指纹识别模组及其制造方法、电子设备.pdf
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指纹识别模组及其制造方法、电子设备.pdf
一种指纹识别模组及其制造方法、电子设备,方法包括:提供衬底,衬底中形成有信号处理电路;提供承载基底;在承载基底上形成压电换能器,包括第一电极、位于第一电极上的压电层、以及位于压电层上的第二电极;在承载基底或衬底上形成具有空腔的永久键合层;利用永久键合层键合承载基底和衬底,永久键合层位于压电换能器与衬底之间且压电换能器遮盖空腔;去除承载基底。所述方法无需形成填充满空腔的牺牲层,相应无需进行牺牲层释放的操作,以免出现在空腔中形成牺牲层残留物的问题,且压电换能器遮盖空腔,提高了压电换能器的声学性能;综上,提高了
指纹识别模组及其制造方法、电子设备.pdf
一种指纹识别模组及其制造方法、电子设备,制造方法包括:提供衬底,衬底中形成有信号处理电路;在衬底上形成第一氧化层;提供承载基底;在承载基底上形成压电换能器,压电换能器包括第一电极、位于第一电极上的压电层、以及位于压电层上的第二电极;在压电换能器上形成具有空腔的第二氧化层,空腔至少露出第二电极;通过第二氧化层和第一氧化层,采用熔融键合工艺实现承载基底和衬底的键合;去除承载基底。所述方法无需形成用于占据空腔位置的牺牲层,相应无需进行牺牲层释放的操作,以免出现在空腔中形成牺牲层残留物的问题,且通过熔融键合工艺使
指纹识别模组、电子设备及指纹识别模组制造方法.pdf
本发明公开一种指纹识别模组、电子设备及指纹识别模组制造方法,该指纹识别模组包括基板、线路板、指纹芯片、导电件和支撑架,线路板设于基板上,指纹芯片设于线路板上,线路板朝向指纹芯片的一侧表面上设有线路板连接点,指纹芯片远离线路板的一侧表面上设有芯片连接点,导电件包括与芯片连接点电性连接的第一部和与线路板连接点电性连接的第二部,第一部至少部分设于指纹芯片设有芯片连接点的一侧表面上,支撑架设于线路板上,且形成容纳指纹芯片的空腔。该指纹识别模组、电子设备及指纹识别模组制造方法中,导电件的高度较小,因此可降低整个指纹
指纹识别模组及其形成方法、电子设备.pdf
一种指纹识别模组及其形成方法、电子设备,形成方法包括:提供衬底;在衬底上形成多个分立的牺牲层;在牺牲层上形成压电换能器,包括第一电极、位于第一电极上的压电层以及位于压电层上的第二电极,压电层用于根据信号处理电路提供的信号产生振动,形成用于指纹识别的超声波;形成露出牺牲层部分顶部的释放孔;采用灰化工艺,通过释放孔去除牺牲层形成空腔。本发明实施例采用灰化工艺去除牺牲层,在气相条件下实现对牺牲层的释放,有利于减小牺牲层的残留、易于将牺牲层去除干净,且去除牺牲层的工艺对压电换能器的影响小;而且,本发明实施例直接在
电子设备、指纹识别装置及其制造方法.pdf
本申请实施例提供了一种电子设备、指纹识别装置及其制造方法,所述指纹识别装置包括绝缘材料基底,所述绝缘材料基底兼作为电子设备的后壳盖板,所述绝缘材料基底上形成有指纹感测阵列层。本申请实施例可以在电子设备的绝缘性材质的后壳盖板作为基底形成指纹识别装置。由于电子设备的后壳盖板一般是一体化设计,如此,就可以在所述后壳盖板上形成具有大面积指纹感测阵列的指纹识别装置,从而在保留电子设备的后壳盖板的一体化结构的同时,实现了广区域、自由位置的指纹识别,提升了用户体验,且由于可识别感应区域的增大,单次触摸所能采集的指纹特征