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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113549217A(43)申请公布日2021.10.26(21)申请号202110441249.6H01L51/56(2006.01)(22)申请日2021.04.23H01L27/32(2006.01)G09F9/30(2006.01)(30)优先权数据2020-0775942020.04.24JP2021-0402442021.03.12JP(71)申请人旭化成株式会社地址日本东京都(72)发明人加藤聪佐藤雄太(74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277代理人刘新宇李茂家(51)Int.Cl.C08G73/10(2006.01)C08L79/08(2006.01)C08J5/18(2006.01)权利要求书5页说明书34页附图1页(54)发明名称聚酰亚胺前体和包含其的树脂组合物、聚酰亚胺树脂膜、树脂薄膜及其制造方法(57)摘要一种聚酰亚胺前体和包含其的树脂组合物、聚酰亚胺树脂膜、树脂薄膜及其制造方法。提供残留应力低、翘曲少、高温(尤其是430℃以上)下的黄色度(YI值)小、雾度(Haze值)小、自基材剥离的激光剥离性优异的聚酰亚胺树脂薄膜及其制造方法。一种聚酰亚胺前体,其包含(a1)通式(1)所示的结构单元L和(a2)通式(2)所示的结构单元M,前述结构单元M的量相对于前述结构单元L与前述结构单元M的合计量的比率为0.005~0.5摩尔%。CN113549217ACN113549217A权利要求书1/5页1.一种聚酰亚胺前体,其包含(a1)下述通式(1)所示的结构单元L和(a2)下述通式(2)所示的结构单元M,式(1)中,X表示4价有机基团,Y1表示2价有机基团;式(2)中,X表示4价有机基团,Y2表示2价有机基团,Z表示‑NHNH‑或‑N=N‑,所述通式(2)中的Y2为选自由下述通式(A‑1)~(A‑6)所示的结构组成的组中的至少1种,2CN113549217A权利要求书2/5页式中,R1~R13各自独立地表示碳原子数1~20的1价有机基团或卤素,a~m各自独立地为0~4的整数,n为1以上的整数,*表示键合部位,所述结构单元M的量相对于所述结构单元L与所述结构单元M的合计量的比率为0.005~0.5摩尔%。2.根据权利要求1所述的聚酰亚胺前体,其中,所述Y2为选自由所述通式(A‑1)和所述通式(A‑6)所示的结构组成的组中的至少1种。3.一种聚酰亚胺前体,其包含(a1)下述通式(1)所示的结构单元L和(a2)下述通式(2)所示的结构单元M,式(1)中,X表示4价有机基团,Y1表示2价有机基团;式(2)中,X表示4价有机基团,Y2表示2价有机基团,Z表示‑NHNH‑或‑N=N‑,所述通式(2)中的Y2为下述通式(A‑6)所示的结构,3CN113549217A权利要求书3/5页式(A‑6)中,R13各自独立地表示碳原子数1~20的1价有机基团或卤素,m为0~4的整数,n为1以上的整数,*表示键合部位。4.根据权利要求1~3中任一项所述的聚酰亚胺前体,其中,所述通式(1)中的Y1为选自由下述通式(A‑1)~(A‑5)所示的结构组成的组中的至少1种,式中,R1~R12各自独立地表示碳原子数1~20的1价有机基团或卤素,a~l各自独立地为0~4的整数,*表示键合部位。5.根据权利要求1~4中任一项所述的聚酰亚胺前体,其中,所述通式(1)或所述通式(2)或这两者中的X为源于选自由均苯四甲酸二酐(PMDA)、联苯四甲酸二酐(BPDA)、4,4’‑联苯双(偏苯三甲酸单酯酸酐)(TAHQ)、9,9‑双(3,4‑二羧基苯基)芴二酸酐(BPAF)、3,3’,4,4CN113549217A权利要求书4/5页4’‑二苯基砜四羧酸二酸酐(DSDA)、4,4’‑氧双邻苯二甲酸酐(ODPA)和环戊酮双螺降冰片烷四羧酸二酐(CpODA)组成的组中的至少1种的4价基团。6.一种树脂组合物,其包含(a)权利要求1~5中任一项所述的聚酰亚胺前体和(b)有机溶剂。7.根据权利要求6所述的树脂组合物,其还包含选自由(c)表面活性剂和(d)烷氧基硅烷化合物组成的组中的至少1种。8.根据权利要求6或7所述的树脂组合物,其中,将所述树脂组合物固化而得的聚酰亚胺树脂膜用于柔性设备。9.根据权利要求6或7所述的树脂组合物,其中,将所述树脂组合物固化而得的聚酰亚胺树脂膜用于柔性显示器。10.一种聚酰亚胺薄膜,其由权利要求1~5中任一项所述的聚酰亚胺前体或权利要求6~9中任一项所述的树脂组合物获得。11.一种聚酰亚胺,其包含下述通式(3)所示的结构单元,式(3)中,X独立地表示4价有机基团,Y1和Y2各自独立地表示2价有机基团,l和m各自独立地为1以上的整数,其中满足0.0