基板输送装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103183233A*(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103183233103183233A(43)申请公布日2013.07.03(21)申请号201110451196.2(22)申请日2011.12.29(71)申请人黄正栋地址中国台湾宜兰县(72)发明人黄正栋(74)专利代理机构北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司11139代理人孙皓晨(51)Int.Cl.B65G49/06(2006.01)H01L21/677(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书4页说明书4页附图6页附图6页(54)发明名称基板输送装置(57)摘要一种基板输送装置，其包含有至少一位移组，其具有至少一悬臂与一升降模块与一横移模块，该横移模块设于输送轮的下方，该升降模块设于该横移模块，该悬臂的一端耦接该升降模块，该悬臂的另一端可选择性延伸至该输送轮之间；如前所述，通过升降模块及横移模块，以达到悬臂升降横移的效果，进而能够节省空间及降低成本，并且能快速地完成基板交换的程序。CN103183233ACN10382ACN103183233A权利要求书1/1页1.一种基板输送装置，其特征在于，应用于一具有多个输送轮的机台，该基板输送装置包含有：至少一位移组，其设于该机台的一侧，该位移组具有至少一悬臂、一升降模块与一横移模块，该横移模块设于该输送轮的下方，该升降模块设于该横移模块上，该悬臂的一端耦接该升降模块，该悬臂的另一端可选择性延伸至该输送轮之间。2.如权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于，进一步具有至少一滑块，该滑块设于该升降模块的底部，该滑块使该横移模块移动。3.如权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于，进一步具有一升降杆，该升降杆的一端耦接于该升降模块。4.如权利要求3所述的基板输送装置，其特征在于，进一步具有一悬臂支撑杆，该悬臂支撑杆耦接该升降杆，该悬臂支撑杆与该悬臂的一端相连接。5.如权利要求3所述的基板输送装置，其特征在于，该升降杆为一升降螺杆。6.如权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于，进一步具有另一位移组，其设于该机台的另一侧。2CN103183233A说明书1/4页基板输送装置技术领域[0001]本发明为一种基板输送装置，尤指一种可改变基板位置，以交换至少一基板的输送装置。背景技术[0002]现有的基板交换装置，都是在输送带和制程机台中间放置一台双臂的机械手臂(DualArmRobot)，通过机械手臂的第一臂伸出将输送带上的基板拿起，缩回手臂并旋转180度，然后用第二臂伸出将制程机台中的基板拿起，缩回手臂的后再伸出将第一臂上的基板放到制程机台中并缩回手臂，最后再旋转180度伸出第二臂将拿回的基板放到输送带上并缩回手臂，以完成基板交换的程序。[0003]如上所述，现有以机械手臂为主的基板交换装置虽可达到传输基板的目的，但是在输送带和制程机台的中间必须有一台双臂的机械手臂，不但浪费空间及增加成本，而且交换基板的程序因机械手臂要做两次旋转180度及多次伸出缩回的动作而浪费许多时间。发明内容[0004]有鉴于上述的缺点，本发明的目的在于提供一种基板输送装置，其能够不用机械手臂，节省空间及降低成本，并且能快速地完成基板交换的程序。[0005]为了达到上述的目的，本发明的技术手段在于提供一种基板输送装置，应用于一具有多个输送轮的机台，该基板输送装置包含有：[0006]至少一位移组，其设于该机台的一侧，该位移组具有至少一悬臂、一升降模块与一横移模块，该横移模块设于该输送轮的下方，该升降模块设于该横移模块上，该悬臂的一端耦接该升降模块，该悬臂的另一端可选择性延伸至该输送轮之间。[0007]所述的基板输送装置，其中，进一步具有至少一滑块，该滑块设于该升降模块的底部，该滑块使该横移模块移动。[0008]所述的基板输送装置，其中，进一步具有一升降杆，该升降杆的一端耦接于该升降模块。[0009]所述的基板输送装置，其中，进一步具有一悬臂支撑杆，该悬臂支撑杆耦接该升降杆，该悬臂支撑杆与该悬臂的一端相连接。[0010]所述的基板输送装置，其中，该升降杆为一升降螺杆。[0011]所述的基板输送装置，其中，进一步具有另一位移组，其设于该机台的另一侧。[0012]如上所述，本发明的基板输送装置，其利用一悬臂支撑杆及升降模块及横移模块，以达到多个悬臂上下升降及横移的效果，能够不用旋转，直接将输送轮上的基板放到制程机台或直接从制程机台将基板取回放到输送轮上。[0013]另外，本发明的结构及动作较为简单，所以能够节省空间及降低成本，并且能快速地完成基板交换的程序。3CN103183233A说明书2/4页附图说明[0014]图1为本发明的基板输送装置的第一实施例的立体示意图；[0015]图