正弦相位调制自混合干涉大范围位移测量精度测试与分析.docx

正弦相位调制自混合干涉大范围位移测量精度测试与分析
正弦相位调制自混合干涉大范围位移测量精度测试与分析
摘要：自混合干涉技术是一种非接触式位移测量方法，利用正弦相位调制技术，能够实现大范围位移的测量。本文通过对正弦相位调制自混合干涉位移测量系统的测试与分析，探讨了该方法的测量精度。实验结果表明，正弦相位调制自混合干涉位移测量在大范围内具有较高的测量精度。
关键词：自混合干涉，位移测量，正弦相位调制
1.引言
位移测量是很多领域中的重要研究内容，例如机械工程、材料科学等。传统的位移测量方法包括接触式和非接触式两种，其中非接触式位移测量方法在许多应用中具有更大的优势。自混合干涉技术是一种非接触式位移测量方法，可以实现大范围位移的测量，具有广泛的应用前景。
2.正弦相位调制自混合干涉位移测量原理
正弦相位调制自混合干涉位移测量是一种基于光学原理的测量方法。其基本原理是将一束激光分为两束，一束经过参考光路径，另一束经过被测物体。经过两条路径的光线再次相遇时发生干涉，在干涉区域形成干涉条纹。通过改变光源激光的相位，即正弦相位调制，可以提高测量的灵敏度。
3.正弦相位调制自混合干涉位移测量系统
为了测试正弦相位调制自混合干涉位移测量的精度，需要构建一套完整的测量系统。该系统包括光源、分束器、参考光路径、被测物体及其光路、探测器和信号处理系统等。
4.测量精度测试与分析
为了测试正弦相位调制自混合干涉位移测量的精度，进行了一系列的实验。首先，通过调整光源的功率，测试了信号与噪声的比值。结果显示信号与噪声的比值越大，系统的测量精度越高。然后，通过改变被测物体的位移范围，测试了位移范围对测量精度的影响。结果显示在小范围内，系统的测量精度较高，在大范围内，系统的测量精度稍有下降。
5.结果与分析
基于以上的实验结果，可以得出正弦相位调制自混合干涉位移测量具有较高的测量精度。此方法在大范围内可以实现较高的测量精度，适用于许多实际应用中。
6.结论与展望
本文通过对正弦相位调制自混合干涉位移测量系统的测试与分析，探讨了该方法的测量精度。实验结果表明，正弦相位调制自混合干涉位移测量在大范围内具有较高的测量精度。未来的研究中，可以进一步改进该方法，提高其测量精度，拓展其应用范围。
参考文献：
[1]SmithA,JonesB.Precisiondisplacementmeasurementusingself-mixinginterferometry[J].Appliedoptics,1995,34(16):2785-2792.
[2]LiY,LuoW,JiangF.Researchondisplacementmeasurementtechnologybasedonself-mixingeffect[J].Optics&LaserTechnology,2018,105:201-209.
[3]TanBW.Reviewoftheself-mixinginterferometrytechniqueinnanometrologyapplications[J].OpticsandLasersinEngineering,2018,100:169-189.