一种单晶硅片抛光设备及其抛光方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114346879A(43)申请公布日2022.04.15(21)申请号202210106485.7B24B1/00(2006.01)(22)申请日2022.01.28(71)申请人朱秀洁地址271200山东省泰安市新泰市汶南镇沈家庄后街北五巷9号(72)发明人朱秀洁(74)专利代理机构山东诺诚智汇知识产权代理事务所(普通合伙)37309代理人刘娅(51)Int.Cl.B24B29/02(2006.01)B24B41/06(2012.01)B24B41/00(2006.01)B24B55/06(2006.01)B24B55/12(2006.01)权利要求书3页说明书7页附图4页(54)发明名称一种单晶硅片抛光设备及其抛光方法(57)摘要本发明公开了一种单晶硅片抛光设备及其抛光方法，涉及单晶硅片生产技术领域，包括安置座和抛光组件，所述安置座的上端左侧中部设置有上料输送带，且安置座的上端右侧中部设置有下料输送带，所述安置座的上端靠近边缘处设置有固定框。本发明实现对单晶硅片的双面有效抛光工作，实现单晶硅片上料、送料、抛光及清理的自动一体化作业，不需要工作人员手动对单晶硅片进行上下料，保证单晶硅片抛光作业安全性的同时，有效提升单晶硅片的实际抛光效率，不需要对单晶硅片进行翻转即可实现单晶硅片的双面抛光工作，减少单晶硅片的抛光时长，可以有效对抛光过程中产生的细屑进行收集，避免细屑残留在作业面上对单晶硅片的抛光精度造成影响。CN114346879ACN114346879A权利要求书1/3页1.一种单晶硅片抛光设备及其抛光方法，其特征在于，包括安置座(1)和抛光组件(8)，所述安置座(1)的上端左侧中部设置有上料输送带(2)，且安置座(1)的上端右侧中部设置有下料输送带(3)，所述安置座(1)的上端靠近边缘处设置有固定框(4)，所述安置座(1)的上端两侧设置有用于单晶硅片送料的送料组件(5)，且安置座(1)的上端中心位置安置有用于单晶硅片承载的承载组件(6)，所述固定框(4)的内侧中部设置有中隔板(7)，用于单晶硅片抛光的所述抛光组件(8)设置于固定框(4)的内侧上部中心位置，且抛光组件(8)包括Y轴驱动气缸(801)、驱动块(802)、连接套(803)、限位杆(804)、弹簧(805)、抛光电机(806)、驱动轴(807)和上磨盘(808)，所述Y轴驱动气缸(801)的下端连接有驱动块(802)，且驱动块(802)的外部两侧中部设置有连接套(803)，所述连接套(803)的内侧连接有限位杆(804)，且限位杆(804)的下部外侧连接有弹簧(805)，所述驱动块(802)的中部安置有抛光电机(806)，且抛光电机(806)的下端连接有驱动轴(807)，所述驱动轴(807)的下端连接有上磨盘(808)，所述中隔板(7)的上端两侧设置有用于细屑收集的除尘组件(9)。2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片抛光设备及其抛光方法，其特征在于，所述送料组件(5)包括伺服电机(501)、连接座(502)、限位滑轨(503)、限位滑块(504)、衔接块(505)、送料气缸(506)、红外传感器(507)、送料吸盘(508)、紧固螺栓(509)和橡胶层(5010)，且伺服电机(501)的上端连接有连接座(502)，所述连接座(502)的一侧设置有限位滑轨(503)，且限位滑轨(503)的外侧连接有限位滑块(504)，所述限位滑块(504)的外侧衔接有衔接块(505)，且衔接块(505)的一侧上部连接有送料气缸(506)，且衔接块(505)的外端设置有红外传感器(507)，所述衔接块(505)的下端连接有送料吸盘(508)，且送料吸盘(508)的上端外侧穿设有紧固螺栓(509)，所述送料吸盘(508)的下端内壁设置有橡胶层(5010)。3.根据权利要求2所述的一种单晶硅片抛光设备及其抛光方法，其特征在于，所述衔接块(505)通过限位滑轨(503)、限位滑块(504)和送料气缸(506)与连接座(502)之间滑动连接，且红外传感器(507)与衔接块(505)呈垂直状分布。4.根据权利要求2所述的一种单晶硅片抛光设备及其抛光方法，其特征在于，所述橡胶层(5010)的外侧贴合于送料吸盘(508)内侧，且送料吸盘(508)通过紧固螺栓(509)与衔接块(505)之间螺纹连接，并且橡胶层(5010)与送料吸盘(508)嵌入连接。5.根据权利要求1所述的一种单晶硅片抛光设备及其抛光方法，其特征在于，所述载组件(6)包括承载盘(601)、驱动电机(602)、下磨盘(603)、连接轴(604)、限位齿轮(605)、连接齿轮(606)、限位片(607)、限位槽(608)和硅胶层(609)，且承载盘(601