脆性材料基板的分断方法及分断装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103128863A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103128863103128863A(43)申请公布日2013.06.05(21)申请号201210405543.2(22)申请日2012.10.23(30)优先权数据2011-2572532011.11.25JP(71)申请人三星钻石工业股份有限公司地址日本国大阪府(72)发明人前川和哉(74)专利代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司11287代理人沈锦华(51)Int.Cl.B28D1/32(2006.01)权权利要求书2页利要求书2页说明书6页说明书6页附图3页附图3页(54)发明名称脆性材料基板的分断方法及分断装置(57)摘要本发明涉及一种脆性材料基板的分断方法及分断装置。无需以往的断开步骤，仅通过脆性材料基板的划线操作来形成伴有到达背面的垂直龟裂的划线，从而简化作业步骤。在分断时输入关于脆性材料基板的信息(厚度、种类等)，选择与其厚度等信息对应的划线轮并将此划线轮安装到划线头上。施加与脆性材料基板的厚度相应的特定划线负荷进行划线，由此无需以往的断开步骤便可形成(全切)伴有到达背面的垂直龟裂的划线。CN103128863ACN103286ACN103128863A权利要求书1/2页1.一种脆性材料基板的分断方法，使用沿着外周设为V字形状的圆板形刃尖的圆周，以特定间距形成着特定深度的槽的划线轮来分断脆性材料基板，且该分断方法通过如下步骤进行分断，即，输入关于要分断的脆性材料基板的信息，选择与关于所述脆性材料基板的信息对应的划线轮，将所述选择的划线轮保持在划线头的前端，使所述划线轮相对于载物台上的脆性材料基板下降，利用与关于所述脆性材料基板的信息对应而选择的划线负荷，将所述划线轮按压至所述脆性材料基板的表面，于此状态下使所述划线头及脆性材料基板进行相对移动，在所述脆性材料基板上形成伴有到达背面的垂直龟裂的划线。2.根据权利要求1所述的脆性材料基板的分断方法，其中关于所述脆性材料基板的信息是脆性材料基板的厚度。3.根据权利要求1所述的脆性材料基板的分断方法，其中关于所述脆性材料基板的信息是脆性材料基板的种类及厚度。4.根据权利要求1至3中任一权利要求所述的脆性材料基板的分断方法，其中所述脆性材料基板是无碱玻璃基板。5.根据权利要求1至3中任一权利要求所述的脆性材料基板的分断方法，其中随着脆性材料基板的厚度变厚，所述选择的划线轮的刃尖角度变大，且朝轴芯方向的槽的深度变大。6.根据权利要求1至3中任一权利要求所述的脆性材料基板的分断方法，其中关于所述划线负荷，随着所述脆性材料基板的厚度变厚而使划线负荷变大。7.一种脆性材料基板的分断装置，使用沿着外周设为V字形状的圆板形刃尖的圆周，以特定间距形成着特定深度的槽的划线轮来分断脆性材料基板，且该分断装置包括：基板支撑机构，支撑所述脆性材料基板；划线头，升降自如地设为与所述基板支撑机构上支撑的脆性材料基板对向，且其前端保持着基于关于要分断的所述脆性材料基板的信息而选择的所述划线轮；移动机构，在将所述划线轮按压至脆性材料基板的表面的状态下使所述划线头及所述脆性材料基板进行相对移动；以及控制器，包含：输入部，输入关于所述脆性材料基板的信息或划线的数据；数据保持部，保持着与关于所述脆性材料基板的信息对应的划线负荷的数据；及控制部，根据输入至所述输入部中的关于所述脆性材料基板的信息及保持在所述数据保持部中的所述划线负荷的数据而选择划线负荷，驱动所述划线头及所述移动机构而形成伴有到达所述脆性材料基板的背面的垂直龟裂的划线。8.根据权利要求7所述的脆性材料基板的分断装置，其中关于所述脆性材料基板的信息是脆性材料基板的厚度。9.根据权利要求7所述的脆性材料基板的分断装置，其中关于所述脆性材料基板的信息是脆性材料基板的种类及厚度。10.根据权利要求7至9中任一权利要求所述的脆性材料基板的分断装置，其中所述脆性材料基板是无碱玻璃基板。2CN103128863A权利要求书2/2页11.根据权利要求7至9中任一权利要求所述的脆性材料基板的分断装置，其中随着脆性材料基板的厚度变厚，所述选择的划线轮的刃尖角度变大，且朝轴芯方向的槽的深度变大。12.根据权利要求7至9中任一权利要求所述的脆性材料基板的分断装置，其中关于所述划线负荷，随着所述脆性材料基板的厚度变厚而使划线负荷变大。13.根据权利要求7所述的脆性材料基板的分断装置，其中关于所述脆性材料基板的信息是记录在所述划线轮及保持划线轮的支架的任一个中。3CN103128863A说明书1/6页脆性材料基板的分断方法及分断装置技术领域[0001]本发明涉及一种分断脆性材料基板的脆性材料基板的分断方法及分断装置。背景技术[0002]在