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工业硅一次定向提纯研究 简介: 工业硅一次定向晶体生长技术是利用高温熔体中熔化的硅的湿润能力产生的力和生长晶体的热梯度作用,使一定取向的硅单晶在高温熔体中逐步生长而形成。本文将对工业硅一次定向提纯进行研究。 一、硅单晶生长过程 硅单晶的生长过程通常可以分为两个阶段:晶核形成和晶体生长。 1.晶核形成 晶核形成是晶体生长的第一个阶段。在这一阶段中,硅单晶的晶核最初生成并开始增长。温度、溶质浓度和熔体强度对晶核形成均有影响,其中温度是晶核形成速率的主要影响因素。 2.晶体生长 晶体生长是晶体生长过程的主要阶段。在这一阶段,硅单晶晶核不断随着温度和溶质浓度的变化增长并形成整个硅单晶晶体。在硅单晶晶体的生长过程中,要注意控制生长过程中的热梯度和速度,并且在生长过程中严格控制熔体中溶质浓度的变化。 二、硅单晶的提纯技术 目前,硅单晶晶体的制备有两种主要技术:Czochralski法和一次定向晶体生长技术。其中一次定向晶体生长技术是比较先进的技术之一。在一次定向晶体生长技术中,通过调整熔体的加热方式和熔体中杂质的浓度,可以使硅单晶中杂质含量得到很好的控制,从而达到较高的纯度要求。 一次定向技术的工艺流程如下: 1.硅坩埚装入高纯度的硅块,加入合适的添加剂,将硅坩埚放入高温熔炉中, 2.根据需要设置熔池的大小,分别使用平板感应加热器或线圈感应加热器对硅坩埚进行加热, 3.控制熔池中熔体的温度和浓度,使熔池中熔体逐渐凝固, 4.通过一定的方法得到硅单晶。 三、硅单晶提纯技术的研究现状 在硅单晶提纯技术的研究中,主要集中在以下方面: 1.降低硅单晶制备过程中杂质的含量,提高硅单晶的纯度。 2.硅单晶中杂质浓度的测定和分析技术的研究。例如,电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)和四极杆等离子体质谱法(Q-MS)是目前应用较广泛的测定技术之一。 3.探索更多的硅单晶制备过程和提纯工艺对硅单晶的质量和效率的影响。 4.硅单晶制备过程中各种相应杂质离子含量的控制研究。 随着科技的进步和技术的不断发展,硅单晶晶体的制备工艺将越来越完善,硅单晶的纯度将会不断提高。我们需要在理论研究的基础上,利用最新的科技手段和先进的技术方案,为硅单晶的提纯工作作出更具有科学性、可靠性和有效性的贡献。