硼硅玻璃薄膜的抛光工艺.pdf

第12卷第1期哈尔滨理工大学学报Vol112No11

2007年2月JOURNALHARBINUNIV.SCI.&TECH.Feb.,2007

硼硅玻璃薄膜的抛光工艺

赵彦玲1,向敬忠1,顾玉武2
(1.哈尔滨理工大学现代制造技术与刀具重点实验室,黑龙江哈尔滨150080;
2.哈尔滨理工大学工程训练中心,黑龙江哈尔滨150080)

摘要:对硼硅玻璃产品的用途及加工表面质量要求进行了分析,以自制抛光机为抛光工具,
抛光薄膜为抛光膜,水作为抛光冷却液,通过对大量抛光实验数据的研究,拟定了最优的硼硅玻璃
薄膜抛光过程工艺.该工艺不仅可以满足加工要求,而且其冷却液还具有绿色环保作用.
关键词:硼硅玻璃;薄膜抛光;抛光工艺.
中图分类号:TH161114文献标识码:A文章编号:1007-2683(2007)01-0114-04

StudyonPolishingMechanismofGrindingFilm

ZHAOYan2ling1,XIANGJing2zhong1,GUYu2wu2
(1.TheKeyLaboratoryofAdvancedManufaituringTech.&CuttingTools,HarbinUniv.Sci.Tech.,Harbin150080,China;
2.EngineeringTrainingCenter,HarbinUniv.Sci.Tech.,Harbin150080,China)

Abstract:Theoptimizationtechniquesofthepolishingprocessofboron-siliconglassthroughtheresearchof
muchpolishingexperimentaldataandtheanalysisoftheuseofproductofboron-siliconglassandtherequestof
thequalityofmachiningsurfacearestudied.Intheexperimentsweuseself-madepolishingmachineasthetoolof
polishing,usethepolishingfilmsasfilms,andwaterisusedascoolant.Thistechnicsnotonlycansatisfythere2
questofmachining,inwhichthecoolantusedhastheeffectofgreenenvironmentalprotection,anditcanalso
makeaprogressforthemanufactureandtheapplicationfieldofboron-siliconglass.
Keywords:boron-siliconglass;filmpolishing;polishingtechnics.

能和工艺性能好、优良的光学性能等,在各相关领域
1引言得到了广泛应用[1].表面粗糙度是决定硼硅玻璃能
否得到充分应用的重要因素,完整的抛光工艺及高
随着生活水平的提高,对玻璃的需求发生了很效的抛光方法则是整个过程的关键.
大变化.单纯的透明玻璃已不能满足各种的需求,各玻璃的抛光技术在20世纪70年代之前一直使
玻璃生产厂家、科研机构为适应这种变化,通过对玻用低速的散粒磨料抛光,散粒磨料抛光方法主要是
璃成分和表面的改性及加工,赋予玻璃光学、电气、用水和抛光粉及适当的添加剂组成的抛光液进行抛
热学、机械、化学等新功能,以此增加了玻璃的使用光[2].到80年代初期,又出现了聚氨酯高速抛光材
效果.料.近年来,在玻璃抛光工艺中,国内外又采用稀土
硼硅玻璃由于其内部结构特性,使其具有许多抛光粉、抛光膏对其加工抛光,使玻璃的研磨表面精
优良性能:如良好的热稳定性和化学稳定性、机械性确度得到了很大程度上的改善.但大部分方法都是

收稿日期:2006-09-02
基金项目:黑龙江省自然科学基金项目(E2004-31).
作者简介:赵彦玲(1963-),女,哈尔滨理工大学教授.
第1期赵彦玲等:硼硅玻璃薄膜的抛光工艺511

基于游离的抛光液、抛光浆,虽然效果显著,但易造抛光是通过上盘(工件)和下盘(抛光盘)的相
成不必要的浪费以及环境污染.对运动,粘贴在抛光盘上的抛光薄膜对工件表面进
本文所采用的研磨抛光薄膜是一种以金刚石、行材料去除的过程.工件表面各点材料去除量如何,
立方氮化硼等粉末为磨料,聚脂类高分子化合物为关系到其平面度的好坏.各点相对抛光盘的运动轨
基体的新型精密、超精密研磨抛光工具.与散粒磨料迹,是影响表面粗糙度的重要因素.因此,首先要对
方法相比,具有生产效率高、操作方便、光圈质量稳其材