NiZr-Co-Re堆栈层薄膜吸气剂的吸气性能及Ni作用机理研究.docx
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NiZr-Co-Re堆栈层薄膜吸气剂的吸气性能及Ni作用机理研究.docx
NiZr-Co-Re堆栈层薄膜吸气剂的吸气性能及Ni作用机理研究NiZr-Co-Re堆栈层薄膜作为一种新型的吸气合金,具有很好的吸气性能和储氢能力,是目前研究的热点之一。无论是在能源领域还是环保领域,都有着重要的应用前景。本文主要研究了NiZr-Co-Re堆栈层薄膜吸气性能以及Ni在其中的作用机理。一、NiZr-Co-Re堆栈层薄膜吸气性能NiZr-Co-Re堆栈层薄膜吸气性能的研究,首先需要从其结构和组成入手。该合金属于非晶态合金,由多层薄膜构成,其中Ni和Zr是主要成分,Co和Re是添加元素。通过优化
TiZrV吸气剂薄膜性能及成膜工艺参数研究.docx
TiZrV吸气剂薄膜性能及成膜工艺参数研究TiZrV吸气剂薄膜性能及成膜工艺参数研究摘要:吸气剂薄膜广泛应用于气体传感器、储氢材料等领域中,是实现高灵敏度和高可靠性的关键。本文针对一种新型吸气剂薄膜材料TiZrV进行了性能研究,并优化了其成膜工艺参数。通过研究发现,TiZrV吸气剂薄膜具有较高的吸附性能和稳定性,在气体传感器中表现出优异的传感特性。成膜工艺参数的优化可以进一步提高薄膜的性能。本研究为吸气剂薄膜的应用提供了理论和实验基础。关键词:吸气剂薄膜;TiZrV;性能;成膜工艺参数1.引言吸气剂薄膜是
吸气剂薄膜结构.pdf
本发明提供一种吸气剂薄膜结构,包括:吸气剂薄层及在吸气剂薄层的面内方向延伸的多个连续的孔隙;孔隙在吸气剂薄层的侧面具有开口。本发明通过在薄膜面内方向的空隙形成吸气剂薄膜的横向通道,可以有增加吸气剂薄膜的比表面积,使其吸气能力和速度得到大大提高。该吸气剂薄膜结构可以具有足够的机械强度,使用性得到保证。对比普通吸气剂薄膜,本发明可以用较少的吸气剂达到同样的吸气效果,从而降低器件整体的成本。
复合吸气剂薄膜结构.pdf
本发明提供一种复合吸气剂薄膜结构,复合吸气剂薄膜结构包括:N个图形吸气剂薄层,N个图形吸气剂薄层中,至少有两个含不同的吸气剂材料的图形吸气剂薄层;图形吸气剂薄层具有在图形吸气剂薄层面内方向延伸的多个连续的孔隙,孔隙在图形吸气剂薄层的侧面具有开口。本发明可以有效增加吸气剂薄膜的比表面积,使其吸气能力和速度得到大大提高。本发明可以在一个复合吸气剂薄膜结构中,导入两种以上的吸气剂材料,可以对应多种气体的吸附,同时节省空间,降低成本。
吸气剂薄膜结构的制造方法.pdf
本发明提供一种吸气剂薄膜结构的制造方法,包括步骤:在基板的一个主面上方形成第一吸气剂薄层,在第一吸气剂薄层中形成间隔排布的多个沟槽,以形成图形吸气剂薄层;在沟槽内填充图形牺牲层,并在图形牺牲层及图形吸气剂薄膜上形成第二吸气剂薄层;去除图形牺牲层以在图形吸气剂薄层的面内方向形成孔隙,孔隙在图形吸气剂薄层的侧面具有开口。本发明通过在薄膜面内方向的空隙形成吸气剂薄膜的横向通道,可以有增加吸气剂薄膜的比表面积,使其吸气能力和速度得到大大提高。该吸气剂薄膜结构可以具有足够的机械强度,使用性得到保证。对比普通吸气剂薄