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(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115077207A(43)申请公布日2022.09.20(21)申请号202210695438.0(22)申请日2022.06.20(71)申请人合肥维信诺科技有限公司地址230000安徽省合肥市新站区魏武路与新蚌埠路交口西南角申请人维信诺科技股份有限公司(72)发明人王善鹤彭兆基(74)专利代理机构北京东方亿思知识产权代理有限责任公司11258专利代理师魏润洁(51)Int.Cl.F26B5/04(2006.01)F26B21/00(2006.01)F26B25/00(2006.01)B08B3/02(2006.01)权利要求书2页说明书10页附图4页(54)发明名称清洗干燥系统及清洗干燥方法(57)摘要本申请公开了一种清洗干燥系统及清洗干燥方法,清洗干燥系统包括第一干燥装置和第二干燥装置,第一干燥装置包括第一壳体和多个吹扫单元,第一壳体包括第一腔体,吹扫单元设置于第一腔体内,以吹扫位于第一腔体内的待处理件;第二干燥装置包括第二壳体和多个喷射单元,第二壳体包括密闭的第二腔体,喷射单元设置于第二腔体内,以向位于第二腔体内的待处理件喷射流体介质。根据本申请提供的实施例,本申请清洗干燥的待处理件上无水渍、杂质等残留物。CN115077207ACN115077207A权利要求书1/2页1.一种清洗干燥系统,其特征在于,包括:第一干燥装置,包括第一壳体和多个吹扫单元,所述第一壳体包括第一腔体,所述吹扫单元设置于所述第一腔体内,以吹扫位于所述第一腔体内的待处理件;第二干燥装置,包括第二壳体和多个喷射单元,所述第二壳体包括密闭的第二腔体,所述喷射单元设置于所述第二腔体内,以向位于所述第二腔体内的所述待处理件喷射流体介质。2.根据权利要求1所述的清洗干燥系统,其特征在于,所述第二干燥装置还包括设置于所述第二腔体内的加热单元;优选的,所述第二壳体包括配合形成所述第二腔体的盖体和主体部,所述盖体盖合于所述主体部并与所述主体部密封连接,所述加热单元包括与所述主体部连接的第一加热件、以及与所述盖体连接的第二加热件。3.根据权利要求1所述的清洗干燥系统,其特征在于,多个所述喷射单元排列形成间隔设置的喷射阵列,间隔设置的所述喷射阵列用于分设于所述待处理件的两侧,以向置于所述第二腔体中的所述待处理件的相对两侧喷射;优选的,沿所述盖体到所述主体部方向,多个所述喷射单元依次间隔设置并相互串联;优选的,所述第二干燥装置还包括流量调节阀,在串联的多个所述喷射单元中,所述流量调节阀设置在相邻两个所述喷射单元之间。4.根据权利要求1所述的清洗干燥系统,其特征在于,所述第二干燥装置还包括用于连通所述喷射单元和介质源的连接管路、以及设置于所述连接管路上的介质混合单元,所述介质混合单元分别与多个不同所述介质源连通,以混合不同所述介质源输出的介质;优选的,所述第二干燥装置还包括设置于所述连接管路上的喷射过滤单元,所述喷射过滤单元用于过滤所述连接管路中介质的杂质。5.根据权利要求4所述的清洗干燥系统,其特征在于,所述第二干燥装置还包括第二回收单元,所述第二回收单元的一端与所述第二腔体连通,另一端与所述连接管路连通;优选的,所述第二回收单元数量为多个,所述第二壳体设置有中心出口和侧出口,所述中心出口位于所述第二腔体的中心轴上,所述侧出口两两相对设置于所述中心出口的两侧,所述中心出口和所述侧出口分别与所述第二回收单元一一连通;优选的,第二回收单元还可以包括多个回收流量调节器,多个回收流量调节器分别与所述中心出口和所述侧出口一一连通;优选的,所述第二回收单元包括分离组件和纯化组件,多个所述回收流量调节器分别与所述分离组件连通,所述分离组件、所述纯化组件和所述连接管路依次连通;优选的,沿所述介质的流动方向,所述纯化组件设置于所述介质混合单元和所述分离组件之间。6.根据权利要求1所述的清洗干燥系统,其特征在于,所述吹扫单元包括第一外壳、喷射咀和整流振子,所述第一外壳具有用于与介质源连通的压力调节腔,所述喷射咀设置在所述第一外壳上并与所述压力调节腔相连通,所述整流振子能够在所述第一外壳内往复运动,以调节所述喷射咀的开口尺寸。7.根据权利要求1所述的清洗干燥系统,其特征在于,多个所述吹扫单元排列形成间隔设置的吹扫阵列,间隔设置的所述吹扫阵列用于分设于所述待处理件的两侧,以对置于所2CN115077207A权利要求书2/2页述第一腔体中的所述待处理件的相对两侧喷射介质;优选的,所述第一壳体具有与所述第一腔体连通的第一开口,所述吹扫阵列包括第一吹扫单元和第二吹扫单元,所述第一吹扫单元设置于所述第二吹扫单元靠近所述第一开口一侧,所述第一吹扫单元具有第一喷射方向和第一辐射区域,所述第二吹扫单元具有第二喷射方向和第二辐射区域,所述第一