凸轮式盘状物夹持装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利(10)授权公告号(10)授权公告号CNCN102593033102593033B(45)授权公告日2014.11.19(21)申请号201210004761.5审查员王朝政(22)申请日2012.01.09(73)专利权人北京七星华创电子股份有限公司地址100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号M2号楼2层(72)发明人凯里·雷贾星杰吴仪王波雷张豹(74)专利代理机构北京路浩知识产权代理有限公司11002代理人韩国胜王莹(51)Int.Cl.H01L21/687(2006.01)H01L21/683(2006.01)(56)对比文件CN102097352A,2011.06.15,CN202423249U,2012.09.05,US20030094824A1,2003.05.22,权权利要求书1页利要求书1页说明书4页说明书4页附图3页附图3页(54)发明名称凸轮式盘状物夹持装置(57)摘要本发明涉及集成电路技术领域，具体公开了一种凸轮式盘状物夹持装置，包括：凸轮；卡盘，其下方中心与所述凸轮连接；夹持机构，均设置在所述卡盘上，包括L型延长杆，所述延长杆一端伸入进卡盘中并与凸轮圆周接触，另一端朝向上方且安装有用于夹持盘状物的夹持件。本发明能够方便快捷的实现对盘状物的夹持，且本装置结构简单、成本低廉、易于实现。CN102593033BCN102593BCN102593033B权利要求书1/1页1.一种凸轮式盘状物夹持装置，其特征在于，包括：凸轮；卡盘，其下方中心与所述凸轮连接；夹持机构，均设置在所述卡盘上，包括L型延长杆，所述延长杆一端伸入进卡盘中并与凸轮圆周接触，另一端朝向上方且安装有用于夹持盘状物的夹持件；所述卡盘中的延长杆上套设有第一弹簧，所述第一弹簧远离凸轮的一端连接有第一垫圈，所述第一垫圈套设在延长杆上且能够与延长杆相对运动，所述第一弹簧靠近凸轮的一端连接有与所述延长杆固定连接的第二垫圈；还包括：套设在所述延长杆上的第二弹簧，所述第二弹簧位于第二垫圈和凸轮之间，所述第二弹簧靠近凸轮的一端还连接有第三垫圈，所述第三垫圈能够与延长杆相对运动。2.如权利要求1所述的凸轮式盘状物夹持装置，其特征在于，所述第一弹簧和第二弹簧在静态时为部分压缩状态。3.如权利要求1所述的凸轮式盘状物夹持装置，其特征在于，还包括：设置在所述卡盘上的支撑件。4.如权利要求1所述的凸轮式盘状物夹持装置，其特征在于，所述夹持机构的个数至少为三个，均匀设置在所述卡盘上。5.如权利要求1所述的凸轮式盘状物夹持装置，其特征在于，还包括：耐腐蚀材料制作的套管，套设在所述延长杆上。6.如权利要求1所述的凸轮式盘状物夹持装置，其特征在于，所述夹持件朝向卡盘内部方向具有凹槽。7.如权利要求1所述的凸轮式盘状物夹持装置，其特征在于，所述卡盘与驱动装置连接。8.如权利要求1所述的凸轮式盘状物夹持装置，其特征在于，所述延长杆与凸轮接触的端部为半球形。2CN102593033B说明书1/4页凸轮式盘状物夹持装置技术领域[0001]本发明涉及集成电路技术领域，特别涉及一种凸轮式盘状物夹持装置。背景技术[0002]在集成电路的生产工艺中，夹紧盘状物，比如晶片、硅片，是各个生产阶段中的重要环节。传统的方法大都是使用复杂的机械连接来夹紧和移动夹持件。固定夹持件最重要的三个阶段包括：装载盘状物，这时夹持件处于打开状态；旋转盘状物，这时夹持件处于夹紧盘状物的状态；卸载盘状物，这时夹持件处于打开状态。这种比较传统的夹持盘状物的方法通常依靠许多活动部件在卡盘外部接触盘状物，但是在卡盘旋转时会产生许多颗粒，当盘状物从夹持件上取下时，颗粒会污染到盘状物。[0003]传统方法在某些情况下固定盘状物通常通过电动或气动方式来实现。这些方法通常需要复杂的机械结构在适当的时刻来控制和移动夹持件。此外，采用气动方法需要靠近卡盘，这将需要特殊而昂贵的轴联动旋转系统。许多传统方法设计出的夹持件会受到高速旋转产生的离心力的影响，不得不超标准设计，或是在更换时，需要更短的时间。发明内容[0004](一)要解决的技术问题[0005]本发明要解决的技术问题是如何方便、简单的实现盘状物的夹持，而不需复杂的结构和昂贵的部件。[0006](二)技术方案[0007]为了解决上述技术问题，本发明实施例提供了一种凸轮式盘状物夹持装置，包括：[0008]凸轮；[0009]卡盘，其下方中心与所述凸轮连接；[0010]夹持机构，均设置在所述卡盘上，包括L型延长杆，所述延长杆一端伸入进卡盘中并与凸轮圆周接触，另一端朝向上方且安装有用于夹持盘状物的夹持件。[0011]进一步地，所述卡盘中的延长杆上套设有第一弹簧，所述第一弹簧远离凸轮的一端连接有第一垫圈，所述第一垫圈套设在延长杆上且能够与延长杆相