一种数字PCR微腔芯片及制备方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114308160A(43)申请公布日2022.04.12(21)申请号202111645217.4(22)申请日2021.12.29(71)申请人臻准生物科技（上海）有限公司地址200233上海市徐汇区桂平路333号6号楼807室(72)发明人殷敏李睿文(74)专利代理机构上海百一领御专利代理事务所(普通合伙)31243代理人杨孟娟(51)Int.Cl.B01L3/00(2006.01)C12Q1/686(2018.01)权利要求书1页说明书5页附图2页(54)发明名称一种数字PCR微腔芯片及制备方法(57)摘要本申请公开了一种数字PCR微腔芯片及制备方法，该数字PCR微腔芯片包括：基底、第一键合层以及第二键合层，基底的正面设置有多个微腔结构，基底的背面设有与微腔结构连通的流道，第一键合层与基底的正面键合，第二键合层与基底的背面键合。该制备方法，包括如下步骤：在基底的正面进行微腔结构图形光刻；刻蚀出微腔结构；在基底的背面进行流道图形光刻；刻蚀出流道；在基底的正面和背面分别键合第一键合层和第二键合层。本申请通过在基底的双面分别设置微腔结构以及流道，保留了微腔芯片式的优势，液滴分样方便，便于实现高通量自动化数字PCR系统开发；本申请提出的双面刻蚀的工艺既可保证流道和微腔结构的制备精度，而且制备方法简单，容易实现。CN114308160ACN114308160A权利要求书1/1页1.一种数字PCR微腔芯片，其特征在于，包括：基底、第一键合层以及第二键合层，所述基底的正面设置有多个微腔结构，所述基底的背面设有与所述微腔结构连通的流道，其中，所述第一键合层与所述基底的正面键合，所述第二键合层与所述基底的背面键合。2.根据权利要求1所述的数字PCR微腔芯片，其特征在于，所述流道的设置深度小于所述微腔结构的设置深度。3.根据权利要求1所述的数字PCR微腔芯片，其特征在于，所述流道的设置深度与所述微腔结构的设置深度之和等于所述基底的厚度。4.根据权利要求1所述的数字PCR微腔芯片，其特征在于，所述第一键合层采用透明材料制成。5.根据权利要求1所述的数字PCR微腔芯片，其特征在于，所述流道包括主流道以及与所述主流道连通的多个分支流道，所述分支流道与其对应设置的所述微腔结构连通设置。6.根据权利要求5所述的数字PCR微腔芯片，其特征在于，所述主流道的宽度大于所述分支流道的宽度。7.根据权利要求1至6任一项所述的数字PCR微腔芯片，其特征在于，所述微腔结构通过刻蚀方式刻蚀于所述基底的正面。8.根据权利要求1至6任一项所述的数字PCR微腔芯片，其特征在于，所述流道通过刻蚀方式刻蚀于所述基底的背面。9.根据权利要求1至6任一项所述的数字PCR微腔芯片，其特征在于，所述基底采用硅基底。10.一种如权利要求1至9任一项所述的数字PCR微腔芯片的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括如下步骤：在基底的正面进行微腔结构图形光刻；刻蚀出所述微腔结构；在基底的背面进行流道图形光刻；刻蚀出所述流道；在所述基底的正面和背面分别键合所述第一键合层和所述第二键合层。2CN114308160A说明书1/5页一种数字PCR微腔芯片及制备方法技术领域[0001]本申请属于数字PCR技术领域，具体涉及一种数字PCR微腔芯片及制备方法。背景技术[0002]数字PCR(PolymeraseChainReaction，聚合酶链式反应)是最新一代的微量核酸绝对定量工具，其原理是将反应液平均分散至皮升至纳升的微量反应体系中，在PCR循环反应之后，根据发出荧光信号的微量反应体系所占有的比例来判定原始DNA浓度，实现核酸分子绝对定量，该技术灵敏度高、特异性强、定量准确，可广泛应用于临床诊断、转基因成分定量、单细胞基因表达、环境微生物检测和下一代测序等方面。[0003]提供可靠、均一、高质量、高密度的反应单元是dPCR(数字PCR)的核心。当前液滴分割的技术路线按照液滴分割方法和荧光检测方法分类，主要包括微滴式，微滴芯片式和微腔芯片式。其中，微腔芯片式，通过物理分割的方式预先分割好不同的微小反应单元，然后采用拍照的方式进行荧光检测，固相分割的方法，可以保证体系大小的稳定性、均一性不会随着反应体系的变化而变化。微腔芯片式对试剂的兼容性更高，便于体外诊断企业在系统上开发自己的应用试剂盒，打造完全开放的数字PCR平台。在微腔芯片式技术路线中，对微腔构筑、表面处理以及液体进入微腔结构的方式，这两大核心决定了样本能否高效进行平均分割以及PCR反应能否顺利进行。发明内容[0004]针对上述现有技术的缺点或不足，本申请要解决的技术问题是提供一种数字PCR微腔芯片及制备方法。[0005]本申请通过以下技术方案来实现：[0006]本申