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(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103104493A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103104493103104493A(43)申请公布日2013.05.15(21)申请号201110356327.9(22)申请日2011.11.11(71)申请人中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司地址110168辽宁省沈阳市浑南新区新源街一号(72)发明人李昌龙王光玉张宁郭丽娟张军(74)专利代理机构沈阳科苑专利商标代理有限公司21002代理人许宗富(51)Int.Cl.F04C28/00(2006.01)F04C28/28(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书4页说明书4页附图4页附图4页(54)发明名称一种用于无油干式真空泵双驱动主轴控制系统(57)摘要本发明公开一种用于无油干式真空泵双驱动主轴控制系统,它包括双轴无油真空泵机械部分,还增设电动机控制部分;其中,双轴无油真空泵的每一根轴上分别装有电动机、定位齿轮和编码器,控制部分包括交流变频器、人机界面及CPU单元;通过该控制系统的精确控制,使无油干式真空泵双主轴运转保持位置同步,同时完成干式真空泵运转时的转速、旋转力矩、瞬时功率、故障等信息实时显示,与传统干式真空泵控制系统相比,本发明的应用可以降低原齿轮与轴封加工精度和省去润滑油进而减少了生产成本,可提高整机寿命一倍以上。CN103104493ACN10349ACN103104493A权利要求书1/1页1.一种用于无油干式真空泵双驱动主轴控制系统,它包括双轴无油干式真空泵机械部分,其特征在于:还增设电动机控制部分;其中,双轴无油干式真空泵(P)的每一根轴(1、2)上分别装有电动机、定位齿轮和编码器,电动机控制部分通过安装在电动机轴上的编码器,将采集输出脉冲数据信号同时接至交流变频器和CPU单元的输入端,实现电动机转速的闭环控制。2.按权利要求1所述的一种用于无油干式真空泵双驱动主轴控制系统,其特征在于:所述电动控制部分包括第1、2交流变频器、人机界面及CPU单元;每一根轴上电动机的输入端分别与第1、2交流变频器输出端连接,其信号输出端分别接各交流变频器信号接收端,所述各编码器输出脉冲数据信号与对应第1、2交流变频器相接,同时接CPU单元的输入端,作为电机速度和位置反馈;CPU单元一路输出控制端分别接至第1、2交流变频器输入端,完成交流变频器参数设置和启停控制,另一路输出端位置差信号接至第2交流变频器输入端作为同步调节,CPU单元与人机界面连接。3.按权利要求1或2所述的一种用于无油干式真空泵双驱动主轴控制系统,其特征在于:所述编码器采用增量式编码器。4.按权利要求1或2所述的一种用于无油干式真空泵双驱动主轴控制系统,其特征在于:所述电动机可采用三相交流异步电动机或伺服电动机或永磁同步电动机。5.按权利要求1所述的一种用于无油干式真空泵双驱动主轴控制系统,其特征在于:CPU单元还包括通讯模块,可采用485通讯模块或扩展模块PROFIBUS-DP或CANopen或DeviceNet,可以实现上述电动机本地和远程控制。6.一种用于无油干式真空泵双驱动主轴控制系统,它包括双轴无油干式真空泵机械部分,其特征在于还增设电动机控制部分;其中,双轴无油干式真空泵(P)的每一根轴(1、2)上分别装有电动机和两个编码器;电动机控制部分通过安装在电动机轴上的两编码器,将采集输出脉冲数据信号分别接至对应第1、2交流变频器和CPU单元的输入端,实现电动机转速的闭环控制。7.按权利要求6所述的一种用于无油干式真空泵双驱动主轴控制系统,其特征在于:所述控制部分包括第1、2交流变频器、人机界面和CPU单元;每一根轴上电动机的输入端分别与第1、2交流变频器输出端连接,其输出信号端分别接各交流变频器的信号接收端,所述各编码器输出脉冲数据信号分别对应接至第1、2交流变频器和CPU单元的输入端,作为速度和位置反馈;CPU单元一路输出控制端分别接至第1、2交流变频器输入端作为变频器参数设置和启停控制,另一路输出端位置差信号接至第2交流变频器输入端作为同步调节,CPU单元与人机界面连接。8.按权利要求6所述的一种用于无油干式真空泵双驱动主轴控制系统,其特征在于:所述真空泵(P)的每一根轴(1、2)还可分别装有定位齿轮。9.按权利要求6或7所述的一种用于无油干式真空泵双驱动主轴控制系统,其特征在于:所述真空泵(P)的每一根轴(1、2)上的两个编码器,分别采用增量式编码器和绝对值编码器。2CN103104493A说明书1/4页一种用于无油干式真空泵双驱动主轴控制系统技术领域[0001]本发明涉及无油真空获得领域,具体地说是一种用于无油干式真空泵双驱动主轴控制系统。背景技术[0002]目前双轴无油真空泵的驱动均采用一根轴为