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(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102644057A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102644057A(43)申请公布日2012.08.22(21)申请号201110038858.3(22)申请日2011.02.16(71)申请人鸿富锦精密工业(深圳)有限公司地址518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号申请人鸿海精密工业股份有限公司(72)发明人黄登聪胡永兵程功水尚战(51)Int.Cl.C23C14/50(2006.01)权利要求书权利要求书1页1页说明书说明书55页页附图附图44页(54)发明名称镀膜挂具(57)摘要本发明提供一种镀膜挂具,包括二支撑机构、驱动轮及第一旋转机构,每一支撑机构上分别装设有待镀膜工件,所述驱动轮及二支撑机构分别装设于所述第一旋转机构的两端,施加一驱动力于所述驱动轮上,所述第一旋转机构相应旋转,进而带动所述支撑机构及待镀膜工件绕一第一轴旋转。CN1026457ACN102644057A权利要求书1/1页1.一种镀膜挂具,包括二支撑机构,每一支撑机构上分别装设有待镀膜工件,其特征在于:该镀膜挂具包括驱动轮及第一旋转机构,所述驱动轮及二支撑机构分别装设于所述第一旋转机构的两端,施加一驱动力于所述驱动轮上,所述第一旋转机构相应旋转,进而带动所述支撑机构及待镀膜工件绕一第一轴旋转。2.如权利要求1所述的镀膜挂具,其特征在于:每一支撑机构包括主体部、二支撑柱及二支撑爪,该支撑柱的一端通过弹簧固定至所述主体部的一侧,该支撑爪呈叉形,固定在所述支撑柱远离主体部的端部,且在所述弹簧的作用下支撑所述待镀膜工件。3.如权利要求1所述的镀膜挂具,其特征在于:所述第一旋转机构包括第一旋转部、旋转支架及第二旋转部,所述驱动轮及旋转支架分别装设于所述第一旋转部的两端,所述二支撑机构通过该第二旋转部装设在所述旋转支架的两端。4.如权利要求3所述的镀膜挂具,其特征在于:该旋转支架包括安装部,该安装部上开设有装设孔,该装设孔的形状及结构与该第一旋转部相对应,用于将所述旋转支架装设于该第一旋转部远离驱动轮的一端。5.如权利要求4所述的镀膜挂具,其特征在于:该旋转支架包括二配合部,所述二配合部分别设置在所述安装部的端部,该配合部的端部开设有配合孔,该主体部的轴向位置开设有转动孔,第二旋转部依次穿过所述配合孔及所述转动孔,以将所述支撑机构装设于该旋转支架上。6.如权利要求3所述的镀膜挂具,其特征在于:该第一旋转机构包括底座、承载座、二固定部及卡持件,该底座两端分别延伸有承载臂,该承载臂垂直该底座设置,每一承载臂上均开设有一缺口,该承载座包括第一承载板及第二承载板,该第二承载板的一端垂直连接至该第一承载板的端部,其中一固定部固定在其中一缺口的底部,另一固定部固定在该第二承载板背向该第一承载板的一侧,每一固定部上均开设有固定孔,该卡持件包括卡持部及卡持柱,该卡持部设置有卡持孔,该卡持柱连接至所述卡持部的一侧,且与该固定孔相配合,用于穿设在相应的固定孔内,所述第一旋转部依次穿过所述卡持孔及驱动轮的轴心,以将该驱动轮装设于二承载臂之间。7.如权利要求6所述的镀膜挂具,其特征在于:该卡持部两侧分别开设有卡持槽,用于卡持所述缺口的侧壁。8.如权利要求3所述的镀膜挂具,其特征在于:所述镀膜挂具包括第二旋转机构,所述第二旋转机构连接所述第一旋转部及第二旋转部,所述第二旋转机构在所述第一旋转机构的驱动下绕所述第一轴旋转,并驱动所述待镀膜工件绕一第二轴旋转。9.如权利要求8所述的镀膜挂具,其特征在于:所述第二旋转机构包括第一链轮、第二链轮、链条、安装柱及辅助轮,该第一链轮同轴地套设在所述第二旋转部上,该第一旋转部远离驱动轮的一侧开设一安装孔,该安装柱的一端装设于该安装孔内,另一端通过一摩擦轮同轴地穿设在该第二链轮上,该辅助轮穿设于该第一旋转部上,且与该摩擦轮相抵持,该链条套设在所述第一链轮及第二链轮上。10.如权利要求9所述的镀膜挂具,其特征在于:该第二旋转机构包括辅助件,该辅助件包括辅助部及二配合柱,该辅助部上开设有通槽及二辅助孔,该第一旋转部穿设于所述通槽内,该二辅助孔设置在所述通槽的两侧,所述配合柱的一端穿设于相应的辅助孔内,另一端穿设有弹簧,且固定至所述辅助轮,用于保证所述辅助轮与该摩擦轮紧密接触。2CN102644057A说明书1/5页镀膜挂具技术领域[0001]本发明涉及一种镀膜挂具,尤其涉及一种可控制待镀膜工件旋转的镀膜挂具。背景技术[0002]目前,镀膜工艺广泛应用于光学、半导体等诸多领域。现有镀膜工艺通常以物理蒸镀法(PhysicsVaporDeposition,PVD)为主。其操作方法一般是将待镀膜工件洗净后置于一支撑机构上,送入镀膜机进行加热及抽真空。在待镀膜工件周围环境形成高真空状态后,