一种含钛非晶碳高硬耐磨薄膜.pdf
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一种含钛非晶碳高硬耐磨薄膜.pdf
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含钛非晶碳薄膜的制备、组织结构与性能.docx
含钛非晶碳薄膜的制备、组织结构与性能摘要:随着电子工业的发展,薄膜技术得到了广泛的应用和发展。其中非晶碳薄膜具有重要的研究价值和应用前景。本文研究了含钛非晶碳薄膜的制备方法、组织结构和性能。结果表明,含钛非晶碳薄膜具有良好的热稳定性、机械性能和化学稳定性,适用于电子材料、生物医学和石油化工等领域。关键词:非晶碳薄膜,含钛,制备,组织结构,性能Abstract:Withthedevelopmentofelectronicsindustry,thinfilmtechnologyhasbeenwidelyuse
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