一种表面清洁装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112808707A(43)申请公布日2021.05.18(21)申请号202110247601.2(22)申请日2021.03.06(71)申请人东莞市峰谷纳米科技有限公司地址523000广东省东莞市大岭山镇对面岭街31号7号楼801室(72)发明人高佳(74)专利代理机构广州市一新专利商标事务所有限公司44220代理人刘兴耿(51)Int.Cl.B08B7/00(2006.01)B08B13/00(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图3页(54)发明名称一种表面清洁装置(57)摘要本发明是一种表面清洁装置，包括主机体，所述主机体一侧设有真空泵组，所述主机体底部还设有惰性气体箱及活性气体箱，所述惰性气体箱一侧设有高压电源，所述惰性气体箱与所述活性气体箱通过管道与所述主机体相通，所述主机体内部中空形成腔体，本发明中采用石墨作为电极对活性气体与惰性气体进行电离，石墨电极与活性气体及惰性气体反应后，不会对被清洗产品表面造成残留，设置有多组石墨电极，增加了对惰性气体与活性气体的电离速率。CN112808707ACN112808707A权利要求书1/1页1.一种表面清洁装置，其特征在于：包括主机体，所述主机体一侧设有真空泵组，所述主机体底部还设有惰性气体箱及活性气体箱，所述惰性气体箱一侧设有高压电源，所述惰性气体箱与所述活性气体箱通过管道与所述主机体相通，所述主机体内部中空形成腔体；所述腔体内部设有固定架及连接杆，所述固定架包覆有若干石墨电极，所述固定架一侧设有接线板，所述接线板与所述高压电源连接，所述连接杆设有转动杆，所述连接杆与所述转动杆控制连接，所述转动杆设有卡爪。2.根据权利要求1所述的一种表面清洁装置，其特征在于，所述固定架具有槽口，所述固定架还设有用于隔离所述石墨电极的隔板，所述隔板设于所述固定架的槽口内，并且所述石墨电极横向分布于所述隔板的两侧。3.根据权利要求1所述的一种表面清洁装置，其特征在于，所述接线架开设有若干接线孔，所述接线孔与所述石墨电极固定连接。4.根据权利要求1所述的一种表面清洁装置，其特征在于，所述腔体顶部设置有真空度检测器。5.根据权利要求1所述的一种表面清洁装置，其特征在于，所述惰性气体箱、活性气体箱与所述主机体连接的管道上均设有电磁阀。6.根据权利要求1所述的一种表面清洁装置，其特征在于，所述主机体一侧设置有电控箱，所述电控箱与所述电磁阀电连接。7.根据权利要求1所述的一种表面清洁装置，其特征在于，所述主机体上开设有观察窗。2CN112808707A说明书1/3页一种表面清洁装置技术领域[0001]本发明涉及产品清洗技术领域，特别涉及一种表面清洁装置。背景技术[0002]生产的产品要求表面无污染杂质粒子，以及任何化学物质残留，现有的表面清洁装置多采用金属电极，金属电极溅射后，生成的金属及金属化合物对产品表面造成残留。发明内容[0003]有鉴于此，本发明旨在提出一种表面清洁装置，以解决现有的表面清洁装置多采用金属电极，金属电极溅射后，生成的金属及金属化合物对产品表面造成残留的问题。[0004]为达到上述目的，本发明的技术方案是这样实现的：一种表面清洁装置，包括主机体，所述主机体一侧设有真空泵组，所述主机体底部还设有惰性气体箱及活性气体箱，所述惰性气体箱一侧设有高压电源，所述惰性气体箱与所述活性气体箱通过管道与所述主机体相通，所述主机体内部中空形成腔体，所述腔体内部设有固定架及连接杆，所述固定架包覆有若干石墨电极，所述固定架一侧设有接线板，所述接线板与所述高压电源连接，所述连接杆设有转动杆，所述连接杆与所述转动杆控制连接，所述转动杆设有卡爪。[0005]进一步的，所述固定架具有槽口，所述固定架还设有用于隔离所述石墨电极的隔板，所述隔板设于所述固定架的槽口内，并且所述石墨电极横向分布于所述隔板的两侧。[0006]进一步的，所述接线架开设有若干接线孔，所述接线孔与所述石墨电极固定连接。[0007]进一步的，所述腔体顶部设有真空度检测器。[0008]进一步的，所述惰性气体箱、活性气体箱与所述主机体连接的管道上均设有电磁阀。[0009]进一步的，所述主机体一侧设有电控箱，所述电控箱与所述电磁阀电连接。[0010]进一步的，所述主机体上开设有观察窗。[0011]相对于现有技术，本发明所述的一种表面清洁装置具有以下优势：1、采用石墨作为电极对活性气体与惰性气体进行电离，石墨电极与活性气体及惰性气体反应后生成气体，不会对被清洗产品表面造成残留；2、设置有多组石墨电极，增加了对惰性气体与活性气体的电离速率。附图说明[0012]为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下文中将对本发明实施例的附图进行简单介绍。其中，附图仅仅用于展示本发