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指纹识别模组及其制造方法、电子设备.pdf
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一种指纹识别模组及其制造方法、电子设备，制造方法包括：提供衬底，衬底中形成有信号处理电路；在衬底上形成第一氧化层；提供承载基底；在承载基底上形成压电换能器，压电换能器包括第一电极、位于第一电极上的压电层、以及位于压电层上的第二电极；在压电换能器上形成具有空腔的第二氧化层，空腔至少露出第二电极；通过第二氧化层和第一氧化层，采用熔融键合工艺实现承载基底和衬底的键合；去除承载基底。所述方法无需形成用于占据空腔位置的牺牲层，相应无需进行牺牲层释放的操作，以免出现在空腔中形成牺牲层残留物的问题，且通过熔融键合工艺使
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一种指纹识别模组及其制造方法、电子设备，方法包括：提供衬底，衬底中形成有信号处理电路；提供承载基底；在承载基底上形成压电换能器，包括第一电极、位于第一电极上的压电层、以及位于压电层上的第二电极；在承载基底或衬底上形成具有空腔的永久键合层；利用永久键合层键合承载基底和衬底，永久键合层位于压电换能器与衬底之间且压电换能器遮盖空腔；去除承载基底。所述方法无需形成填充满空腔的牺牲层，相应无需进行牺牲层释放的操作，以免出现在空腔中形成牺牲层残留物的问题，且压电换能器遮盖空腔，提高了压电换能器的声学性能；综上，提高了
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