吸附式气体处理设备及其处理方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112546807A(43)申请公布日2021.03.26(21)申请号202011486837.3(22)申请日2020.12.16(71)申请人深圳市利微成科技有限公司地址518000广东省深圳市龙华区龙华街道富康社区东环二路61号颖博办公楼302-1C(72)发明人莫薇(74)专利代理机构无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙)32260代理人张静汝(51)Int.Cl.B01D53/04(2006.01)权利要求书1页说明书4页附图2页(54)发明名称吸附式气体处理设备及其处理方法(57)摘要本发明公开一种吸附式气体处理设备及其处理方法，包括装有吸附填料的吸附主体，吸附主体的第一端开设有入口和通气接口，吸附主体的第二端开设有出口，相邻两个不同的吸附填料通过隔板分隔，隔板可以将各种不同成分吸附填料区隔开，使各种吸附填料按顺序依次与废气反应，可以避免吸附填料在设备运输过程中抖动震荡导致多种吸附填料混杂在一起导致反应顺序错乱，从而影响了废气处理的实质效果。本发明结构简单，采用吸附截留的方式处理，不产生新的废弃物，避免了对水资源的二次污染；本发明将废气有毒有害化学成分截留，使排放的气体符合国家环保的相关要求；本发明确保运输时吸附主体内外隔绝，起到安全作用又避免了污染运输环境。CN112546807ACN112546807A权利要求书1/1页1.一种吸附式气体处理设备，包括装有吸附填料(4)的吸附主体(1)，其特征在于：所述吸附主体(1)的第一端开设有入口和通气接口(2)，所述吸附主体(1)的第二端开设有出口，相邻两个不同的吸附填料(4)通过隔板(3)分隔，隔板(3)上开设有穿孔。2.根据权利要求1所述的吸附式气体处理设备，其特征在于：所述入口设有入口阀(5)，入口阀(5)通过第一连接管连接吸附主体(1)的底部，第一连接管为弯管(6)，通气接口(2)开设在弯管(6)中部。3.根据权利要求1所述的吸附式气体处理设备，其特征在于：所述出口设有出口阀(8)，所述出口阀(8)通过第二连接管(9)连接吸附主体(1)，第二连接管(9)上固定有玻璃视镜管(10)。4.根据权利要求3所述的吸附式气体处理设备，其特征在于：所述玻璃视镜管(10)内填充有与所处理气体相对应的变色剂。5.根据权利要求1所述的吸附式气体处理设备，其特征在于：所述吸附主体(1)上开设有降温接口(11)。6.根据权利要求5所述的吸附式气体处理设备，其特征在于：所述吸附主体(1)顶部固定有温度检测装置(12)，还包括控制系统，所述温度检测装置(12)将温度信息发送至控制系统，控制系统控制降温接口(11)是否工作。7.根据权利要求1所述的吸附式气体处理设备，其特征在于：所述穿孔的大小小于吸附填料(4)内颗粒的大小。8.根据权利要求1所述的吸附式气体处理设备，其特征在于：所述隔板将设备分隔为填料腔室，所述填料腔室包括除尘过滤层、除湿干燥层、有害物中和层中的一种或多种。9.一种根据上述权利要求1‑8任一项所述的吸附式气体处理设备的处理方法，其特征在于：包括以下步骤：在投入使用时：废气从入口阀进入后通过除尘过滤层，将废气中大颗粒物质过滤截留；废气通过除湿干燥层，将废气中的水分吸收；废气通过有害物中和层，进行中和反应，将废气中有毒物质中和吸收；反应后的气体随后通过出口阀排放。10.根据权利要求9所述的吸附式气体处理设备的处理方法，其特征在于：还包括以下步骤：通过判断玻璃视镜内变色剂是否变色，进而判断废气是否处理干净或吸附填料有无失效。2CN112546807A说明书1/4页吸附式气体处理设备及其处理方法技术领域[0001]本发明为废气处理领域，具体涉及一种吸附式气体处理设备及其处理方法。背景技术[0002]随着我国科技的进步，半导体的应用也越发广泛，因此生产半导体的工厂越来越多，规模也越来越大，因此也大大增加了半导体在生产过程中废气的产生。[0003]目前市面上的半导体制程的尾气处理方式中，采用干式吸附设备进行吸附，其原理是使用吸附剂，通过物理或化学吸附法去除尾气。其中装填吸附剂的吸附主体至为重要，如何让气体顺利的通过各种吸附剂之间的缝隙且充分反应，成为半导体制程中尾气处理技术的关键。且又由于半导体制程中使用的化学气体危险性极高，吸附桶容易出现气体泄漏的情况。因此获得一种克服上述缺陷的吸附式气体处理设备十分重要。发明内容[0004]为解决上述技术问题，一方面，本发明提供一种吸附式气体处理设备，包括装有吸附填料的吸附主体，吸附主体的第一端开设有入口和通气接口，吸附主体的第二端开设有出口，相邻两个不同的吸附填料通过隔板分隔，隔板上开设有穿孔，穿孔的大小小于吸附填料内颗粒的大小，隔板固定在吸附主体内壁。隔板可以将各