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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111945127A(43)申请公布日2020.11.17(21)申请号202010861264.1(22)申请日2020.08.25(71)申请人浙江赛威科光电科技有限公司地址313000浙江省湖州市德清县雷甸镇白云南路866号9号楼D101室(72)发明人金炯姜琼王丙利(74)专利代理机构北京沁优知识产权代理有限公司11684代理人林捷达(51)Int.Cl.C23C14/50(2006.01)C23C14/24(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图4页(54)发明名称一种可自动翻面的行星架样品台(57)摘要一种可自动翻面的行星架样品,包括支撑台和行星架,行星架上包括有多组支架以及多组翻转台,各组翻转台的一侧均与对应的支架转动连接,另一侧均设有传动组件,传动组件包括连接轴、翻面锥齿、主动锥齿以及从动锥齿,连接轴上套设有通过轴承转动连接的轴套,翻面锥齿固定连接在轴套上,翻转台包括外环和内环,内环上放置有膜片,翻面锥齿与第一驱动锥齿啮合,第一旋转电机驱动第一驱动锥齿转动以使外环在竖直面上翻转,内环的底面设有与从动锥齿啮合的齿盘,主动锥齿与第二驱动锥齿啮合,第二旋转电机驱动第二驱动锥齿转动以使内环上的膜片在水平面上转动;本发明优点在于:能自动将载有的膜片进行翻面使得膜片的双面能均匀对称的进行镀膜。CN111945127ACN111945127A权利要求书1/2页1.一种可自动翻面的行星架样品台,其特征在于:包括支撑台(1)和行星架(2),所述支撑台(1)上包括有第一旋转机构(3),所述第一旋转机构(3)包括第一旋转电机(31)、第一驱动轴(32)以及第一驱动锥齿(33),所述第一驱动锥齿(33)套设在所述第一驱动轴(32)上,所述行星架(2)下方设有第二旋转机构,所述第二旋转机构包括第二旋转电机、第二驱动轴(41)以及第二驱动锥齿(42),所述第二驱动锥齿(42)套设在所述第二驱动轴(41)上,所述行星架(2)上包括有多组支架(5)以及多组翻转台(6),各组所述翻转台(6)的一侧均与对应的支架(5)转动连接,另一侧均设有传动组件(7),所述传动组件(7)包括连接轴(71)、翻面锥齿(72)、主动锥齿(73)以及从动锥齿(74),所述连接轴(71)一端穿过所述支架(5),所述主动锥齿(73)与所述从动锥齿(74)分别设置在连接轴(71)两端,所述连接轴(71)上套设有通过轴承转动连接的轴套(75),所述翻面锥齿(72)固定连接在轴套(75)上,所述翻转台(6)包括外环(61)和内环(62),所述外环(61)与所述内环(62)转动连接,所述内环(62)上放置有膜片,所述轴套(75)的一端固定连接在外环(61)上,所述翻面锥齿(72)与所述第一驱动锥齿(33)啮合,所述第一旋转电机(31)驱动所述第一驱动锥齿(33)转动以使所述外环(61)在竖直面上翻转,所述内环(62)的底面设有与从动锥齿(74)啮合的齿盘(8),所述主动锥齿(73)与所述第二驱动锥齿(42)啮合,所述第二旋转电机驱动所述第二驱动锥齿(42)转动以使所述内环(62)上的膜片在水平面上转动。2.根据权利要求1所述一种可自动翻面的行星架样品台,其特征在于:所述第一驱动锥齿(33)的直径大于第二驱动锥齿(42)的直径,所述翻面锥齿(72)的直径大于主动锥齿(73)的直径。3.根据权利要求1所述一种可自动翻面的行星架样品台,其特征在于:所述支撑台(1)上还设有升降机构,所述行星架(2)还包括有圆盘(9),各组所述支架(5)均固定连接在圆盘(9)的底面,所述升降机构包括框架(10)、第三旋转电机(11)、移动板(12)、螺杆(13)以及导杆(14),所述第三旋转电机(11)位于框架(10)上,所述螺杆(13)一端与第三旋转电机(11)连接,另一端通过轴承转动连接在框架(10)底面上,所述导杆(14)位于框架(10)上,所述移动板(12)套设在螺杆(13)和导杆(14)上,所述移动板(12)与所述螺杆(13)螺纹连接,所述第一驱动轴(32)外套(26)设有管套(15),所述管套(15)穿过支撑台(1)连接在圆盘(9)上,所述管套(15)外还套设有穿过支撑台(1)的外套(26),所述外套(26)与管套(15)之间通过轴承连接,所述移动板(12)固定连接在外套(26)上。4.根据权利要求3所述一种可自动翻面的行星架样品台,其特征在于:所述支撑台(1)上还设有第三旋转机构,所述第三旋转机构包括支撑架(16)、第四旋转电机(17)、齿轴(18)以及转动齿轮(19),所述第四旋转电机(17)位于支撑架(16)上,所述第四旋转电机(17)通过皮带带动齿轴(18)转动,所述转动齿轮(19)套设在齿轴(18)