一种波长锁定的半导体激光器.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112271550A(43)申请公布日2021.01.26(21)申请号202011125130.X(22)申请日2020.10.20(71)申请人北京凯普林光电科技股份有限公司地址100070北京市丰台区航丰路甲4号5层(72)发明人陈晓华郭渭荣王宝华(74)专利代理机构北京市隆安律师事务所11323代理人权鲜枝朱营琢(51)Int.Cl.H01S5/065(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图2页(54)发明名称一种波长锁定的半导体激光器(57)摘要本发明公开了一种波长锁定的半导体激光器，该半导体激光器包括半导体激光器光源、第一棱镜、空间滤波器、第二棱镜，且上述器件依次设置；半导体激光器光源发出光束后经过第一棱镜后，使得不同波长沿不同角度传播，经过空间滤波器后保留预设波长范围的光，所述预设波长范围的光经过第二棱镜后沿相同的角度传播。上述技术方案通过在半导体激光器内增设空间滤波器和棱镜对的组合，将半导体激光器输出的波长范围锁定在几nm至几十nm宽的范围内。CN112271550ACN112271550A权利要求书1/1页1.一种波长锁定的半导体激光器，其特征在于，所述半导体激光器包括半导体激光器光源、第一棱镜、空间滤波器、第二棱镜，且上述器件依次设置；所述半导体激光器光源发出光束后经过所述第一棱镜后，使得不同波长沿不同角度传播，经过所述空间滤波器后保留预设波长范围的光，所述预设波长范围的光经过第二棱镜后沿相同的角度传播。2.根据权利要求1所述的半导体激光器，其特征在于，所述空间滤波器为针孔滤波器。3.根据权利要求2所述的半导体激光器，其特征在于，所述针孔滤波器包括第一透镜、针孔和第二透镜，且上述器件依次设置。4.根据权利要求3所述的半导体激光器，其特征在于，所述半导体激光器光源和第一棱镜之间还设置有快轴准直透镜。5.根据权利要求1-4任一项所述的半导体激光器，其特征在于，所述第二棱镜后还设置有外腔镜，光束经所述第二棱镜处理后被所述外腔镜反射，返回所述半导体激光器光源，实现输出波长锁定。6.根据权利要求1-4任一项所述的半导体激光器，其特征在于，所述第一棱镜和所述第二棱镜采用阿贝数小于50的材料。7.根据权利要求1-4任一项所述的半导体激光器，其特征在于，所述第一棱镜和所述第二棱镜采用k6-k10玻璃或石英。8.根据权利要求1-4任一项所述的半导体激光器，其特征在于，所述预设波长范围的上下限波长差值为5-60nm，其中，上限波长的范围为700-960nm。9.根据权利要求1-4任一项所述的半导体激光器，其特征在于，所述第一棱镜和所述第二棱镜的折射率为1.4-1.6。10.根据权利要求3-4任一项所述的半导体激光器，其特征在于，所述针孔的直径为0.08-0.2mm。2CN112271550A说明书1/4页一种波长锁定的半导体激光器技术领域[0001]本发明属于半导体激光器制造技术领域，特别涉及一种波长锁定的半导体激光器。背景技术[0002]半导体激光器单管是最实用和重要的一类激光器，它体积小、寿命长，并可采用简单的注入电流的方式来泵浦，其工作电压和电流与集成电路兼容，因而可与之单片集成，并且还可以用高达GHz的频率直接进行电流调制以获得高速调制的激光输出。由于这些优点，半导体激光器单管在激光通信、光存储、光陀螺、激光打印、测距以及雷达等方面得到了广泛的应用。[0003]在一些如气体检测、固体激光器泵浦的应用中，需要将半导体激光器输出的波长范围锁定在几纳米至几十纳米宽的范围内。光栅是锁定半导体激光器输出波长时常用的元件，然而光栅锁定波长的范围在1nm以下，不适用于几nm至几十nm宽的锁定范围。因此，需要提供一种新的技术方案解决上述问题。发明内容[0004]针对上述问题，本发明公开了一种波长锁定的半导体激光器，以克服上述问题或者至少部分地解决上述问题。[0005]为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：[0006]一种波长锁定的半导体激光器，其特征在于，所述半导体激光器包括半导体激光器光源、第一棱镜、空间滤波器、第二棱镜，且上述器件依次设置；[0007]所述半导体激光器光源发出光束后经过所述第一棱镜后，使得不同波长沿不同角度传播，经过所述空间滤波器后保留预设波长范围的光，所述预设波长范围的光经过第二棱镜后沿相同的角度传播。[0008]可选地，所述空间滤波器为针孔滤波器。[0009]可选地，所述针孔滤波器包括第一透镜、针孔和第二透镜，且上述器件依次设置。[0010]可选地，所述半导体激光器光源和第一棱镜之间还设置有快轴准直透镜。[0011]可选地，所述第二棱镜后还设置有外腔镜，光束经所述第二棱镜处理后被所述外腔镜反射，返回所述半导体激光器光源，实现