内容提供者
盘状物固定装置.pdf
2023-10-21
10金币
492KB
10页
文宣****66
实名认证
内容提供者
1/10
2/10
3/10
4/10
5/10
6/10
7/10
8/10
9/10
10/10
在线预览结束，喜欢就下载吧，查找使用更方便
相关资料
盘状物固定装置.pdf
本发明公开了一种盘状物固定装置，包括卡盘主体及与其连接并带动盘状物转动的转动轴；通过轴承安装在卡盘主体上，并可与卡盘主体同轴转动的凸轮；连接于凸轮与卡盘主体之间，使得凸轮能够相对于卡盘主体转动的至少一个拉伸弹簧；设置于卡盘主体边缘的至少三个夹持元件；至少三个压缩弹簧，其一端与卡盘主体连接，另一端设置于夹持元件朝向凸轮的一端，通过其弹性力将夹持元件朝向凸轮的一端顶在凸轮上，并且夹持元件的与凸轮的接触端沿夹持元件与凸轮的接触面滑动，使夹持元件卡紧盘状物。本发明公开的盘状物固定装置结构简单、容易实现，不会对盘状
2023-10-21
10
492KB
盘状物夹持装置.pdf
本发明公开了一种盘状物夹持装置，涉及半导体晶片工艺技术领域，该装置包括：卡盘主体、凸轮、转轴、至少三个夹持部件，所述转轴安装在所述卡盘主体上，且与所述卡盘主体共轴线，用于带动所述卡盘主体旋转，所述凸轮可旋转地安装在所述卡盘主体上，且与所述卡盘主体共轴线，所述夹持部件安装在所述卡盘主体上，其非夹持端通过限位挡块顶在所述凸轮的活动面上，所述限位挡块用于在所述凸轮随卡盘主体转动时，沿所述卡盘主体径向固定所述夹持部件，所述活动面用于在所述凸轮相对卡盘主体转动时，使所述夹持部件沿所述卡盘主体径向向外移动。本发明实现
2023-10-21
10
524KB
凸轮式盘状物夹持装置.pdf
本发明涉及集成电路技术领域，具体公开了一种凸轮式盘状物夹持装置，包括：凸轮；卡盘，其下方中心与所述凸轮连接；夹持机构，均设置在所述卡盘上，包括L型延长杆，所述延长杆一端伸入进卡盘中并与凸轮圆周接触，另一端朝向上方且安装有用于夹持盘状物的夹持件。本发明能够方便快捷的实现对盘状物的夹持，且本装置结构简单、成本低廉、易于实现。
2023-10-20
10
483KB
具有钟状物的制动盘.pdf
本发明提供了一种围绕旋转轴线（A-A）布置的盘式制动盘（1），包括：制动带（2）和鼓轮（3），所述鼓轮（3）包括径向地布置在用于将鼓轮连接到轮毂的部分（5）的外部的边缘（10），所述鼓轮（3）还包括将所述边缘（10）连接到制动带（2）并且适于在鼓轮（3）与容纳在其中的轮毂（9）之间形成内部空间（13）的鼓轮本体（11），所述边缘（10）界定将存在于鼓轮本体（11）与轮毂（9）之间的内部空间（13）与鼓轮（12）的外部连通的至少一个开口（14），所述开口（14）径向地布置在在用于轮毂（9）的所述壳体（8）的
2023-10-19
10
2.3MB
夹持平面盘状物的装置.pdf
本发明公开了一种夹持平面盘状物的装置，涉及半导体技术领域，所述装置包括：圆柱形的旋转主体、两组夹持元件、圆筒形的电磁铁保持架、以及若干电磁铁，所述两组夹持元件通过基座安装于所述旋转主体的侧壁上，所述两组夹持元件通过旋转轴与所述基座连接，在所述夹持元件上设有磁性单元，每组夹持元件中各个夹持元件的磁性单元沿径向的极性相同，所述两组夹持元件之间的磁性单元沿径向的极性相反，在所述基座上与所述夹持元件下部相对处设有张力单元，所述夹持元件能绕旋转轴旋转。本发明通过设置两组夹持元件，在晶片清洗的过程中通过轮换夹持来实现
2023-10-20
10
434KB