晶圆切割机切割刀座.pdf
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晶圆切割机切割刀座.pdf
本发明涉及晶圆切割机技术领域,特指一种晶圆切割机切割刀座;本发明包括刀座,刀座的一端安装有切刀,刀座的上端固定有固定座,固定座的一侧连接有第一刀套,刀座的上端安装有刀套气缸,刀套气缸驱动固定座,第一刀套位于切刀的一侧;本发明通过刀套气缸驱动固定座,进而驱动第一刀套远离切刀,从而留出空间进行切刀更换,非常方便,切刀更换效率大大提高。
晶圆切割机行业报告.pptx
晶圆切割机行业报告01随着半导体技术的不断进步和市场需求的增长,晶圆切割机行业经历了从手动到自动化、从低精度到高精度的发展历程。市场需求020304050607报告首先回顾了晶圆切割机市场的历史发展,分析了市场规模的增长趋势,指出近年来市场需求的稳步提升。THANKS
晶圆承载座及研磨机.pdf
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切割机的磨刀方法及晶圆切割方法.pdf
本发明提供一种切割机的磨刀方法及晶圆切割方法,包括:提供切割机,切割机包括轴向设置的轮毂、切割刀片和电机;提供裸片晶圆作为磨刀器;全切裸片晶圆,采用切割刀片逐行切透裸片晶圆,形成第一切割槽;单侧切裸片晶圆,采用切割刀片的远离轮毂一侧的部分对第一切割槽远离轮毂一侧的裸片晶圆进行逐行切割,使切割刀片的远离轮毂一侧的部分被磨损;磨刀完成的切割刀片的径向上的最外侧边缘(刀刃)到轴线的距离从电机一侧到轮毂一侧逐渐增大,呈斜坡形。全切结合单侧切的磨刀方法形成的切割刀片的刀刃形状一致性较好。采用该切割刀片切割晶圆品质好
一种晶圆切割刀片成品检测装置及其检测方法.pdf
本发明公开了一种晶圆切割刀片成品检测装置及其检测方法,包括定位座,定位座顶部一侧的中间位置固定设有固定杆,固定杆的外壁穿插设有检测设备,定位座顶部的一侧开设有滑槽,滑槽的一端滑动设有支撑架,支撑架的顶端滑动设有定位架,支撑架顶部的一端固定设有第一定位块,本发明通过固定在固定架一侧中间位置的第三电机的输出端带动定位轴和晶圆切割刀片开始转动,固定在定位架一侧的第一电机的输出端带动定位框转动,便于检测晶圆切割刀片的多个角度,使得晶圆切割刀片的检测更加便捷,避免因为需要工作人员摆弄角度导致引起的损伤,降低晶圆切割