一种石英坩埚表面喷砂处理装置.pdf
建英****66
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一种石英坩埚表面喷砂处理装置.pdf
本发明涉及石英坩埚表面处理技术领域,具体为一种石英坩埚表面喷砂处理装置,包括工作台,工作台上设有砂洗室,工作台上安装有传输装置;工作台内滑动有滑动装置、限位件,限位件与转轴通过凸轮连接,承载滑块上设有固定件,工作台内滑动有顶起件。通过滑动装置、限位件、凸轮连动并相抵设置,第一电机启动时破坏力平衡状态来使顶起件顶出固定件,固定件向上滑动,从而来固定石英坩埚,解决了现有技术中喷砂处理过程中受夹具影响的问题。
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一种石英坩埚表面在线检测装置.pdf
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一种石英坩埚表面在线检测装置.pdf
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