一种用于高陡度非球面反射镜的抛光方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112935998A(43)申请公布日2021.06.11(21)申请号202110202112.5(22)申请日2021.02.23(71)申请人长光卫星技术有限公司地址130000吉林省长春市北湖科技开发区明溪路1299号(72)发明人武志勇(74)专利代理机构哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司23211代理人李恩庆(51)Int.Cl.B24B13/00(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图3页(54)发明名称一种用于高陡度非球面反射镜的抛光方法(57)摘要本发明提出了一种用于高陡度非球面反射镜的抛光方法，属于反射镜光学加工领域。解决了现有高陡度非球面反射镜平滑过程中面形精度保持与加工效率无法兼顾的问题。所述抛光方法使用的抛光工具为磨头，在抛光加工的某一时刻，磨头在反射镜表面的某处驻留，所述磨头采用往复运动的方式对反射镜进行表面平滑，所述往复运动是以磨头对称轴为中心轴，在反射镜表面的任意位置以两侧对称的角度进行往复式运动。它主要用于高陡度非球面反射镜的抛光。CN112935998ACN112935998A权利要求书1/1页1.一种用于高陡度非球面反射镜的抛光方法，其特征在于：所述抛光方法使用的抛光工具为磨头(8)，在抛光加工的某一时刻，磨头(8)在反射镜(7)表面的某处驻留，所述磨头(8)采用往复运动(4)的方式对反射镜(7)进行表面平滑，所述往复运动(4)是以磨头对称轴(3)为中心轴，在反射镜(7)表面的任意位置以两侧对称的角度进行往复式运动。2.根据权利要求1所述的一种用于高陡度非球面反射镜的抛光方法，其特征在于：所述磨头(8)为沥青磨头(2)。3.根据权利要求1所述的一种用于高陡度非球面反射镜的抛光方法，其特征在于：所述往复运动(4)的角度范围为0°～180°。4.根据权利要求1‑3中任意一项所述的一种用于高陡度非球面反射镜的抛光方法，其特征在于：所述反射镜(7)为同轴反射镜(1)，所述磨头对称轴(3)为同轴反射镜(1)中心与磨头(8)的中心连线。5.根据权利要求4所述的一种用于高陡度非球面反射镜的抛光方法，其特征在于：所述磨头(8)采用螺旋线的加工路径对同轴反射镜(1)进行加工。6.根据权利要求1‑3中任意一项所述的一种用于高陡度非球面反射镜的抛光方法，其特征在于：所述反射镜(7)为离轴反射镜(5)，所述离轴反射镜(5)为离轴反射镜母镜(6)的一部分，所述磨头对称轴(3)为磨头(8)与离轴反射镜母镜(6)中心连线的轴线。7.根据权利要求6所述的一种用于高陡度非球面反射镜的抛光方法，其特征在于：所述磨头(8)采用栅格扫描的路径对离轴反射镜(5)进行加工。2CN112935998A说明书1/2页一种用于高陡度非球面反射镜的抛光方法技术领域[0001]本发明属于反射镜光学加工领域，特别是涉及一种用于高陡度非球面反射镜的抛光方法。背景技术[0002]表面平滑是反射镜光学加工中提高表面光洁度和粗糙度的重要环节，非球面的表面平滑通常以小磨头的方式实现，平滑过程中不可避免的会引起面形精度下降，而下降的严重程度与使用的工具尺寸和加工参数息息相关。[0003]现有技术背景下，非球面的表面平滑通常使用小磨头工具实现，为了兼顾平滑过程的高效和高面形精度的保持(以下简称“保形”)，一般会选用尺寸较大的小磨头，且使其紧贴镜面并绕自转轴单方向旋转，如图3所示。为了对非球面反射镜尽可能的保形，小磨头工具的自转速度不能过高，否则随着加工的进行，非球面面形会加速向球面劣化，导致整个加工过程不收敛，特别是对于高陡度的非球面来说，这种劣化更为严重。这是因为小磨头工具的塑性变形难以跟随加工过程中非球面反射镜表面磨头区域内轮廓的变化，而更换塑性更好的小磨头工具却又由于其变形过快需要频繁更换工具，使用尺寸更小的磨头或者减小磨头自转的速度又都无法兼顾平滑的效率。发明内容[0004]本发明为了解决现有技术中的问题，提出一种用于高陡度非球面反射镜的抛光方法。[0005]为实现上述目的，本发明采用以下技术方案：一种用于高陡度非球面反射镜的抛光方法，所述抛光方法使用的抛光工具为磨头，在抛光加工的某一时刻，磨头在反射镜表面的某处驻留，所述磨头采用往复运动的方式对反射镜进行表面平滑，所述往复运动是以磨头对称轴为中心轴，在反射镜表面的任意位置以两侧对称的角度进行往复式运动。[0006]更进一步的，所述磨头为沥青磨头。[0007]更进一步的，所述往复运动的角度范围为0°～180°。[0008]更进一步的，所述反射镜为同轴反射镜，所述磨头对称轴为同轴反射镜中心与磨头的中心连线。[0009]更进一步的，所述磨头采用螺旋线的加工路径对同轴反射镜进行加工。[0010]更进一步的，所述反射镜为离轴