电子回旋共振等离子体推力器放电机理数值模拟研究.docx
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电子回旋共振等离子体推力器放电机理数值模拟研究.docx
电子回旋共振等离子体推力器放电机理数值模拟研究标题:电子回旋共振等离子体推力器放电机理数值模拟研究摘要:电子回旋共振等离子体推力器(ElectronicCyclotronResonance(ECR)PlasmaThruster)是一种利用等离子体动力推进的新型推进器。本文通过数值模拟方法研究了该推力器的放电机理,揭示了等离子体参数对推力器性能的影响,为推力器设计和优化提供了理论基础。引言:随着空间探索的需求日益增长,推进器技术成为重要的研究方向。传统的化学推进器存在燃料限制、推力小以及推进剂耗尽等问题,因
表面等离子体共振与电子回旋共振双激励式微波推力器.pdf
本发明所述的表面等离子体共振与电子回旋共振双激励式微波推力器涉及航天器动力技术领域,涉及一种基于低温非平衡等离子体即表面等离子体共振与电子回旋共振等离子体应用于微小卫星动力系统、执行卫星编队和深空探测等任务的推力器。表面等离子体共振与电子回旋共振双激励式微波推力器通过推力器支撑架固定在真空环境内;表面等离子体共振与电子回旋共振双激励式微波推力器包括:永磁环、放电腔室、金属天线及尾部喷管;永磁环套装在放电腔室的外部;金属天线嵌装于放电腔室的内部;永磁环嵌装在推力器支撑架上;尾部喷管与放电腔室出口对接。本发明
微波电子回旋共振等离子体数值模拟.pptx
,目录PartOnePartTwo论文题目及背景微波电子回旋共振等离子体概述数值模拟的意义和目的PartThree微波电子回旋共振等离子体产生原理微波电子回旋共振等离子体特性微波电子回旋共振等离子体应用领域PartFour数值模拟方法介绍模型建立过程及关键参数选择数值模拟软件介绍及使用方法PartFive数值模拟结果展示结果分析方法及结果解读结果与实验结果的对比分析PartSix结论总结研究成果对实际应用的贡献未来研究方向展望THANKS
微波电子回旋共振等离子体数值模拟的综述报告.docx
微波电子回旋共振等离子体数值模拟的综述报告微波电子回旋共振(electroncyclotronresonance,ECR)等离子体广泛应用于离子注入、薄膜沉积、表面改性和等离子体化学反应等领域。然而,这类等离子体的实验研究比较困难,而且成本较高,因此数值模拟成为研究这类等离子体的重要手段之一。本文将就微波ECR等离子体的数值模拟及其在应用方面的研究作一综述。首先,我们要了解微波ECR等离子体的基本性质。微波ECR等离子体由静磁场和高频微波电场共同作用形成,在静磁场中的电子在高频电场的作用下,发生回旋运动,
电子回旋共振ECR放电.ppt
随着低温等离子体在微电子工业的广泛应用和快速发展,对低气压、高密度等离子体源的需求与日俱增。目前可采用(电子回旋共振)ECR放电、感应耦合射频放电、螺旋波放电等方式生成。ECR放电生成的等离子体具有高密度、运行气压低、高电离度、大体积、均匀、无电极污染、设备简单、参数易于控制等优点,广泛应用于刻蚀、薄膜沉积、离子注入、溅射、表面清洁等。ECR放电还可以产生高密度、高电荷态离子束,该离子束在原子物理、核物理、高能物理,甚至工业应用等方面均已经被广泛应用。在实验方面,人们已经可以通过:Langmuir探针Do