一种钛铝合金靶材的制备方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112410739A(43)申请公布日2021.02.26(21)申请号202011284467.5(22)申请日2020.11.17(71)申请人昆山全亚冠环保科技有限公司地址215000江苏省苏州市昆山市玉山镇吴淞江工业园晨丰路南侧(72)发明人林泓成黄军浩(74)专利代理机构北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)11350代理人汤东凤(51)Int.Cl.C23C14/34(2006.01)C22C21/00(2006.01)B22F3/14(2006.01)B22F5/00(2006.01)C22C1/04(2006.01)权利要求书1页说明书5页(54)发明名称一种钛铝合金靶材的制备方法(57)摘要本发明公开了一种钛铝合金靶材的制备方法，其技术方案是：包括主料粉末、配料粉末和微量粉末，还包括以下步骤：S1：将主料粉末、配料粉末和微量粉末混合均匀，并过滤大颗粒杂质，保留大小均等的粉末状颗粒，得到混合粉末；S2：将S1中过滤后保留下来的混合粉末倒入医用酒精内浸泡清洗；一种钛铝合金靶材的制备方法有益效果是：通过添加由硅粉和镁粉组成的配料粉末以及由铬粉组成的微量粉末，而后通过粉末冶金的方法制得钛铝合金靶材，合金自身强度得到提升，铸造性能、抗蚀性能和焊接性能均得到提升改善，最终所制得的钛铝合金靶材性能优异，各方面属性较为均衡，同时生产流程较为简单，从而可降低生产成本，生产更加经济化。CN112410739ACN112410739A权利要求书1/1页1.一种钛铝合金靶材的制备方法，其特征在于：包括主料粉末、配料粉末和微量粉末，还包括以下步骤：S1：将主料粉末、配料粉末和微量粉末混合均匀，并过滤大颗粒杂质，保留大小均等的粉末状颗粒，得到混合粉末；S2：将S1中过滤后保留下来的混合粉末倒入医用酒精内浸泡清洗；S3：将浸泡后的混合粉末颗粒取出并将其放置在室温下，进行风干，室温温度为20-30摄氏度，风干时间1-2小时；S4：将S3中风干后得到的干燥的混合粉末压制形成生坯；S5：将S4中得到的生坯放入热压烧结炉中进行烧结，烧结过程中，热压烧结炉中加压压力设置为50-80Mpa，保压4-6小时；S6：对S5中烧结后的生坯进行冷却降温，得到钛铝合金靶材。2.根据权利要求1所述的一种钛铝合金靶材的制备方法，其特征在于：所述主料粉末包括钛粉和铝粉，所述配料粉末包括硅粉，所述微量粉末包括铬粉。3.根据权利要求2所述的一种钛铝合金靶材的制备方法，其特征在于：所述主料粉末中钛粉和铝粉占靶材总质量百分比分别为：钛粉：10％-50％铝粉：50％-80％。4.根据权利要求2所述的一种钛铝合金靶材的制备方法，其特征在于：所述配料粉末中铜粉、硅粉和镁粉占靶材总质量百分比分别为：硅粉：1％-3％。5.根据权利要求2所述的一种钛铝合金靶材的制备方法，其特征在于：所述微量粉末中铬粉占靶材总质量百分比分别为：铬粉：0.2％-0.6％。6.根据权利要求1所述的一种钛铝合金靶材的制备方法，其特征在于：所述钛粉由纯度不低于99％的金属钛研磨而成，所述铝粉由纯度不低于99％的金属铝研磨而成。7.根据权利要求7所述的一种钛铝合金靶材的制备方法，其特征在于：所述S5中烧结过程为：先将热压烧结炉中温度升高至400-700摄氏度，保温2小时，而后再将温度降低至200-600摄氏度，同时开始加压，并且再次保温3小时。8.根据权利要求7所述的一种钛铝合金靶材的制备方法，其特征在于：所述S5中在生坯烧结时，向热压烧结炉中通入氩气对烧结的生坯进行保护。2CN112410739A说明书1/5页一种钛铝合金靶材的制备方法技术领域[0001]本发明涉及靶材技术领域，具体涉及一种钛铝合金靶材的制备方法。背景技术[0002]钛铝合金是银白色的金属，它具有许多优良性能。钛的密度为4.54g/cm3，比钢轻43％，比久负盛名的轻金属镁稍重一些。机械强度却与钢相差不多，比铝大两倍，比镁大五倍。钛耐高温，熔点1942K，比黄金高近1000K，比钢高近500K，钛铝合金在真空镀膜行业也应用较广，可以做成一定比例的合金靶材，作磁控溅射镀膜的原材料。在做真空镀膜靶材时钛铝合金有多种成分比例，常用的有钛铝原子比(at％)：90：10、80：20、70：30、50：50、30：70、20：80、10：90。钛铝合金在钛原子含量大于等于50％时可以用真空熔铸的方式生产，当钛含量减少铝含量相对增加时就只能通过粉末冶金的方法来生产才能达到靶材的要求。钛原子大于等于80％时的钛铝合金还可以锻造，可以轧制。[0003]虽然目前来说，钛铝合金性能相对于传统金属来说较为优异，但在靶材运用上还任有一定缺陷可以改善，在靶材制造生产和使用时，其合金的自身强度、韧