阵列基板及其制备方法、液晶显示面板及显示装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112447760A(43)申请公布日2021.03.05(21)申请号201910798360.3(22)申请日2019.08.27(71)申请人京东方科技集团股份有限公司地址100015北京市朝阳区酒仙桥路10号申请人合肥京东方显示技术有限公司(72)发明人张云天江鹏戴珂刘金刚韩丽辉吴忠厚张春旭李萌萌(74)专利代理机构北京中博世达专利商标代理有限公司11274代理人张静尧(51)Int.Cl.H01L27/12(2006.01)H01L23/552(2006.01)H01L21/77(2017.01)G02F1/1362(2006.01)权利要求书2页说明书11页附图13页(54)发明名称阵列基板及其制备方法、液晶显示面板及显示装置(57)摘要本发明提供了一种阵列基板及其制备方法、液晶显示面板及显示装置，涉及显示技术领域，能够提高显示装置的显示效果。其中的阵列基板，包括：衬底、设置于衬底上的薄膜晶体管以及数据线；薄膜晶体管包括依次设置于衬底上的有源层图案、源极和漏极；数据线与源极、漏极同层同材料。阵列基板还包括设置于数据线靠近衬底一侧的保留图案和第一遮光图案，保留图案位于第一遮光图案与数据线之间；保留图案、第一遮光图案与数据线一一对应，且沿衬底厚度方向，第一遮光图案的正投影覆盖保留图案的正投影，保留图案的正投影与数据线的正投影重叠；其中，保留图案与有源层图案同层同材料。CN112447760ACN112447760A权利要求书1/2页1.一种阵列基板，其特征在于，包括：衬底、设置于所述衬底上的薄膜晶体管以及数据线；所述薄膜晶体管包括依次设置于所述衬底上的有源层图案、源极和漏极；所述数据线与所述源极、所述漏极同层同材料；所述阵列基板还包括设置于所述数据线靠近所述衬底一侧的保留图案和第一遮光图案，所述保留图案位于所述第一遮光图案与所述数据线之间；所述保留图案、所述第一遮光图案与所述数据线一一对应，且沿所述衬底厚度方向，所述第一遮光图案的正投影覆盖所述保留图案的正投影，所述保留图案的正投影与所述数据线的正投影重叠；其中，所述保留图案与所述有源层图案同层同材料。2.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，还包括设置于所述薄膜晶体管所在区域的第二遮光图案，所述第二遮光图案位于所述有源层图案靠近所述衬底一侧；所述第二遮光图案与所述第一遮光图案同层同材料。3.根据权利要求2所述的阵列基板，其特征在于，所述薄膜晶体管还包括栅极；所述栅极与栅线电连接且同层同材料；所述第二遮光图案位于所述栅极和所述栅线靠近所述衬底一侧，且沿所述衬底厚度方向，所述第二遮光图案与所述栅极和所述栅线的正投影重叠。4.根据权利要求2所述的阵列基板，其特征在于，所述薄膜晶体管还包括栅绝缘层；所述第二遮光图案位于所述有源层图案靠近所述栅绝缘层一侧，且沿所述衬底厚度方向，所述第二遮光图案与所述有源层图案的正投影重叠。5.根据权利要求3所述的阵列基板，其特征在于，所述栅线的一部分用作所述栅极。6.根据权利要求1-5任一项所述的阵列基板，其特征在于，所述第一遮光图案的材料为黑色绝缘材料。7.根据权利要求1-5任一项所述的阵列基板，其特征在于，还包括设置于所述薄膜晶体管远离所述衬底一侧的钝化层和像素电极；所述像素电极通过钝化层上的过孔与所述薄膜晶体管的漏极电连接，其中，所述薄膜晶体管的源极与所述数据线电连接。8.一种液晶显示面板，其特征在于，包括如权利要求1-7任一项所述的阵列基板、与所述阵列基板相对设置的对置基板、以及位于二者之间的液晶层。9.一种显示装置，其特征在于，包括如权利要求8所述的液晶显示面板、背光模组；所述背光模组包括电连接的脉宽调制驱动电路和发光二极管光源，所述脉宽调制驱动电路用于对所述发光二极管光源调光。10.一种阵列基板的制备方法，其特征在于，包括：在衬底上形成栅极、栅线；在形成有所述栅极和所述栅线的衬底上，形成栅绝缘层；在形成有所述栅绝缘层的衬底上，采用同一次构图工艺形成有源层图案、保留图案、位于所述有源层图案上方的源极和漏极，位于所述保留图案上方的数据线；在形成所述保留图案之前，还形成第一遮光图案；所述保留图案、所述第一遮光图案与所述数据线一一对应，且沿所述衬底厚度方向，所述第一遮光图案的正投影覆盖所述保留图案的正投影，所述保留图案的正投影与所述数据线的正投影重叠。2CN112447760A权利要求书2/2页11.根据权利要求10所述的阵列基板的制备方法，其特征在于，在形成栅极、栅线的同时，形成所述第一遮光图案和第二遮光图案；沿所述衬底厚度方向，所述第二遮光图案与所述栅极和所述栅线的正投影重叠；在所述衬底上形成所述栅极、所述栅线、所述第一遮光图案以及所述第二遮光图案，包括：