一种石英坩埚表面在线检测装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115078543A(43)申请公布日2022.09.20(21)申请号202210845604.0(22)申请日2022.07.19(71)申请人江苏圣锦硅业新材料有限公司地址221400江苏省徐州市新沂市棋盘工业集中区10号(72)发明人陈斐艳(74)专利代理机构济南方宇专利代理事务所(普通合伙)37251专利代理师俞波(51)Int.Cl.G01N29/04(2006.01)G01N29/22(2006.01)F21V33/00(2006.01)F21Y115/10(2016.01)权利要求书2页说明书5页附图12页(54)发明名称一种石英坩埚表面在线检测装置(57)摘要本发明公开了一种石英坩埚表面在线检测装置，包括检测室，所述检测室内侧顶部通过安装有检测板，且所述检测板内侧面安装有若干用于发射超声波的发射头，本发明涉及石英坩埚表面检测技术领域。该石英坩埚表面在线检测装置，通过伸缩检测杆对石英坩埚内壁表面的检测，以及检测板对石英坩埚外壁表面的检测，可对石英坩埚的内外表面同时进行检测，节省检测时间，提高检测效率，实现了对不同混合材质的石英坩埚的全方位检测，不留死角，通过经由液压杆自身的升降调节功能，可对不同口径大小以及高度的石英坩埚进行倒扣支撑，不受石英坩埚尺寸大小、杯口结构造型以及高度的约束。CN115078543ACN115078543A权利要求书1/2页1.一种石英坩埚表面在线检测装置，具体包括检测室（1），其特征在于：所述检测室（1）内侧顶部通过安装有检测板（2），且所述检测板（2）内侧面安装有若干用于发射超声波的发射头，所述检测室（1）内侧底部安装有内部检测组件（3）和照明组件（4），所述检测室（1）内侧底部中间位置安装有电机（5），且所述内部检测组件（3）和照明组件（4）分别安装在电机（5）的左右两侧，所述电机（5）上安装有反光镜（6），且所述电机（5）顶部的旋转轴上安装有升降组件（7），所述检测室（1）内侧布设有连接线（11），所述内部检测组件（3）包括用于发射超声波的超声波发射器（31），所述超声波发射器（31）底部通过丝杆与检测室（1）螺栓安装，所述超声波发射器（31）顶部安装有用于传输超声波的第一鹅颈管（32），所述第一鹅颈管（32）顶部连接有伸缩检测杆（33），且所述伸缩检测杆（33）表面靠近检测板（2）的一侧安装有用于输出超声波的微型发射头；所述照明组件（4）包括电源柱（41），所述电源柱（41）顶部连接有第二鹅颈管（42），所述第二鹅颈管（42）顶部连接有LED灯条（43）；所述升降组件（7）包括液压杆（71），所述液压杆（71）底部设置有底装盘（72），所述液压杆（71）顶部设置有顶装盘（73），所述顶装盘（73）顶部粘黏有橡胶盘（74）。2.根据权利要求1所述的一种石英坩埚表面在线检测装置，其特征在于：所述升降组件（7）顶部安装有石英坩埚（8），所述检测室（1）前端边侧通过合页活动铰安装有门框（9），所述门框（9）中部安装有透明玻璃板，以及安装在所述透明玻璃板上的用于显示检测结果的显示屏（10），其中，所述显示屏（10）具有控制面板，所述检测室（1）顶部安装有吊杆（12）。3.根据权利要求2所述的一种石英坩埚表面在线检测装置，其特征在于：所述门框（9）与检测室（1）贴合的一面开设有卡槽，所述卡槽内侧嵌合安装有磁铁条（13），所述吊杆（12）上安装有若干螺帽（14），所述门框（9）通过磁铁条（13）与检测室（1）吸附安装，所述检测板（2）通过螺帽（14）和吊杆（12）配合位于检测室（1）内侧吊设安装。4.根据权利要求3所述的一种石英坩埚表面在线检测装置，其特征在于：所述电源柱（41）用于提供电源，所述电源柱（41）底部与检测室（1）相连接，所述电源柱（41）表面安装有用于安装干电池的卡板。5.根据权利要求4所述的一种石英坩埚表面在线检测装置，其特征在于：所述第二鹅颈管（42）用于任意方向弯折调节，所述LED灯条（43）通过第二鹅颈管（42）安装在电源柱（41）上。6.根据权利要求5所述的一种石英坩埚表面在线检测装置，其特征在于：所述LED灯条（43）用于对石英坩埚（8）的四周进行照明，且所述LED灯条（43）与电机（5）上的反光镜（6）相对应配合，所述反光镜（6）用于反射部分LED灯条（43）散发的灯光照射向石英坩埚（8）中。7.根据权利要求6所述的一种石英坩埚表面在线检测装置，其特征在于：所述液压杆（71）底部通过底装盘（72）和丝杆配合螺栓安装在电机（5）顶部的旋转轴上。8.根据权利要求7所述的一种石英坩埚表面在线检测装置，其特征在于：所述橡胶盘（74）通过液压杆（71）和旋转轴配合与电机（5）旋转安装，所述电机（5）底部通过丝