真空容器抽真空的方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114623378A(43)申请公布日2022.06.14(21)申请号202210071642.5F17D1/065(2006.01)(22)申请日2022.01.21F17D3/01(2006.01)F04B45/04(2006.01)(71)申请人北京国科环宇科技股份有限公司F04B53/20(2006.01)地址100190北京市海淀区知春路63号北F04B53/10(2006.01)京卫星制造厂51号楼(卫星大厦)16层F04D19/04(2006.01)(72)发明人涂云宏张东伟梁学锋郭东亮李壮冯江涛张星淳(74)专利代理机构北京开阳星知识产权代理有限公司11710专利代理师杨佩(51)Int.Cl.F17C13/00(2006.01)F17C13/04(2006.01)F17C5/00(2006.01)F17C7/00(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图2页(54)发明名称真空容器抽真空的方法(57)摘要本公开涉及抽真空设备技术领域，尤其涉及一种真空容器抽真空的方法。该真空容器抽真空的方法包括以下步骤：步骤一：将第一电磁阀、第三电磁阀、第四电磁阀和第五电磁阀均调整为关闭状态；步骤二：打开第三电磁阀并启动第一真空泵，第一真空泵将真空容器中的气体抽出到外部环境中；步骤三：打开第一电磁阀，使压力容器中的保护气体流入到真空容器中，接着关闭第一电磁阀；步骤四：在真空容器中进行特定加工工作。该真空容器抽真空的方法，能够利用四通、废气瓶、第二升压泵和第五电磁阀的配合工作，使四通处的残留空气不会进入到封闭循环的系统里，防止保护气体从真空容器流入到压力容器的过程中被外界空气污染。CN114623378ACN114623378A权利要求书1/2页1.一种真空容器抽真空的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一：将第一电磁阀(41)、第三电磁阀(43)、第四电磁阀(44)和第五电磁阀(45)均调整为关闭状态；步骤二：打开第三电磁阀(43)并启动第一真空泵(33)，第一真空泵(33)将真空容器(2)中的气体抽出到外部环境中，当真空容器(2)中的真空状态符合要求时，关闭第三电磁阀(43)和第一真空泵(33)；步骤三：打开第一电磁阀(41)，使压力容器(1)中的保护气体流入到真空容器(2)中，接着关闭第一电磁阀(41)；步骤四：在真空容器(2)中进行特定加工工作；步骤五：打开第五电磁阀(45)和第二升压泵(32)，将四通(5)处残留的空气收入到废气瓶(6)内，关闭第五电磁阀(45)和第二升压泵(32)；步骤六：打开第一升压泵(31)、第一真空泵(33)和第四电磁阀(44)，使真空容器(2)中的保护气体重新流入到压力容器(1)内，完成保护气体的回收，接着关闭第一升压泵(31)、第一真空泵(33)和第四电磁阀(44)。2.根据权利要求1所述的真空容器抽真空的方法，其特征在于，所述步骤二中的第一真空泵(33)为隔膜泵。3.根据权利要求2所述的真空容器抽真空的方法，其特征在于，所述第一真空泵(33)包括第一腔室(331)和电子阀门(8)；所述电子阀门(8)安装在所述第一真空泵(33)的本体上，所述电子阀门(8)连接所述第一腔室(331)和外部环境。4.根据权利要求3所述的真空容器抽真空的方法，其特征在于，所述电子阀门(8)的排气孔与所述第一腔室(331)连通，所述电子阀门(8)的进气孔与外部环境连通，所述电子阀门(8)的通径为0.6‑1mm。5.根据权利要求3所述的真空容器抽真空的方法，其特征在于，所述步骤二和所述步骤六中，当所述第一真空泵(33)工作时，所述电子阀门(8)以设定频率进行开闭动作。6.根据权利要求5所述的真空容器抽真空的方法，其特征在于，当所述第一真空泵(33)工作时，所述电子阀门(8)以开启3s、关闭15s的频率反复开闭。7.根据权利要求3所述的真空容器抽真空的方法，其特征在于，所述电子阀门(8)的进气孔处设有过滤器。8.根据权利要求1所述的真空容器抽真空的方法，其特征在于，所述步骤一具体为：将第一电磁阀(41)、第二电磁阀(42)、第三电磁阀(43)、第四电磁阀(44)和第五电磁阀(45)均调整为关闭状态；所述步骤二具体为：打开第三电磁阀(43)和第二电磁阀(42)，并启动第一真空泵(33)和第二真空泵(34)，第一真空泵(33)和第二真空泵(34)将真空容器(2)中的气体抽出到外部环境中，当真空容器(2)中的真空状态符合要求时，关闭第三电磁阀(43)、第二电磁阀(42)、第一真空泵(33)和第二真空泵(34)；所述步骤六具体为：打开第一升压泵(31)、第一真空泵(33)、第二真空泵(34)、第二电磁阀(42)和第四电磁阀(44)，使真空容器(2)中的保护气