0.35μm BiCMOS工艺的器件建模.docx
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0.35μm BiCMOS工艺的器件建模.docx
0.35μmBiCMOS工艺的器件建模1.IntroductionBiCMOS(BipolarComplementaryMetal-Oxide-Semiconductor)technologyisacombinationofbipolardevicesandCMOS(ComplementaryMetal-Oxide-Semiconductor)devices.BiCMOStechnologyiswidelyusedinthedesignofhigh-performanceanalogcircuits.In
BICMOS器件介绍.doc
BICMOS工艺常用器件BICMOS工艺即是将Bipolar工艺与CMOS工艺相结合的一种综合工艺它具有双极工艺高跨导、强负载驱动能力和CMOS器件高集成度、低功耗的优点。一般BICMOS工艺还可以分为两类:一是以CMOS工艺为基础的BICMOS工艺包括P阱BICMOS和N阱BICMOS两种工艺;另一类是以标准双极工艺为基础的BICMOS工艺其中包括P阱BICMOS和双阱BICMOS。影响BICMOS器件性能的主要是双极部分因此以双极工艺为基础的BICMOS
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0.35μm CMOS多晶硅栅刻蚀工艺研究.docx
0.35μmCMOS多晶硅栅刻蚀工艺研究摘要:本论文研究了0.35μmCMOS多晶硅栅刻蚀工艺,通过对硅栅刻蚀过程中的影响因素进行深入分析,优化了刻蚀工艺参数,提高了刻蚀质量。在实验中,采用了多种测试方法对刻蚀结果进行了评估,并对刻蚀机理进行了探讨。研究结果表明,通过优化刻蚀工艺条件,可以得到满足0.35μmCMOS多晶硅栅刻蚀要求的高质量刻蚀结果。关键词:CMOS;多晶硅;栅刻蚀;工艺参数;刻蚀质量引言栅刻蚀是CMOS工艺中的一个重要环节。在CMOS芯片制造过程中,栅刻蚀决定了晶体管栅处是否有残留物,在