一种EB-PVD实验工件用样品架及其样品蒸渡方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114717530A(43)申请公布日2022.07.08(21)申请号202210399449.4(22)申请日2022.04.15(71)申请人北航(四川)西部国际创新港科技有限公司地址610213四川省成都市天府新区成都直管区正兴镇凉风顶村3组303号(72)发明人裴延玲郭付达张恒尚勇张晨洁彭辉宫声凯(74)专利代理机构北京高沃律师事务所11569专利代理师石佳(51)Int.Cl.C23C14/50(2006.01)C23C14/30(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图2页(54)发明名称一种EB-PVD实验工件用样品架及其样品蒸渡方法(57)摘要本发明公开一种EB‑PVD实验工件用样品架及其样品蒸渡方法，底板上开设有样品柱安装孔，样品柱安装孔内插接有用于安装实验工件的样品柱，样品柱与底板相接的位置处沿样品柱的径向开设有定位孔，定位孔内插接有定位柱，底板上开设有用于容纳定位柱的贯穿长孔，贯穿长孔的两侧开口处均抵接有可拆卸式的夹紧部，且定位柱夹紧在两夹紧部之间，底板通过样品柱安装孔和贯穿长孔分别与样品柱和定位柱形成孔内插接的连接方式，样品柱和定位柱之间也通过定位孔内插接的方式，通过夹紧部可拆卸夹紧在定位柱两侧，整个样品架形成可拆卸式的连接结构，在完成蒸镀后，能够将各个部件拆卸下来，方便的对各个部件进行清洗，避免存留死角结构。CN114717530ACN114717530A权利要求书1/1页1.一种EB‑PVD实验工件用样品架，其特征在于，包括可拆卸连接在EB‑PVD设备主轴上的底板，所述底板上开设有样品柱安装孔，所述样品柱安装孔内插接有用于安装实验工件的样品柱，所述样品柱与所述底板相接的位置处沿所述样品柱的径向开设有定位孔，所述定位孔内插接有定位柱，所述底板上开设有用于容纳所述定位柱的贯穿长孔，所述贯穿长孔的两侧开口处均抵接有可拆卸式的夹紧部，且所述定位柱夹紧在两所述夹紧部之间。2.根据权利要求1所述的EB‑PVD实验工件用样品架，其特征在于，两所述夹紧部为配套设置的固定螺栓和固定螺母，所述固定螺栓插接在所述贯穿长孔中，且所述固定螺栓的螺帽与所述固定螺母分别抵接在所述贯穿长孔的两侧开口处，并夹紧所述定位柱。3.根据权利要求2所述的EB‑PVD实验工件用样品架，其特征在于，所述定位柱位于所述样品柱两侧的位置处均开设有固定孔，所述固定螺栓插接在所述固定孔中。4.根据权利要求2或3所述的EB‑PVD实验工件用样品架，其特征在于，所述样品柱和所述样品柱安装孔、所述定位柱和所述定位孔均为配套的棱柱状结构。5.根据权利要求4所述的EB‑PVD实验工件用样品架，其特征在于，所述定位柱和所述贯穿长孔为配套的棱柱状结构。6.根据权利要求5所述的EB‑PVD实验工件用样品架，其特征在于，所述定位柱的两侧壁均与所述贯穿长孔的两开口处相平齐。7.根据权利要求6所述的EB‑PVD实验工件用样品架，其特征在于，所述底板上开设有成对且间隔设置的所述样品柱安装孔，各所述样品柱安装孔内均插接有所述样品柱，所述实验工件拉紧在两所述样品柱之间。8.根据权利要求7所述的EB‑PVD实验工件用样品架，其特征在于，所述样品柱上均开设有轴线与所述样品柱轴线相垂直的拉紧孔，且各所述拉紧孔同轴心，并均插接有拉紧螺杆，所述实验工件通过连接丝拉紧在两所述拉紧螺杆之间，且所述拉紧螺杆上连接有用于将其旋紧在所述样品柱上的拉紧螺母。9.根据权利要求8所述的EB‑PVD实验工件用样品架，其特征在于，所述底板一侧的轴心处设有与所述EB‑PVD设备主轴相连接的连接杆，所述底板另一侧的轴心处设有穿过所述底板与所述连接杆相连接的连接螺杆，所述连接螺杆的螺帽和所述连接杆夹紧所述底板。10.一种应用EB‑PVD实验工件用样品架的样品蒸渡方法，其特征在于，包括如下步骤：预清洗：将所述EB‑PVD实验工件用样品架表面进行40‑60目白钢玉干喷砂处理，压力0.2‑0.3MPa；超声清洗：将预清洗后的所述EB‑PVD实验工件用样品架各部分进行酒精超声清洗30min；底板连接：将底板通过连接螺杆连接到连接杆上；定位柱连接：将两定位柱分别放置在底板上的贯穿长孔中，并插入到样品柱中的定位孔，然后将固定螺栓插入所述定位柱的固定孔，进而旋进固定螺母将定位柱夹紧在贯穿长孔中；拉紧样品：将样品通过连接丝连接到两拉紧螺杆之间，通过两个拉紧螺丝杆向两侧拉紧样品，通过拉紧螺母将拉紧螺杆固定在样品柱上。2CN114717530A说明书1/5页一种EB‑PVD实验工件用样品架及其样品蒸渡方法技术领域[0001]本发明涉及EB‑PVD蒸镀技术领域，特别是涉及一种EB‑PVD实验工件用样品架及其样品蒸渡方法。背景技术[0002]目前国内EB‑PVD蒸镀时样