电子回旋共振ECR放电.ppt
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随着低温等离子体在微电子工业的广泛应用和快速发展,对低气压、高密度等离子体源的需求与日俱增。目前可采用(电子回旋共振)ECR放电、感应耦合射频放电、螺旋波放电等方式生成。ECR放电生成的等离子体具有高密度、运行气压低、高电离度、大体积、均匀、无电极污染、设备简单、参数易于控制等优点,广泛应用于刻蚀、薄膜沉积、离子注入、溅射、表面清洁等。ECR放电还可以产生高密度、高电荷态离子束,该离子束在原子物理、核物理、高能物理,甚至工业应用等方面均已经被广泛应用。在实验方面,人们已经可以通过:Langmuir探针Do
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电子回旋共振放电的PICMCC模拟的综述报告1、引言电子回旋共振(ECR)放电是重要的等离子体激发和加热技术。它可以通过导入微波电磁波来激发等离子体并在磁场下进行旋转运动,使电子能量几乎均匀分布,从而使等离子体稳定并加热。PIC/MCC(粒子-蒙特卡洛/蒙特卡洛碰撞模型)是模拟等离子体和电子器件行为的强大工具。本文将综述ECR放电PIC/MCC模拟的研究现状和进展。2、ECR放电框架ECR放电的基本框架包括ECR加热器、磁化线圈和等离子体。ECR加热器是一个微波谐振腔,用于向等离子体中注入微波能量。磁化线
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http://www.paper.edu.cn电子回旋共振放电的理论、计算机模拟进展杨中海,金晓林电子科技大学物理电子学院(610054)email:zhyang@uestc.edu.cn摘要:近年来,因电子回旋共振(ECR)等离子体具有低气压、高密度、高电离度等优势而被广泛地应用于微电子工业中,并吸引了众多学者的关注。本文对ECR放电及其生成等离子体的理论、计算机模拟方法进行了综述、总结和对比,并对今后的研究前景进行了展望。关键词:ECR放电,ECR等离子体,粒子模拟(PIC),蒙特卡罗(MCC),PI