电子回旋共振放电电离特性的PICMCC模拟-豆柴文库

电子回旋共振放电电离特性的PICMCC模拟.pdf

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131òOr.pUÔnØÔnVol.31,Supp.. 2007c7HIGHENERGYPHYSICSANDNUCLEARPHYSICSJul.,2007 PIC/MCCSimulationoftheIonizingCharactersinElectron CyclotronResonanceDischarge JINXiao-Lin1)YANGZhong-Hai (CollegeofPhysicalElectronics,UniversityofElectronicScienceandTechnologyofChina,Chengdu610054,China) AbstractAtheoreticalandcomputationalmodelispresentedtostudytheionizationoftheargonelectron cyclotronresonance(ECR)microwavedischargeusingaquasi-three-dimensionalelectromagneticparticle-in- cellplusMonteCarlocollisionmethod.Theinteractionbetweenthechargedparticlesandmicrowaveﬁelds aredescribedbytheelectromagneticmodeofparticle-in{cellmethod.Thecollisionprocessesaretreatedwith MonteCarlomethod.Thesimulationcodeistheoriginalwork.Theresultsoftheparticlesimulationforthe ECRdischargeofargongaswhichincludethemicroscopicfeaturesofchargedparticlesandtheelectromagnetic characteristicsoftheECRdischargeplasma,andalsothetransientphenomenahavebeenpresented. Keywordselectroncyclotronresonancedischarge,particle-in-cell,MonteCarlomethods,ionization 1Introductionplasmaproduction,andthetime-dependentphenom- ena,suchas:interchangeinstability,ionproduction, Inrecentyear,electroncyclotronresonanceandelectronheatingareexploredtoresearchthetime (ECR)plasmahasbeenextensivelyusedinmicro-variationsofhot-electrondensity,ion-trappingpoten- electronicfabrication[1|3],suchaschemicalvapourtialwell,andcore-electrontemperature.Butthese deposition,etching,sputteringandsoon.ECRionﬂuidmodelscouldn'tstudythemicroscopicfeatures sources(ECRIS)areattractingconsiderableatten-ofchargedparticles,forexample,thecyclotronreso- tionforproductionofhigh-intensitymulti-chargednancemotionofelectronsthatisoneofmajorphe- ionbeams[4|6]foraccelerators,atomicphysicsexper-nomenaintheECRdischarge.Aone-dimensional iments,andindustrialapplications.Butthetheoret-electromagneticparticle-in-cellplusMonteCarlocol- icalunderstandingsfortheECRdischargephenom-lisionmethod[11]waspresentedtostudytheECRdis- ena,suchastheionizingcharactersofECRdi

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