内容提供者
回收溅射靶材的方法.pdf
2023-10-28
10金币
2.8MB
14页
Jo****34
实名认证
内容提供者
1/10
2/10
3/10
4/10
5/10
6/10
7/10
8/10
9/10
10/10
亲，该文档总共14页，到这已经超出免费预览范围，如果喜欢就直接下载吧～
相关资料
回收溅射靶材的方法.pdf
一种回收溅射靶材的方法，包括：提供溅射靶材，所述溅射靶材包括固定在一起的溅射面板和背板，所述溅射面板的拉应力和所述背板的拉应力均大于所述溅射面板和所述背板之间的啮合力；支撑所述背板，且对所述背板上与所述溅射面板的边缘位置对应的位置施加朝向所述溅射面板的压应力，所述压应力大于所述啮合力且小于所述溅射面板的拉应力；当所述溅射面板的边缘位置与所述背板的对应位置出现剥离时，沿朝向所述溅射面板的中心方向逐渐改变施加的压应力的位置，直至使所述溅射面板与所述背板完全分离。本发明可以在不污染环境和不改变溅射面板成分的前提
2023-10-28
10
2.8MB
一种溅射靶材回收处理装置及方法.pdf
本发明公开了一种溅射靶材回收处理装置及方法，包括炉体和炉体支架，所述炉体一侧设置有抽屉式炉门；所述炉体内设置有若干装料支架，靶材组件倾斜置于所述装料支架上，相邻两个所述靶材组件之间留有投影间隙；所述炉体上还设置有压力表、保护气体阀门、放气阀和真空泵，所述真空泵连通所述炉体内部；连通所述炉体内部且位于所述炉体下方设置有浇铸模具，所述炉体与所述浇铸模具的外表面包覆有保温层；所述炉体外壁和保温层之间设置有电阻丝加热带，所述电阻丝加热带与所述炉体外壁之间留有空隙，且所述电阻丝加热带嵌在所述保温层上，所述电阻丝加热
2023-06-16
10
322KB
一种高纯低氧回收溅射靶材的熔炼方法.pdf
本发明公开了一种高纯低氧回收溅射靶材的熔炼方法，它包括以下具体步骤：1)检测分析回收靶材、高纯低氧金属晶体/粉末；2)根据计算好的用量配比、料仓长度、以及回收靶材的长度，计算出铺满料仓后回收靶材的层数；3)将高纯低氧金属晶体/粉末混合均匀后压成块体；4)将回收靶材与块体层叠堆放，并铺满料仓；5)将层叠后的回收靶材和块体放入电子束熔炼炉中，进行熔炼铸锭。本发明有效的降低回收靶材重熔铸锭的氧含量、均衡金属杂质含量，使铸锭成分分布均匀、稳定且符合半导体等行业的需求，提高回收靶材利用价值，提高高纯金属的产能；而且
2023-06-16
10
152KB
溅射靶材的表面处理方法.pdf
本发明提供一种溅射靶材的表面处理方法，所述方法包括：提供溅射靶材，所述溅射靶材已完成粗加工及半精加工，所述靶材的材料为纯铝或铝合金；采用车削工艺对所述溅射靶材进行精加工，并采用无水酒精作为所述精加工的切削液以起到润滑和冷却的作用。无水酒精易挥发，挥发后不会在溅射靶材表面有残留，从而满足精加工以后的溅射靶材表面高洁净度和平整度，无任何其他物质残留的要求。
2023-11-20
10
550KB
溅射靶材及其使用方法.pdf
溅射靶材及其使用方法。溅射靶材包括背板、溅射板与保护单元。背板具有上表面。溅射板设置在上表面上,并具有一溅射板边缘。保护单元设置在上表面上,并相邻溅射板边缘。本发明技术方案通过保护单元、中间保护单元共同防止背板在溅射工艺中被溅射消耗而损坏的问题产生,以进一步延长背板的使用寿命,因此可降低制造成本,且更换保护单元等的方法简单、快速,可提升工艺效率。
2023-05-21
10
886KB