脆性衬底的分断方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107108322A(43)申请公布日2017.08.29(21)申请号201580058145.X(74)专利代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司1(22)申请日2015.08.261287代理人杨林勋(30)优先权数据2014-2199292014.10.29JP(51)Int.Cl.C03B33/037(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日B28D5/00(2006.01)2017.04.26(86)PCT国际申请的申请数据PCT/JP2015/0739892015.08.26(87)PCT国际申请的公布数据WO2016/067728JA2016.05.06(71)申请人三星钻石工业股份有限公司地址日本国大阪府(72)发明人曾山浩权利要求书1页说明书6页附图7页(54)发明名称脆性衬底的分断方法(57)摘要一边对刻划轮(51)施加荷重(F)一边使其滚动，由此在玻璃衬底(4)上形成沟槽线(TL)。刻划轮(51)朝与荷重(F)的面内分量(Fi)的方向相同的行进方向(DP)行进。形成沟槽线(TL)的步骤是为了获得无裂痕状态而进行。使玻璃衬底(4)在厚度方向(DT)上的裂痕沿沟槽线(TL)朝行进方向伸展，由此形成裂痕线(CL)。通过裂痕线(CL)断开沟槽线(TL)正下方的玻璃衬底(4)在与沟槽线(TL)交叉方向上的连续连接。沿裂痕线(CL)分断玻璃衬底(4)。CN107108322ACN107108322A权利要求书1/1页1.一种脆性衬底的分断方法，使用绕旋转轴具有设置有刀尖的外周部的刻划轮分断脆性衬底，且包含：准备脆性衬底的步骤，所述脆性衬底具有第1面和与第1面相反的第2面，且具有垂直于所述第1面的厚度方向；及形成沟槽线的步骤，一边对所述刻划轮施加荷重，将所述刻划轮的所述外周部按压在所述脆性衬底的第1面上，一边使所述刻划轮在所述脆性衬底的所述第1面上滚动，由此在所述脆性衬底的所述第1面上产生塑性变形，从而形成具有沟形状的沟槽线；所述荷重具有平行于所述脆性衬底的所述第1面的面内分量；在形成所述沟槽线的步骤中，所述刻划轮在所述第1面上朝与所述面内分量的方向相同的行进方向行进，形成所述沟槽线的步骤是为获得无裂痕状态而进行，即，所述沟槽线正下方的所述脆性衬底在与所述沟槽线交叉的方向上连续地相连接的状态；且所述方法更包含形成裂痕线的步骤，使所述脆性衬底在所述厚度方向上的裂痕沿所述沟槽线朝所述行进方向伸展，由此形成裂痕线；利用所述裂痕线断开所述沟槽线正下方的所述脆性衬底在与所述沟槽线交叉的方向上的连续连接；并且所述方法还包含沿所述裂痕线分断所述脆性衬底的步骤。2.根据权利要求1所述的脆性衬底的分断方法，其中形成所述裂痕线的步骤包含：伴随在所述脆性衬底的所述厚度方向上渗透的裂痕，在所述脆性衬底的所述第1面上形成与所述沟槽线相接的辅助线的步骤。3.根据权利要求2所述的脆性衬底的分断方法，其中在形成所述辅助线的步骤中，在所述脆性衬底的所述第1面上以与所述沟槽线交叉的方式形成所述辅助线。4.根据权利要求3所述的脆性衬底的分断方法，其中形成所述裂痕线的步骤包含沿所述辅助线分离所述脆性衬底的步骤。5.根据权利要求2所述的脆性衬底的分断方法，其中在形成所述辅助线的步骤中，在所述脆性衬底的所述第1面上以与所述沟槽线局部重叠的方式形成所述辅助线。6.根据权利要求1所述的脆性衬底的分断方法，更包含在所述脆性衬底的所述第2面上形成辅助线的步骤，在平面配置中所述辅助线与所述沟槽线交叉，且形成所述裂痕线的步骤包含沿所述辅助线分离所述脆性衬底的步骤。7.根据权利要求1所述的脆性衬底的分断方法，其中形成所述裂痕线的步骤包含对所述沟槽线的一部分照射激光的步骤。2CN107108322A说明书1/6页脆性衬底的分断方法技术领域[0001]本发明涉及一种脆性衬底的分断方法，尤其涉及一种使用刻划轮的分断方法。背景技术[0002]在平面显示面板或太阳能电池板等电气设备的制造中，经常需要将玻璃衬底等脆性衬底分断。首先在衬底上形成刻划线，然后沿此刻划线分断衬底。刻划线可通过用刀尖机械性地加工衬底而形成。通过将刀尖在衬底上滑动或滚动在衬底上通过塑性变形形成沟槽，与此同时，在所述沟槽的正下方形成垂直裂痕。之后进行被称为分断步骤的应力施加。通过分断步骤使裂痕彻底地在厚度方向上行进，由此分断衬底。[0003]在多数情况下，分断衬底的步骤是在衬底上形成刻划线的步骤之后紧接着进行。然而，也有提议在形成刻划线的步骤与分断步骤之间进行加工衬底的步骤。所谓加工衬底的步骤是例如在衬底上设置某些部件的步骤。[0004]例如根据国际公开第2002/104078号技术，在有机EL显示器的制造方法中，在安装封盖