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(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102548696A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102548696A(43)申请公布日2012.07.04(21)申请号200980161657.3(22)申请日2009.09.18(85)PCT申请进入国家阶段日2012.03.19(86)PCT申请的申请数据PCT/EP2009/0621562009.09.18(87)PCT申请的公布数据WO2011/032602EN2011.03.24(71)申请人应用材料公司地址美国加利福尼亚州(72)发明人F·库斯蒂尔D·罗吞多(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公司31100代理人陆嘉钱孟清(51)Int.Cl.B23D57/00(2006.01)权利要求书权利要求书2页2页说明书说明书1111页页附图附图55页(54)发明名称供线锯装置所用的滑轮、线锯装置及操作方法(57)摘要在此描述一种用于线锯装置(100、200)的滑轮,所述滑轮具有形成锯线网的锯线10。所述滑轮包括:所述滑轮轴周围的轮部,其中所述轮部包含导电塑料材料;以及在所述轮部的径向外侧的锯线导引部,具有用于导引所述锯线的沟槽结构。CN10254869ACN102548696A权利要求书1/2页1.一种配置用于线锯装置(100;200)的滑轮,所述线锯装置具有形成锯线网的锯线(10),所述滑轮(134;350,360,370;400;500)包含:在滑轮轴(410a)周围的轮部,其中所述轮部包含导电塑料材料;以及在所述轮部的径向外侧的锯线导引部,具有用于导引所述锯线的沟槽结构。2.如权利要求1所述的滑轮,其特征在于,所述导电塑料材料的密度为小于或等于2.00g/cm3,一般是小于或等于1.5g/cm3,更一般是在1.0g/cm3至1.5g/cm3。3.如权利要求1或2所述的滑轮,其特征在于,所述转动惯量是小于或等于5.0×10-4kg*m2,一般是小于或等于3.5×10-4kg*m2。4.如权利要求1至3的任一项所述的滑轮,其特征在于,所述屈服强度是大于或等于400MPa。5.如权利要求1至4的任一项所述的滑轮,其特征在于,所述塑料材料是包括导电纤维的合成聚合材料。6.如权利要求5所述的滑轮,其特征在于,所述聚合材料是聚酰胺。7.如权利要求1至6的任一项所述的滑轮,其特征在于,所述轮部包含碳纤维。8.如权利要求1至7的任一项所述的滑轮,其特征在于,所述塑料材料对聚乙二醇、适于线锯装置的水类冷却剂液体、及聚乙二醇与适于线锯装置的水类冷却剂液体的混合物具有化学稳定性。9.如权利要求1至8的任一项所述的滑轮,其特征在于,每直径的重量为小于或等于730g/m,一般是小于或等于500g/m,更一般是300g/m至500g/m。10.如权利要求1至9的任一项所述的滑轮,其特征在于,所述锯线导引部设有外胎。11.如权利要求1至10的任一项所述的滑轮,其特征在于,所述沟槽结构为一个或多个周围沟槽,其中一个沟槽界定一锯线导引平面。12.如权利要求11所述的滑轮,其特征在于,质心位于所述锯线导引平面内。13.如权利要求1至12的任一项所述的滑轮,其特征在于,所述滑轮被配置用于钻石锯线。14.一种线锯装置(100;200),具有根据权利要求1至13所述的多个滑轮。15.如权利要求14项所述的线锯装置,其特征在于,基本上所述多个滑轮的所有滑轮具有基本上相同的转动惯量。16.如权利要求14或15所述的线锯装置,其特征在于,所述线锯装置是选自由线锯、多重线锯、方块切锯装置(squarer)及截切器所构成的群组的元件。17.如权利要求14至16的任一项所述的线锯装置,进一步包含:所述线锯装置的主体;电源,适于将所述锯线偏压于一电位;以及从所述滑轮的所述轮部至所述主体的导电路径。18.一种操作具有形成锯线网的锯线(10)的线锯装置(100,200)的方法,所述方法包含以下步骤:提供多个滑轮(134;350,360,370;400;500),所述滑轮具有位于所述滑轮轴(410a)周围的轮部,其中所述轮部包含导电塑料材料;将所述锯线偏压于一电位;以及2CN102548696A权利要求书2/2页在所述锯线接触所述轮部期间,监视所述线锯装置中电子信号的存在。19.如权利要求18所述的方法,其特征在于,提供滑轮的步骤包括以下步骤:提供根据权利要求1至13的任一项所述的滑轮。20.如权利要求18至19的任一项所述的方法,进一步包含以下步骤:朝所述锯线网移动所述锯线以及从所述锯线网移出所述锯线,其中所述锯线由所述多个滑轮导引;以及一旦检测到所述电子信号存在的信号,即停止所述线锯装置中所述锯线的移动。21.如权利要求18至20的任一项所述的方法,其特征在于,所述锯线是钻石锯线。3CN102548696A