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工业硅定向凝固提纯研究的任务书 一、研究背景 工业硅是半导体材料及其他领域重要材料的基础原料,其质量对半导体器件的性能和可靠性具有至关重要的影响。目前工业硅生产中,采用的主要生产工艺为挥发法和冶金法,但这种方法生产的工业硅通常含有杂质较多,不能满足高品质硅材料的要求。因此,开展工业硅定向凝固提纯研究是十分必要和迫切的。 二、研究内容 本课题旨在开展工业硅定向凝固提纯的研究,包括以下内容: 1.研究工业硅的化学成分、结构特征及品质要求; 2.研究工业硅定向凝固的基本原理和技术特点; 3.研究工业硅定向凝固中的晶体生长机理和控制方法; 4.开展工业硅定向凝固提纯实验研究,探索不同工艺参数对硅晶体质量的影响; 5.对提纯工艺进行优化和改进,提高硅晶体质量和产率; 6.对提纯工艺进行经济效益分析和评估。 三、研究意义 1.开展工业硅定向凝固提纯研究,可以提高工业硅的纯度和品质,满足各种半导体器件制造对半导体材料质量的要求; 2.优化工艺参数和改进提纯工艺,可以提高工业硅晶体的产率和质量,并且降低生产成本,具有重要的经济意义; 3.对工业硅定向凝固提纯技术进行深入研究,可以为相关领域的科学研究提供基础和支撑,促进半导体材料及其他领域的发展。 四、研究计划 本课题计划于2021年3月启动,预计需要两年时间完成,研究计划如下: 第一年 1.开展工业硅化学成分、结构特征及品质要求的研究,探讨其对定向凝固提纯的影响; 2.研究工业硅定向凝固的基本原理和技术特点,了解不同定向凝固工艺的特点和优缺点; 3.实验室制备工业硅晶体,研究晶体生长机理和控制方法,建立相关的实验方法和测试手段; 4.探索不同的工艺参数对硅晶体质量的影响,初步确定提纯工艺。 第二年 1.对提纯工艺进行优化和改进,提高硅晶体质量和产率; 2.对提纯工艺进行经济效益分析和评估,评估提纯工艺的经济效益和实际应用价值; 3.发表相关研究成果,撰写研究报告和论文。 五、参考文献 1.赵利民,王希来.工业硅凝固法提纯技术的发展和研究进展[J].无机化学学报,2018,34(1):1-13. 2.陆呈松,孙兆武.工业硅制备与提纯技术研究进展[J].化学进展,2019,31(07):689-702. 3.柳春雷,李保国.工业硅自凝固技术研究进展[J].硅酸盐通报,2018,37(10):3487-3496. 4.KikuoOkuyama.IndustrialApplicationofDirectionalSolidification[M].SpringerBerlinHeidelberg,2009. 6.T.D.Clausing,T.H.Barron,D.H.Myszka.Determinationofoxygenandcarbonconcentrationasafunctionofdepthindonor-dopedpolysiliconusingvariable-energypositronannihilation[J].JournalofAppliedPhysics,1987,62(3):839-843.