无尘式真空动力传送装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN101958264A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN101958264A(43)申请公布日2011.01.26(21)申请号201010171183.5(22)申请日2010.05.06(71)申请人东莞宏威数码机械有限公司地址523000广东省东莞市南城区宏图高新科技开发区(72)发明人杨明生王银果刘惠森范继良王勇王曼媛(74)专利代理机构广州三环专利代理有限公司44202代理人张艳美郝传鑫(51)Int.Cl.H01L21/677(2006.01)H01L51/56(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图2页(54)发明名称无尘式真空动力传送装置(57)摘要本发明公开了一种无尘式真空动力传送装置，适用于在真空腔室内传送基片，该装置包括驱动机构、传动轴、联动轴及均具有磁性的磁力主动轮与若干磁力从动轮，传动轴的一端枢接地穿过真空腔室的一体壁并伸入真空腔室内，磁力主动轮固定安装于传动轴伸入真空腔室内的一端上，联动轴的两端分别枢接于真空腔室的相对两体壁上并邻近主动轮，磁力从动轮固定安装于联动轴上，且至少一个磁力从动轮邻近磁力主动轮，磁力从动轮上承载有基片，驱动机构固定安装于真空腔室外，且驱动机构的动力输出端与传动轴的一端连接，驱动机构驱动传动轴旋转以带动磁力主动轮旋转，并带动磁力从动轮及联动轴旋转以传送基片。本发明无尘式真空动力传送装置传动能耗少、高清洁度、超静音、使用寿命长。CN10958264ACCNN110195826401958265A权利要求书1/1页1.一种无尘式真空动力传送装置，适用于在真空腔室内传送基片，其特征在于，包括驱动机构、传动轴、联动轴及均具有磁性的磁力主动轮与若干磁力从动轮，所述传动轴的一端枢接地穿过所述真空腔室的一体壁并伸入所述真空腔室内，所述磁力主动轮固定安装于所述传动轴伸入所述真空腔室内的一端上，所述联动轴的两端分别枢接于所述真空腔室的相对两体壁上并邻近所述磁力主动轮，所述磁力从动轮固定安装于所述联动轴上且至少一个所述磁力从动轮邻近所述磁力主动轮，所述磁力从动轮上承载有基片，所述驱动机构固定安装于所述真空腔室外，且所述驱动机构的动力输出端与所述传动轴露出于所述真空腔室外的一端连接，所述驱动机构驱动所述传动轴旋转以带动所述磁力主动轮旋转，所述磁力主动轮带动所述磁力从动轮及联动轴旋转以传送基片。2.如权利要求1所述的无尘式真空动力传送装置，其特征在于，所述真空腔室的体壁上固定装设有轴承座，所述传动轴穿过所述轴承座并伸入所述真空腔室内。3.如权利要求2所述的无尘式真空动力传送装置，其特征在于，所述传动轴的表面上旋转密封有一星型密封圈，且所述星型密封圈装设于所述轴承座内。4.如权利要求2所述的无尘式真空动力传送装置，其特征在于，所述轴承座内固定装设有一滚珠轴承，所述传动轴穿过所述滚珠轴承并伸入所述真空腔室内。5.如权利要求4所述的无尘式真空动力传送装置，其特征在于，所述滚珠轴承邻近所述主动轮的一端面上设有一轴承内挡圈，且所述轴承内挡圈环绕所述传动轴。6.如权利要求2所述的无尘式真空动力传送装置，其特征在于，还包括O型密封圈，所述O型密封圈分别密封连接所述轴承座与所述真空腔室的体壁。7.如权利要求1所述的无尘式真空动力传送装置，其特征在于，还包括联轴器，所述联轴器的两端分别连接所述传动轴与所述驱动机构的动力输出端。8.如权利要求7所述的无尘式真空动力传送装置，其特征在于，所述驱动机构为伺服电机，且所述伺服电机的输出轴与所述联轴器连接。2CCNN110195826401958265A说明书1/5页无尘式真空动力传送装置技术领域[0001]本发明涉及一种对动力进行传送的传送装置，尤其涉及一种对有机发光二极管生产线上真空腔室内的用来传送基片的无尘式真空动力传送装置。背景技术[0002]随着经济的不断发展、科技的不断进步和世界能源的日益减少，人们在生产中越来越重视能源的节约及利用效率，使得人与自然和谐发展以满足中国新型的工业化道路要求。[0003]例如，在真空环境要求极高的数码产品的显示产业中，企业为了节约能源、降低生产成本，都加大投资研发力度，不断地追求节能的新产品。其中，OLED显示屏就是数码产品中的一种新产品，OLED即有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode)，又称为有机电激光显示(OrganicElectroluminesenceDisplay，OELD)，因为具备轻薄、省电等特性，因此在数码产品的显示屏上得到了广泛应用，并且具有较大的市场潜力，目前世界上对OLED的应用都聚焦在平板显示器上，因为OLED是唯一在应用上能和TFT-LCD相提并论的技术，且是目前所有显示技术中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率软屏的显示技