检漏仪.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利(10)授权公告号(10)授权公告号CN103189724B(45)授权公告日(45)授权公告日2015.03.04(21)申请号201180052834.1(51)Int.Cl.(22)申请日2011.09.29G01M3/20(2006.01)F04D19/04(2006.01)(30)优先权数据2010-2560302010.11.16JP(56)对比文件JP特開平10-90105A,1998.04.10,(85)PCT国际申请进入国家阶段日CN1742195A,2006.03.01,2013.05.02EP1585951B1,2009.06.17,(86)PCT国际申请的申请数据JP特許第3657366号B2,2005.06.08,PCT/JP2011/0054912011.09.29WO2004/068099A1,2004.08.12,(87)PCT国际申请的公布数据JP特表2006-517291A,2006.07.20,WO2012/066715JA2012.05.24JP特開平10-89260A,1998.04.07,US2005/0022588A1,2005.02.03,(73)专利权人株式会社爱发科地址日本神奈川县审查员文海燕(72)发明人松本善和濑户规正中邨大辅前田章弘(74)专利代理机构北京英特普罗知识产权代理有限公司11015代理人齐永红权利要求书1页说明书4页附图3页(54)发明名称检漏仪(57)摘要提供方便使用的优良检漏仪，其不会损害检测灵敏度高，对氦气的反应速度也快等功能，可在测试体开始抽真空后迅速开始泄漏测试。具有质量分析管（2），其检测示踪气体；涡轮分子泵（3），其在外壳（31）内具有多级交替安装在旋转轴（32）上的动叶片（33）和静叶片（34），设置有驱动源（35）来旋转驱动旋转轴。外壳中，与位于最顶端的动叶片33a相对的壁面31a上，与测试体（TP）连通的进气口（36）和连接有质量分析管的连接端口（37）彼此分隔开设。而且，涡轮分子泵的进气口和测试体经连接管连接，将示踪气体从该测试体内导入到质量分析管中进行测漏。CN103189724BCN103189724B权利要求书1/1页1.一种检漏仪，其特征在于：具有质量分析管，其检测示踪气体；涡轮分子泵，其在外壳内具有多级交替安装在旋转轴上的动叶片和静叶片，设置有驱动源来旋转驱动旋转轴；该涡轮分子泵的进气口和测试体经连接管连接，从该测试体内将示踪气体导入到质量分析管中进行测漏；所述外壳中，与最高真空侧的动叶片相对的壁面上分隔配置有与测试体连通的进气口和与质量分析管连接的连接端口。2.根据权利要求1所述的检漏仪，其特征在于：构成为进气口和连接端口之间的电导设置为进气口的有效排气速度的1/10以下。2CN103189724B说明书1/4页检漏仪技术领域[0001]本发明涉及一种检漏仪，是一种便于使用的装置，可进行早期测漏。背景技术[0002]以往已知的是使用一种检测仪来测漏（泄漏测试），检测密闭容器、配管或阀门等测试体有无微小的泄漏。这种检漏仪通常使用具有质量分析管、涡轮分子泵及设置在该涡轮分子泵的背压侧的前置泵的装置，其中所述质量分析管可将泄漏到真空中的示踪气体当做离子电流而进行定量检测，所述涡轮分子泵在外壳内具有多级交替装设在旋转轴上的动叶片和静叶片，设置有驱动源来旋转驱动旋转轴。此时，已知的装置是如图4所示，与涡轮分子泵a的进气口a1连通的主管线b的端部和图外的测试体经连接管连接，且在该主管线b上插设有质量分析管c，例如专利文献1。[0003]此处，涡轮分子泵a的进气口a1通常与位于最顶端的动叶片a2相对（即涡轮分子泵a的排气速度最快的地方）设置。据此，由于在导入测试体的测试端口的氦气等的示踪气体所流通的主管线b上存在质量分析管c，所以具有检测灵敏度高，对氦气的反应速度也快的优点。[0004]但是，在上述以往的例子中，由于是质量分析管c和进气口a1连通、两者间不产生压力差的结构，所以进气口a1的压力存在问题，一旦未到达质量分析管c可运行测量的压力，则无法开始泄漏测试。为此，例如增大测试体的容积，当花时间对其内部抽真空时，泄漏测试开始前会耗费时间，使用不便。[0005]现有技术文献[0006]专利文献[0007]专利文献1:专利第2655315号公报发明内容[0008]发明要解决的技术问题[0009]鉴于以上内容，本发明的要解决的技术问题是提供一种好的检漏仪，其不会损害检测灵敏度高、对氦气的反应速度也快等功能，在测试体开始抽真空后可迅速开始泄漏测试，便于使用。[0010]解决技术问题的手段[0011]为解决上述技术问题，本发明其特征在于：具有质量分析管，其检测示踪气体；涡轮分子泵，其在外壳内具有