用于确定距物体距离的距离测量装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110785623A(43)申请公布日2020.02.11(21)申请号201880041934.6(74)专利代理机构北京坤瑞律师事务所11494(22)申请日2018.05.09代理人封新琴(30)优先权数据(51)Int.Cl.17170788.82017.05.12EPG01B9/02(2006.01)G01B11/24(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日2019.12.23(86)PCT国际申请的申请数据PCT/EP2018/0621502018.05.09(87)PCT国际申请的公布数据WO2018/206731DE2018.11.15(71)申请人泰勒-霍普森有限公司地址英国莱斯特(72)发明人C·安利格T·梅J·彼得P·艾斯沃特S·沙玛权利要求书2页说明书15页附图8页(54)发明名称用于确定距物体距离的距离测量装置(57)摘要本公开文本涉及一种用于确定距物体(20)的距离的距离测量装置，其中所述距离测量装置包括以下各项：-至少一个光源(12)，其用于产生具有第一波长的至少一个第一单色且具有干涉能力的光束(12.1)，并且用于产生具有第二波长的至少一个第二单色且具有干涉能力的光束(12.2)；-多路器(14)，其用于将所述至少第一光束(12.1)和所述至少第二光束(12.2)耦合或组合成公共测量光束(M)；-输出耦合元件(45)，其用于将所述测量光束(M)分成参考光束(R)和信号光束(S)，其中所述参考光束(R)沿参考路径(RP)传播，并且其中所述信号光束(S)沿信号路径(SP)传播；-相位调制器(60；160)，其布置在所述信号路径(SP)中并且被配置为以时间周期方式调制所述信号光束(S)的相位。CN110785623ACN110785623A权利要求书1/2页1.一种用于确定距物体(20)的距离的距离测量装置，其中所述距离测量装置包括以下各项：-至少一个光源(12)，其用于产生具有干涉能力且具有第一波长的至少一个第一单色光束(12.1)，并且用于产生具有干涉能力且具有第二波长的至少一个第二单色光束(12.2)，-多路器(14)，其用于将所述至少第一光束(12.1)和所述至少第二光束(12.2)耦合或组合成公共测量光束(M)，-输出耦合元件(45)，其用于将所述测量光束(M)分成参考光束(R)和信号光束(S)，其中所述参考光束(R)沿参考路径(RP)传播，并且其中所述信号光束(S)沿信号路径(SP)传播，-相位调制器(60；160)，其布置在所述信号路径(SP)中并且被配置为以时间周期方式调制所述信号光束(S)的相位。2.根据权利要求1所述的距离测量装置，其中所述相位调制器(60；160)包括电光调制器(61)。3.根据权利要求2所述的距离测量装置，其中所述电光调制器(61)包括晶体(62)和与所述晶体(62)电连接的至少两个可电致动电极(72、74)。4.根据权利要求3所述的距离测量装置，其中所述晶体(62)包括铌酸锂晶体、磷酸二氢钾晶体或砷化镓晶体。5.根据权利要求3或4所述的距离测量装置，其中所述晶体(62)包括波导(64)。6.根据前述权利要求3至5中的任一项所述的距离测量装置，其中所述电极(72、74)位于所述晶体(62)的公共表面(66)上。7.根据权利要求5和6所述的距离测量装置，其中所述电极(72、74)彼此平行并且沿所述波导(64)的纵向方向延伸。8.根据前述权利要求中的任一项所述的距离测量装置，其进一步包括测量头(18)，在所述测量头中或所述测量头上设置有所述相位调制器(60；160)。9.根据权利要求8所述的距离测量装置，其中所述测量头(18)以光纤方式耦合到所述多路器(14)。10.根据前述权利要求中的任一项所述的距离测量装置，其中所述相位调制器(60；160)以光纤方式耦合到所述多路器(14)。11.根据前述权利要求8至10中的任一项所述的距离测量装置，其中所述测量头(18)包括光学单元(78)，借助于所述光学单元，所述信号光束(S)能够被引导到所述物体(20)和/或被所述物体(20)反射的信号光束(S')能够耦合到所述测量头(18)中。12.根据权利要求11所述的距离测量装置，其中所述相位调制器(60；160)的面向所述光学单元(78)的端面(85)具有相对于所述光学单元(78)的光轴以倾斜方式对准的表面法线(N)。13.根据权利要求11或12所述的距离测量装置，其中所述相位调制器(60；160)在所述信号路径(SP)中设置于所述输出耦合元件(45)与所述光学单元(78)之间。14.根据前述权利要求中的任一项所述的距离测量装置，其进一步包括输入耦合元件(80)，借助于所述输入耦合元件，所