反光镜柔性调节装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114442256A(43)申请公布日2022.05.06(21)申请号202210028444.0(22)申请日2022.01.11(71)申请人智慧星空（上海）工程技术有限公司地址201316上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区临港新片区海基六路70弄1号512-57室申请人深圳智达星空科技（集团）有限公司(72)发明人不公告发明人(74)专利代理机构北京清大紫荆知识产权代理有限公司11718专利代理师郑纯秦亚群(51)Int.Cl.G02B7/182(2021.01)G02B7/198(2021.01)权利要求书1页说明书3页附图2页(54)发明名称反光镜柔性调节装置(57)摘要本发明的反光镜柔性调节装置，属于集成电路装备的技术领域，至少解决现有技术中安装反光镜的方式，致使反光镜的镜片中心易变动的技术问题。包括顶板、底板、柔性铰链结构和驱动件，所述顶板的顶面嵌入有反光镜；近邻所述反光镜位置处安装所述驱动件，且，所述驱动件一端穿过所述顶板并与所述底板接触，另一端伸出所述顶板留有伸出段；所述柔性铰链结构的两端分别与所述顶板和底板连接，其中：所述驱动件转动时，带动所述顶板绕所述驱动件转动，在柔性铰链结构的作用下，反光镜的中心点保持相对位置不变。CN114442256ACN114442256A权利要求书1/1页1.一种反光镜柔性调节装置，适用于高精密光学设备中反光镜角度的调节，其特征在于，包括顶板、底板、柔性铰链结构和驱动件，所述顶板的顶面嵌入有反光镜；近邻所述反光镜位置处安装所述驱动件，且，所述驱动件一端穿过所述顶板并与所述底板接触，另一端伸出所述顶板留有伸出段；所述柔性铰链结构的两端分别与所述顶板和底板连接，其中：所述驱动件转动时，带动所述顶板绕所述驱动件转动，在柔性铰链结构的作用下，反光镜的中心点位置保持相对位置不变。2.根据权利要求1所述的反光镜柔性调节装置，其特征在于，所述反光镜安装在所述顶板中央区域。3.根据权利要求1所述的反光镜柔性调节装置，其特征在于，所述柔性铰链结构为圆弧型柔性铰链或自由挠曲式柔性铰链。4.根据权利要求3所述的反光镜柔性调节装置，其特征在于，所述柔性铰链结构以对称的方式安装在所述顶板和底板的边沿位置处，或是一体式结构设置，其中：在所述驱动件转动时，所述顶板在竖直相向上不产生位移，且，在绕所述驱动件转动时，反光镜的镜片中心点位置不变。5.根据权利要求1所述的反光镜柔性调节装置，其特征在于，还包括弹簧，所述弹簧两端分别抵制在所述顶板和底板之间，在所述顶板和底板之间产生预紧力。6.根据权利要求1所述的反光镜柔性调节装置，其特征在于，所述弹簧两端的两端在对应位置分别伸出所述顶板和底板，并分别安装有调节环，转动所述调节环能够调整所述顶板和底板之间预紧力的大小。7.根据权利要求1所述的反光镜柔性调节装置，其特征在于，所述驱动件为螺栓并所述顶板螺纹连接。2CN114442256A说明书1/3页反光镜柔性调节装置技术领域[0001]本发明属于集成电路装备的技术领域，尤其涉及一种反光镜柔性调节装置。背景技术[0002]高精密光学镜头的加工和制造过程非常复杂，随着对光学系统成像质量要求的增高，光路和光学元件变的越来越复杂，对光学元件的定位精度的要求也越来越高，要求定位精度微米级甚至是亚微米级。在折反射型镜头中，其反光镜需要保持其中心在光轴上，且尽可能的保证光轴中心位置不变。[0003]本发明的发明人发现现有技术的安装方式至少存在如下缺点：[0004]1)组件轴向刚度差：该结构缺少光轴方向的刚度，反光镜的镜片中心易变动，造成光学关联像差的变化；[0005]2)组件较多，装配难度较大：在柔性件装配过程中对装配件的精度和装配力大小要求较高，现有工艺调整难度较大，亦导致组件在装配过程中发生变形。[0006]有鉴于此，特提出本发明。发明内容[0007]本发明的目的在于提供一种反光镜柔性调节装置，至少解决现有技术中安装反光镜的方式，致使反光镜的镜片中心易变动的技术问题。本案的技术方案有诸多技术有益效果，见下文介绍：[0008]提供一种反光镜柔性调节装置，高精密光学设备中反光镜角度的调节，包括顶板、底板、柔性铰链结构和驱动件，所述顶板的顶面嵌入有反光镜；近邻所述反光镜位置处安装所述驱动件，且，所述驱动件一端穿过所述顶板并与所述底板接触，另一端伸出所述顶板留有伸出段；所述柔性铰链结构的两端分别与所述顶板和底板连接，其中：[0009]所述驱动件转动时，带动所述顶板绕所述驱动件转动，在柔性铰链结构的作用下，反光镜的中心保持相对位置不变。[0010]与现有技术相比，本发明提供的技术方案包括以下有益效果：[0011]本案所提供的装置，通过设置柔性铰链结构将顶板和底板柔性连