一种清洗干燥系统及清洗干燥方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112222079A(43)申请公布日2021.01.15(21)申请号202011019813.7(22)申请日2020.09.24(71)申请人合肥维信诺科技有限公司地址230037安徽省合肥市新站区魏武路与新蚌埠路交口西南角(72)发明人王善鹤何生权阮玉帅孙田雨王军伟(74)专利代理机构北京三聚阳光知识产权代理有限公司11250代理人向森(51)Int.Cl.B08B3/08(2006.01)B08B13/00(2006.01)F26B21/00(2006.01)权利要求书2页说明书9页附图2页(54)发明名称一种清洗干燥系统及清洗干燥方法(57)摘要本发明公开一种清洗干燥系统和清洗干燥方法。洗干燥系统适于对掩膜板进行清洗干燥，包括清洗槽、移动装置、干燥装置和监控装置。移动装置适于从清洗槽中抓取掩膜板进行移动。干燥装置包括吹气单元和连接部件，吹气单元与连接部件可转动连接，吹气单元适于喷射出方向可控的线状气流；监控装置连接移动装置和干燥装置，监控装置适于控制移动装置从清洗槽中抓取掩膜板至第一预设位置，监控装置适于控制吹气单元围绕连接部件转动至第二预设位置。通过控制掩膜板移动和吹气单元转动，能够针对性的对掩膜板的不同倾斜角度的对位孔进行作业，对对位孔的侧壁以及对位孔的周围表面进行吹气干燥保证对位孔的内部和周围无药液和水渍残留。CN112222079ACN112222079A权利要求书1/2页1.一种清洗干燥系统，适于对掩膜板进行清洗干燥，其特征在于，包括：清洗槽；移动装置，所述移动装置适于从所述清洗槽中抓取所述掩膜板进行移动；干燥装置，所述干燥装置包括吹气单元和连接部件，所述吹气单元与所述连接部件可转动连接，所述吹气单元适于喷射出方向可控的线状气流；监控装置，所述监控装置连接所述移动装置和所述干燥装置，所述监控装置适于控制所述移动装置从所述清洗槽中抓取所述掩膜板移动至第一预设位置，所述监控装置适于控制所述吹气单元围绕所述连接部件转动至第二预设位置。2.根据权利要求1所述的清洗干燥系统，其特征在于，所述吹气单元包括：吹扫头；底座；吹气单元主体，所述吹气单元主体的一端连接吹扫头，所述吹气单元主体的另一端与所述底座固定连接；所述底座和所述连接部件可转动连接；优选的，所述底座与所述连接部件通过销轴连接，所述吹气单元适于围绕所述销轴转动；优选的，所述吹扫头的一部分位于所述吹气单元主体的内部，且所述吹扫头适于沿着所述吹气单元主体的中心轴在吹气单元主体内部移动；优选的，所述吹扫头具有相对的主出风口和连接端口，所述连接端口与所述吹气单元主体连接，所述主出风口适于喷射出方向可控的线状气流；优选的，所述吹扫头为伸缩结构，所述伸缩结构的伸缩方向平行于所述吹气单元主体的中心轴；优选的，所述吹扫头为挠性部件，所述吹扫头可弯折变形并可保持弯折后的固定形态；优选的，所述吹扫头可围绕所述吹气单元主体的中心轴进行旋转；优选的，所述吹扫头可拆卸的连接于所述吹气单元主体；优选的，所述干燥装置安装于所述清洗槽的槽壁。3.根据权利要求2所述的清洗干燥系统，其特征在于，所述吹扫头还具有侧出风口，所述侧出风口暴露出吹扫头的侧壁，所述侧出风口与所述主出风口的朝向不同；优选的，所述侧出风口的数量为两个，两个所述侧出风口的朝向以所述吹气单元主体的延伸方向为轴呈轴对称设置。4.根据权利要求1所述的清洗干燥系统，其特征在于，还包括：主动力源回路，所述主动力源回路连通所述吹气单元，所述主动力源回路靠近吹气单元的一侧设置有主控制阀，所述主动力源回路远离吹气单元的一侧设置有主泄压阀；所述主动力源回路在所述主控制阀和所述主泄压阀之间连通一路或者多路吹扫介质源。5.根据权利要求1所述的清洗干燥系统，其特征在于，所述监控装置包括控制单元和监测单元；所述监测单元与所述控制单元通信连接或电连接，所述监测单元适于监测所述干燥装置的作业参数和所述移动装置的作业参数；所述控制单元适于依据所述监测单元所监测到的的作业参数控制所述移动装置和所述干燥装置进行清洗干燥作业。6.一种清洗干燥方法，其特征在于，采用如权利要求1-5中任一项所述的清洗干燥系统2CN112222079A权利要求书2/2页对掩膜板进行清洗干燥，其中所述掩膜板具有对位孔，包括以下步骤：将所述掩膜板置于所述清洗槽中进行清洗；所述监控装置控制所述移动装置从所述清洗槽中抓取所述掩膜板移动至第一预设位置，以使所述对位孔脱离所述清洗槽中的清洗液；所述监控装置控制所述吹气单元围绕所述连接部件转动至第二预设位置，以使所述吹气单元对准所述对位孔；采用所述吹气单元对所述对位孔进行吹扫干燥。7.根据权利要求6所述的清洗干燥方法，其特征在于，所述掩膜板的边缘具有第一对位孔和第二对位孔