基板传输装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102460674A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102460674A(43)申请公布日2012.05.16(21)申请号201080025769.9(74)专利代理机构北京派特恩知识产权代理事(22)申请日2010.06.15务所(普通合伙)11270代理人蒋雅洁孟桂超(30)优先权数据2009-1419352009.06.15JP(51)Int.Cl.H01L21/677(2006.01)(85)PCT申请进入国家阶段日B25J9/06(2006.01)2011.12.09(86)PCT申请的申请数据PCT/JP2010/0039782010.06.15(87)PCT申请的公布数据WO2010/146840JA2010.12.23(71)申请人株式会社爱发科地址日本神奈川县(72)发明人相泽真也中尾裕利吾乡健二浅石隆南展史中村伸悟权利要求书权利要求书1页1页说明书说明书77页页附图附图66页(54)发明名称基板传输装置(57)摘要本发明提供了一种基板传输装置，可实现机构部的薄型化，该机构部用于使基板直线运动。本发明的实施方式涉及的基板传输装置包括：驱动部(2)、与驱动部(2)连接的一对公共臂(11a、11b)、与公共臂连接的一对工作臂(12a、12b)、承载板(14)、以及转换机构部(13)。该转换机构部(13)将臂的旋转运动转换为该承载板(14)的直线运动。该转换机构部(13)包括：一对轴构件(131a、131b)、以及形成于工作臂(12a、12b)的远端的环部(42a、42b)。该环部围绕轴构件旋转。通过形成于环部外周面的齿轮部(50a、50b)的相互啮合，各环部连动旋转。环部和轴构件之间配置有轴承构件(60a、60b)。该轴承构件和齿轮部在轴构件的直径方向上互相相对地并列排列。CN102467ACN102460674A权利要求书1/1页1.一种传输基板的基板传输装置，其特征在于，包括：驱动部；一对第一臂，分别具有与该驱动部连接的第一端部以及位于该第一端部的相反侧的第二端部；一对第二臂，分别具有第三端部以及第四端部；该第三端部自由旋转地安装于该第一臂的该第二端部，该第四端部位于该第三端部的相反侧，并包括外周面形成有齿轮部的圆环状的环部，该一对第二臂中，该第四端部经由该齿轮部而相互啮合；承载板，支撑该基板；以及转换机构，配置于该第二臂的该第四端部与该承载板之间，将该第一臂以及该第二臂的旋转运动转换为该承载板的直线运动，且该转换机构包括主体以及轴承构件；该主体具有与该承载板结合的结合面以及插入并通过各该环部的一对轴部，该轴承构件分别装设于该轴部的外周面与该环部的内周面之间，且在该轴部的直径方向上与该齿轮部并列排列。2.根据权利要求1所述的基板传输装置，其特征在于，所述第二臂包括：第一构件，连接于所述第一臂，并具有所述第三端部；以及第二构件，安装于该第一构件，并具有所述第四端部。3.根据权利要求2所述的基板传输装置，其特征在于，所述转换机构在所述轴部的轴方向上具有厚度方向，并且该转换机构的厚度在所述第一构件的厚度以下。4.根据权利要求3所述的基板传输装置，其特征在于，所述第一构件的所述第四端部侧的厚度小于所述第一构件的所述第三端部的厚度。5.根据权利要求4所述的基板传输装置，其特征在于，所述主体分别具有与所述第一臂以及所述第二臂的旋转方向平行的第一面、以及位于该第一面的下方的第二面；所述一对轴部以及所述结合面分别形成在该第二面内。2CN102460674A说明书1/7页基板传输装置技术领域[0001]本发明涉及一种用于传输半导体基板、玻璃基板等被处理基板的基板传输装置。背景技术[0002]近年来，已知有一种多室型真空处理装置，其在传输室周围配置有多个处理室。这种真空处理装置中设置有用于从传输室向各处理室自动送入和/或送出基板的基板传输装置。[0003]下述专利文献1中记载有在真空室内传输基板的机械手。该机械手具有一对连接在一起的两根手臂，通过一对手臂来支撑承载有一个被传输物的承载板，并同时驱动所述一对手臂来传输被传输物。并且，所述机械手具有作为使承载板做直线运动的构件的旋转限制机构部，该旋转限制机构部包括与支撑承载板的一对手臂的各承载板侧的一端分别结合的齿轮。[0004]近年来，多室型真空处理装置以提高处理室内的排气效率、降低处理室内的温度变化等为目的，具有在传输室和处理室之间形成狭窄的传输基板的开口的倾向。因此，需要对通过所述开口的基板传输装置的远端部进行薄型化。因此，所述机械手中，通过将支撑各所述齿轮的轴承做成单级，来实现旋转限制机构部的薄型化。[0005]【现有技术文献】[0006]专利文献[0007]专利文献1：日本特开2000-317877号公报(段落【002