超精密低损伤磨削硅片的软磨料砂轮.pdf

本发明属于硬脆晶体材料超精密加工领域，涉及一种超精密低损伤磨削硅片的软磨料砂轮。软磨料砂轮由基体和磨料层制成，磨削层由磨料、添加剂、结合剂和气孔组成，其中磨料为硬度低于单晶硅且能与单晶硅发生化学反应的MgO磨料，添加剂由能够直接与单晶硅发生化学反应或者能为MgO磨料与单晶硅的化学反应提供促进环境的CaO、Na2CO3和NaHCO3组成，砂轮磨料层整体热压或分块粘结的在基体上。本发明软磨料砂轮的磨削性能稳定，不需要经常修整砂轮；材料去除率高，磨削硅片的表面层质量能够达到CMP加工硅片的效果，硅片表面不会出现

2023-10-22

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超精密磨削硅片的软磨料砂轮的研制的任务书.docx

超精密磨削硅片的软磨料砂轮的研制的任务书任务书任务目的：本任务旨在开发一种特殊的软磨料砂轮，用于超精密磨削硅片。砂轮需要具有高精度、高强度、高硬度和高抗磨损性能，以确保能够达到高质量的磨削结果。任务范围：本任务需要的软磨料砂轮主要用于超精密磨削硅片。砂轮需要满足以下要求：1.精度：砂轮的直径误差在0.05mm以内，形状误差在0.005mm以内。2.强度：砂轮需要具有高强度，能够承受高速旋转下的离心力。3.硬度：砂轮表面需要具有高硬度，以保证磨削过程中能够有效地磨削硅片表面。4.抗磨损性：砂轮需要具有高抗磨

2024-09-26

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精密和超精密砂轮磨削精密砂轮磨削.ppt

精密与超精密磨料加工用砂轮等磨具对黑色金属、硬脆材料进行磨削加工、研磨加工、抛光加工。软质铜、铝等有色金属一般用金刚石刀具进行超精密切削。第三章精密和超精密磨料加工固结磨料加工：将磨料与结合剂粘结在一起，形成一定的形状和强度，再采用烧结、涂敷等方法制成砂轮、砂带等磨具。用烧结方法制成的砂轮、砂条、油石等称为固结磨具用涂覆方法制成的砂带等称为涂覆磨具主要包括：砂轮磨削、砂带磨削等精密和超精密加工分类游离磨料加工：磨料不固定在一起，成游离状态。传统方法主要包括：研磨、抛光新方法有：磁性研磨、弹性发射加工、磨料

2024-10-02

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硅片软磨料砂轮的磨削性能研究.docx

硅片软磨料砂轮的磨削性能研究硅片软磨料砂轮是一种高效、高精度的磨削工具，适用于硅片、石英玻璃等硬脆材料的加工。它采用软磨料为磨料颗粒，通过与工件的摩擦磨削来实现加工目的。本文将从磨削机理、性能指标、制备工艺和应用等方面对硅片软磨料砂轮的磨削性能进行研究。一、磨削机理硅片软磨料砂轮的磨削机理主要包括粘附磨削和磨粒切削两种方式。粘附磨削是指磨料颗粒与工件表面发生化学反应或电化学反应，从而在表面形成一个很薄的氧化物或硅酸盐层。这个层对磨料颗粒产生了吸附作用，使得磨料颗粒牢固地附着在工件表面上，并沿着工件表面进行

2024-10-18

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超硬磨料砂轮挤磨削方法.pdf

一种超硬磨料砂轮挤磨削方法，通过以下步骤进行磨削，阶段一：在磨床上装夹固定被加工工件，挤磨砂轮采用顺磨方式趋近所述被加工工件；阶段二：所述挤磨砂轮与所述被加工工件在磨削弧区间始终保持一定的挤磨间隙啮合，在所述挤磨砂轮和所述被加工工件的挤磨间隙中沿顺磨方向送入自由磨料液，在磨削弧区的自由磨料在挤磨砂轮高速旋转挤压作用下磨除所述被加工工件；阶段三:根据所述被加工工件的材料去除速率调整进给速度，维持所述挤磨间隙，连续磨除所述被加工工件的材料，直到所述被加工工件的加工余量加工完毕。该超硬磨料砂轮挤磨削方法利用金刚

2023-08-31

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