基底上形成压电换能器、具有空腔的永久键合层的步骤包括:形成覆盖所述承载基底的整层导电层;形成覆盖所述导电层的压电层;2CN112115753A权利要求书2/4页在所述压电层上形成多个第二电极;形成覆盖所述压电层和第二电极的永久键合膜;在所述永久键合膜中形成露出所述第二电极的空腔;在去除所述承载基底后,还包括:图形化所述导电层,形成多个所述第一电极,且分别与所述第二电极相对设置。12.如权利要求9所述的制造方法,其特征在于,在所述衬底上形成具有空腔的永久键合层;在所述承载基底上形成压电换能器的步骤包括:在所述承载基底上形成多个第一电极;形成覆盖所述承载基底和第一电极的压电层;在所述压电层上形成多个第二电极,所述第二电极与所述第一电极相对设置;在进行键合的步骤中,使所述空腔与所述第二电极一一相对设置。13.如权利要求9所述的制造方法,其特征在于,在所述衬底上形成具有空腔的永久键合层;在所述承载基底上形成压电换能器的步骤包括:形成覆盖所述承载基底的整层导