一种陶瓷电容式压力传感器.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115560885A(43)申请公布日2023.01.03(21)申请号202211365499.7(22)申请日2022.11.01(71)申请人孝感华工高理电子有限公司地址432100湖北省孝感市孝汉大道1号华工科技孝感产业园(72)发明人何文超何俊司敏(74)专利代理机构北京汇泽知识产权代理有限公司11228专利代理师吴静(51)Int.Cl.G01L1/14(2006.01)G01L9/12(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图4页(54)发明名称一种陶瓷电容式压力传感器(57)摘要本发明涉及压力传感器领域，特别涉及一种陶瓷电容式压力传感器，包括壳体、电气接插件、压力感应元件和电路板，压力感应元件包括组合固定在一起的基片和薄片，基片上靠近薄片的一侧设第一电极，薄片上靠近基片的一侧设第二电极，第一电极外周设一圈第一屏蔽环，第二电极外周设一圈第二屏蔽环，第一电极与第一屏蔽环之间、第二电极与第二屏蔽环之间均留有间隙。本发明采用屏蔽环设计能形成一个屏蔽罩，可以屏蔽所测导电液体的寄生电容，保护压力感应元件陶瓷电容的初始容值不受水等导电液体寄生电容的影响，从而解决了陶瓷电容式压力传感器检测水等导电液体压力时精度不准的问题，提高了压力传感器对水等导电液体压力检测的准确度。CN115560885ACN115560885A权利要求书1/1页1.一种陶瓷电容式压力传感器，其特征在于：包括壳体、电气接插件、压力感应元件和电路板，所述壳体的一端固设有所述电气接插件，壳体与电气接插件之间形成安装腔，所述安装腔内安装有所述压力感应元件和电路板且电路板靠近所述电气接插件，所述压力感应元件包括组合固定在一起的基片和薄片，基片上靠近薄片的一侧设有第一电极，薄片上靠近基片的一侧设有第二电极，所述第一电极的外周设有一圈第一屏蔽环，所述第二电极的外周设有一圈第二屏蔽环，第一电极与第一屏蔽环之间、第二电极与第二屏蔽环之间均留有间隙。2.根据权利要求1所述的一种陶瓷电容式压力传感器，其特征在于：所述基片上印刷形成所述第一电极和第一屏蔽环，所述薄片上印刷形成所述第二电极和第二屏蔽环。3.根据权利要求2所述的一种陶瓷电容式压力传感器，其特征在于：所述印刷采用金浆印刷。4.根据权利要求1所述的一种陶瓷电容式压力传感器，其特征在于：所述壳体的内端面与所述薄片之间设有密封圈，壳体的内端面上设有与所述密封圈适配的安装槽。5.根据权利要求1所述的一种陶瓷电容式压力传感器，其特征在于：所述第一电极和第二电极均包括圆极片和从圆极片上引出的引出端，所述第一屏蔽环和第二屏蔽环均包括相连的圆环部和扇形部，所述圆环部环绕在所述圆极片的周边，所述扇形部环绕在所述引出端的周边。6.根据权利要求5所述的一种陶瓷电容式压力传感器，其特征在于：所述第二电极的圆极片直径大于所述第一电极的圆极片直径，所述第一屏蔽环的圆环部宽度大于所述第二屏蔽环的圆环部宽度，第一屏蔽环上圆环部的外直径等于第二屏蔽环上圆环部的外直径。7.根据权利要求1所述的一种陶瓷电容式压力传感器，其特征在于：所述薄片上远离所述基片的一侧设有电极屏蔽层。8.根据权利要求1所述的一种陶瓷电容式压力传感器，其特征在于：所述基片和薄片采用玻璃胶固定在一起。9.根据权利要求1所述的一种陶瓷电容式压力传感器，其特征在于：所述电路板采用柔性电路板，所述电气接插件内设有插针。10.根据权利要求1所述的一种陶瓷电容式压力传感器，其特征在于：所述壳体的一端为管状结构，另一端为开口腔，所述管状结构的外侧设有外螺纹，所述压力感应元件和电路板均安装在所述开口腔内。2CN115560885A说明书1/5页一种陶瓷电容式压力传感器技术领域[0001]本发明涉及压力传感器技术领域，特别涉及一种陶瓷电容式压力传感器。背景技术[0002]传感器技术是现代测量和自动化系统的重要技术之一，从生产的过程控制到现代科技化的生活，几乎每一项技术都离不开传感器。陶瓷电容式压力传感器是一种常用压力传感器类型，其原理为采用基片和薄片组合的结构，薄片通常与基片组合固定在一起，两者之间内侧印刷电极图形，从而形成一个初始电容，当薄片所承受的介质压力变化时两者之间的电容量随之发生变化，通过调理芯片将该信号进行转换调理后输出给后级使用。陶瓷电容技术具有成本适中，量程范围款，温度特性好、一致性、长期稳定性好等优势，广泛应用于汽车与工业控制等领域。[0003]但陶瓷电容式压力传感器较少直接应用于测量水等导电液体中，因水等导电液体具有寄生电容，当水等导电液体没有接近陶瓷电容薄片时，基片和薄片之间的初始电容不会受到影响，当水等导电液体接近陶瓷电容薄片时，水等导电液体的寄生电容将耦合到这个初始电容上，使基片和薄片之间的静态初始电容变大