线锯装置及用于操作该线锯装置的方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102317020A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102317020A(43)申请公布日2012.01.11(21)申请号200980156923.3(74)专利代理机构北京东方亿思知识产权代理(22)申请日2009.10.13有限责任公司11258代理人王安武(30)优先权数据09153051.92009.02.17EP(51)Int.Cl.B23D57/00(2006.01)(85)PCT申请进入国家阶段日2011.08.16(86)PCT申请的申请数据PCT/EP2009/0633712009.10.13(87)PCT申请的公布数据WO2010/094355EN2010.08.26(71)申请人应用材料公司地址美国加利福尼亚州(72)发明人菲利普·那斯卡菲利普·莫塔斯丹尼尔·洛通多权利要求书2页说明书10页附图7页(54)发明名称线锯装置及用于操作该线锯装置的方法(57)摘要本发明描述了线绳管理单元，所述线绳管理单元适合于线锯装置(200；300；400；500)，所述线锯装置具有线绳(213)，所述线绳形成用于切割的线网。线绳管理单元包括：滑轮移动装置(240；440)；至少一个滑轮(220；520)，所述至少一个滑轮用于使所述线绳改变方向并且适合于将所述线绳引导至所述线网，其中，所述至少一个滑轮连接到所述滑轮移动装置并且适合于围绕滑轮轴线(222；522)旋转；线轴(212)，在从所述线轴解绕所述线绳的过程中，所述线轴用于向所述线网提供所述线绳，其中，所述线轴包括旋转轴线(212a)和线绳承载区域(213a)，所述线绳承载区域具有沿着所述旋转轴线的方向的长度；并且其中，所述滑轮移动装置适合于使所述至少一个滑轮沿着所述旋转轴线(212a)的方向移动。CN10237ACCNN110231702002317025A权利要求书1/2页1.一种线绳管理单元，所述线绳管理单元适合于线锯装置(200；300；400；500)，所述线锯装置具有线绳(213)，所述线绳形成用于切割的线网，所述线绳管理单元包括：滑轮移动装置(240；440)；至少一个滑轮(220；520)，所述至少一个滑轮用于使所述线绳改变方向并且适合于将所述线绳引导至所述线网，其中，所述至少一个滑轮连接到所述滑轮移动装置并且适合于围绕滑轮轴线(222；522)旋转；线轴(212)，在从所述线轴解绕所述线绳的过程中，所述线轴用于向所述线网提供所述线绳，其中，所述线轴包括旋转轴线(212a)和线绳承载区域(213a)，所述线绳承载区域具有沿着所述旋转轴线的方向的长度；并且其中，所述滑轮移动装置适合于使所述至少一个滑轮沿着所述旋转轴线(212a)的方向移动。2.根据权利要求1所述的线绳管理单元，其中，所述滑轮移动装置(240；440)是从由下列各元素组成的群组中选出的至少一个元素：直线致动器、直线电机、气缸和具有蜗杆的电机。3.根据权利要求1或2所述的线绳管理单元，还包括：线绳位置检测装置(230；330a；330b)，所述线绳位置检测装置用于沿着所述旋转轴线的方向检测线绳位置。4.根据权利要求3所述的线绳管理单元，其中，所述线绳位置检测装置连接到控制器(350)，并且其中，所述控制器连接到所述滑轮移动装置，以用于沿着所述旋转轴线的方向控制滑轮位置。5.根据权利要求3或4所述的线绳管理单元，其中，所述线绳位置检测装置包括第一电极(330a)和第二电极(330b)，所述第一电极适合于被加偏压至与所述线绳的电位不同的第一电位，所述第二电极适合于被加偏压至于所述线绳的电位不同的第二电位，并且其中，所述第一电极和所述第二电极沿着所述旋转轴线的方向分隔开，以在所述第一电极和所述第二电极之间引导所述线绳(213)。6.根据权利要求1至5中任一权利要求所述的线绳管理单元，其中，所述至少一个滑轮用支撑杆(224；324；524，525)连接到所述滑轮移动装置(240；440)，第一滑轮调节旋转轴承(360)设置在所述支撑杆的第一部分和所述支撑杆的第二部分之间，所述第一滑轮调节旋转轴承具有滑轮调节旋转轴线，所述滑轮调节旋转轴线与所述滑轮轴线垂直；并且，具体地，所述线绳管理单元还包括滑轮调节旋转轴承旋转防止元件(366)，所述滑轮调节旋转轴承旋转防止元件适合于临时锁定所述滑轮调节旋转轴承的旋转。7.根据权利要求1至5中任一权利要求所述的线绳管理单元，其中，所述至少一个滑轮是至少三个滑轮，其中，第一滑轮从所述线轴接收所述线绳，其中，第二滑轮从所述第一滑轮接收所述线绳，其中，第三滑轮从所述第二滑轮接收所述线绳，并且其中，所述第一滑轮和所述第二滑轮连接到所述滑轮移动装置。8.根据权利要求7所述的线绳管理单元，其中，由所述第一滑轮、所述第二滑轮